【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种石英承载舟，包括有舟体及设置在舟体两端的拉环，舟体包括下刻槽石英棒及与之相连的上支撑石英棒、中支撑石英棒、下支撑石英棒、承重石英棒等组成，其特征在于：在所述舟体上设置上刻槽石英棒、在所述上刻槽石英棒、下刻槽石英棒之间设置侧支撑石英弯板。本专利技术的有益效果是：设置了上刻槽石英棒，在上下刻槽石英棒之间加强了支撑，增加了舟体的稳固性，避免了在进出炉过程中易出现断裂的现象，增强石英承载舟的载重能力，降低石英承载舟的破损几率，延长石英承载舟的使用寿命。本专利技术具有使用效果好、结构简单、成本低廉之优点。【专利说明】一种石英承载舟
本专利技术涉及半导体生产
。尤其是涉及在半导体生产中用于SIPOS沉积工艺的一种石英承载舟。
技术介绍
半导体产品生产过程中的LPCVD系统中需经过SIPOS沉积的工序，其特征是在晶片表面通过特殊气体在特殊条件下沉积一层SIPOS薄膜，同时承载晶片的石英承载舟表面被沉积一层SIPOS薄膜，经过多次沉积后石英承载舟需经混合酸浸泡去除表面SIPOS薄膜，而石英承载舟经多次混酸浸泡后的使用寿命及其稳固性...
【技术保护点】
一种石英承载舟，包括有舟体及设置在舟体两端的拉环，舟体包括下刻槽石英棒及与之相连的上支撑石英棒、中支撑石英棒、下支撑石英棒、承重石英棒等组成，其特征在于：在所述舟体上设置上刻槽石英棒、在所述上刻槽石英棒、下刻槽石英棒之间设置侧支撑石英弯板。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郭城，吕明，徐明星，郭英云，纪大鹏，
申请(专利权)人：济南科盛电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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