【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体生产工具，特别是涉及一种石英鼠笼舟。
技术介绍
近年来，随着电子信息产业及微电子技术的迅猛发展，对石英制品的市场需求与日俱增。石英舟主要应用于半导体集成电路生产线的关键工序，是硅片氧化扩散工艺中配套使用的载体工具。现有市场上的立式石英舟及卧式斜槽石英舟均是以槽棒为主支架，在棒上开槽，硅片插入槽内再进行氧化扩散。槽棒的根数一般是四根，因此硅片大面积的裸露 在外，对硅片的洁净度的要求，有时难于保证。
技术实现思路
针对上述领域中的缺陷，本技术提供一种石英鼠笼舟，可以使硅片位于笼式的石英舟中，但又不影响其氧化扩散工艺和散热的要求。石英鼠笼舟，包括底盖和顶盖，其特征在于所述底盖和顶盖均由两个半圆板可拆式拼接而成，所述底盖和顶盖之间垂直间隔固定有若干条形板，形成拼接式左、右半笼舟；所述左或右半笼舟的三片条形板向笼内侧径向上分别垂直固定有一槽片，槽片在长度方向上阵列有若干个小槽，三个槽片上有位于同一个平面小槽。所述槽片与条形板等长，槽片的两端与底、顶盖固定。所述槽片厚度为3mm。所述两个半圆板通过扣合形式拼接在一起。所述条形板有12片。所述左、右半笼舟的拼接处...
【技术保护点】
石英鼠笼舟，包括底盖和顶盖，其特征在于：所述底盖和顶盖均由两个半圆板可拆式拼接而成，所述底盖和顶盖之间垂直间隔固定有若干条形板，形成拼接式左、右半笼舟；所述左或右半笼舟的三片条形板向笼内侧径向上分别垂直固定有一槽片，槽片在长度方向上阵列有若干个小槽，三个槽片上有位于同一个平面小槽。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张忠恕，杨继盛，陈强，边占宁，韦冬寒，于洋，张娟，孙超群，孙云涛，康海霞，王志刚，赵小亮，秦殿强，卢爱国，
申请(专利权)人：北京凯德石英有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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