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本发明涉及硅片PN扩散积层用存放工装，具体涉及一种硅片PN扩散用碳化硅舟。它包括舟体、圆形隔板、圆形隔块，舟体是长方体状，舟体中间开有一个长方形孔，长方形孔内两侧对应开有若干卡槽，长方形孔两侧卡槽之间的舟体设计成坡面，圆形隔板装在卡槽内，最...
该专利属于南通皋鑫电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南通皋鑫电子股份有限公司授权不得商用。

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