【技术实现步骤摘要】
载具及异质结电池生产系统
[0001]本技术涉及光伏
,特别是涉及一种载具及异质结电池生产系统。
技术介绍
[0002]异质结电池生产过程中,需要使用化学气相沉积以完成非晶硅薄膜的镀膜,具体方式为将硅片放置在载具上进入腔室内完成镀膜。将硅片放置在载具上时,受到放片精度等因素的影响,硅片无法准确的放置在载具的放置槽内,即硅片部分位于放置槽之外,导致硅片无法贴合在放置槽内,在镀膜过程中,易发生绕镀,即正常N/P层非晶硅薄膜通过边缘翘起的位置镀膜至P/N面,良品率低。
技术实现思路
[0003]基于此,有必要针对易发生绕镀,良品率低的问题,提供一种载具及异质结电池生产系统。
[0004]其技术方案如下:
[0005]一方面,提供了一种载具,包括:
[0006]承托件,所述承托件设有承压面,所述承压面上设有用于放置硅片的放置槽、及至少两个导向通孔,至少一个导向通孔位于所述放置槽的一侧,至少一个导向通孔位于所述放置槽的另一侧;及
[0007]至少两个导向件,至少两个所述导向件均位于所述 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种载具,其特征在于,包括:承托件,所述承托件设有承压面,所述承压面上设有用于放置硅片的放置槽、及至少两个导向通孔,至少一个导向通孔位于所述放置槽的一侧,至少一个导向通孔位于所述放置槽的另一侧;及至少两个导向件,至少两个所述导向件均位于所述承托件的下方,至少两个所述导向件与至少两个所述导向通孔一一对应设置,且每个所述导向件均能够沿对应的所述导向通孔的轴向往复移动,使所述导向件能够穿过对应的所述导向通孔后移动至所述承压面的上方以将位于所述放置槽之外的所述硅片导向至放入所述放置槽内。2.根据权利要求1所述的载具,其特征在于,所述导向件朝向所述放置槽的一侧设有用于与硅片导向配合的导向部。3.根据权利要求2所述的载具,其特征在于,所述导向部设有导向斜面,或所述导向部设有导向弧面。4.根据权利要求2所述的载具,其特征在于,所述导向部设有用于降低与所述硅片的摩擦力的光滑层。5.根据权利要求1所述的载具,其特征在于,所述放置槽呈矩形槽,所述矩形槽的四个侧边均对应设有至少一个所述导向通孔,每个所述导向通孔均与一个所...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐磊,薛建锋,魏科胜,王金,余义,
申请(专利权)人:通威太阳能安徽有限公司,
类型:新型
国别省市:
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