一种光罩篮制造技术

本发明专利技术公开了一种光罩篮，用于搬送装有光罩的光罩盒，能够固定光罩盒，避免对光罩造成损坏，并且，能够同时运送多个装有光罩的光罩盒，提高工作效率。该光罩篮包括：支架、至少两个抽屉板以及挡板，其中，所述至少两个抽屉板水平连接在所述支架上，每两个抽屉板之间的距离不小于光罩盒放置时的高度，所述挡板设置在每个抽屉板的上表面，且挡板围成的区域与光罩盒放置时的搁置面相匹配。

【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体生产
，尤其涉及一种搬送光刻机中光罩的光罩篮。
技术介绍
在半导体生产过程中，需要在特定环境下(如光罩室)将光罩从水晶盒(存放光罩的一种容器)转移到光刻机专用的光罩盒中，然后才能将装有光罩的光罩盒搬送到光刻机，再使用光罩进行后续操作。目前，在将装有光罩的光罩盒搬送到光刻机时，一般是采用普通的篮子，就是将装有光罩的光罩盒放于普通的篮子中，再搬送至光刻机处。然而，光罩盒的体积远远小于普通的篮子，并且，普通的篮子无法定位光罩盒的活 动方向，而光罩盒的一面是活动的，这就使得光罩很容易滑出光罩盒，以损坏光罩。同时，光刻机专用的光罩盒很薄，也就使得不能将多个光罩盒叠在一起放置，使得每次运送的光罩的数量有限，降低了工作效率。
技术实现思路
本专利技术提供一种光罩篮，用以搬送装有光罩的光罩盒，能够固定光罩盒，避免对光罩造成损坏，并且，能够同时运送多个装有光罩的光罩盒，提高工作效率。本专利技术实施例提供的具体技术方案如下一种光罩篮，包括支架、至少两个抽屉板以及挡板，其中，所述至少两个抽屉板水平连接在所述支架上，每两个抽屉板之间的距离不小于光罩盒放置时的高度；所述挡板设置在每个抽屉板的上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光罩篮，其特征在于，包括：支架、至少两个抽屉板以及挡板，其中，所述至少两个抽屉板水平连接在所述支架上，每两个抽屉板之间的距离不小于光罩盒放置时的高度；所述挡板设置在每个抽屉板的上表面，且挡板围成的区域与光罩盒放置时的搁置面相匹配。

【技术特征摘要】
1.一种光罩篮，其特征在于，包括支架、至少两个抽屉板以及挡板，其中， 所述至少两个抽屉板水平连接在所述支架上，每两个抽屉板之间的距离不小于光罩盒放置时的高度； 所述挡板设置在每个抽屉板的上表面，且挡板围成的区域与光罩盒放置时的搁置面相匹配。2.如权利要求I所述的光罩篮，其特征在于，所述支架为两个相互平行的立面组合而成；或者，所述支架为两个相互平行的立面与另一个立面垂直连接而成半封闭的框型结构体；或者，所述支架为两个立面组合而成的半封闭的三角柱型结构体。3.如权利要求2所述的光罩篮，其特征在于，所述至少两个抽屉板采用抽拉式结构连接在所述支架上。4.如权利要求3所述的光罩篮，其特征在于，还包括防滑栓，卡合在所述至少两个抽屉板与所述支架的连接处，以固定抽屉板。5.如权利要求4所述的光罩篮,其特征在于，所述防滑栓为一个或多个。6.如权利要求5所述的光罩篮，其特征在于，还包括至少两个支撑杆，分别平行设置在每个抽屉板下方，与抽拉方向相同的抽屉板的侧面对齐，并与所述支架固定连接。7.如权利要求6所述的光罩篮，其特征在于，所述防滑栓为多个时，针...

【专利技术属性】
技术研发人员：马玉玲，彭超群，文燕，戴新华，
申请(专利权)人：北大方正集团有限公司，深圳方正微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：