【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于直拉式单晶硅棒生产加工领域，尤其涉及一种直拉式单晶硅棒的生产设备。
技术介绍
1、在直拉法单晶硅棒的后处理工艺中，轴向180°旋转是电阻率均匀性检测及缺陷分析的必要工序，其次转动硅棒，也可以解决硅棒因自重产生非均匀弯曲应力，导致直径＞200mm的大尺寸单晶产生位错或隐性裂纹的问题，因此需要对硅棒进行辅助翻面。
2、现有硅棒生产用辅助翻面装置在使用时，需要将夹持装置从硅棒的两端穿过才能进行硅棒夹持和翻面，使得现有装置适用性差，在硅棒两端出现遮挡或夹持空间不足时，便无法辅助硅棒翻面，因此无法满足硅棒生产的需求。
技术实现思路
1、本专利技术实施例的目的在于提供一种直拉式单晶硅棒的生产设备，旨在解决当硅棒两端出现遮挡或夹持空间不足时，现有硅棒辅助翻面装置不便于使用的问题。
2、本专利技术是这样实现的，一种直拉式单晶硅棒的生产设备，包括运行架，还包括：运行架底部沿运行架长度方向滑动连接的两个移动壳体，所述运行架上设置有两个平移机构，两个所述平移机构分别用于带动...
【技术保护点】
1.一种直拉式单晶硅棒的生产设备，包括运行架，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的直拉式单晶硅棒的生产设备，其特征在于，所述伸缩夹块的末端转动连接有导向滚轮，所述导向滚轮内沿导向滚轮长度方向设置有导向槽，所述导向槽内滑动连接有锁定架，所述锁定架的一端设置有与导向滚轮侧壁配合的弧形槽，所述锁定架的另一端连接有压簧和衔铁，所述压簧的末端连接在导向槽内，所述导向槽内靠近衔铁的一端安装有电磁铁。
3.根据权利要求2所述的直拉式单晶硅棒的生产设备，其特征在于，所述锁定架的弧形槽内设置有限位凸起，所述导向滚轮侧壁上均匀设置有多个限位沉槽。
...【技术特征摘要】
1.一种直拉式单晶硅棒的生产设备，包括运行架，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的直拉式单晶硅棒的生产设备，其特征在于，所述伸缩夹块的末端转动连接有导向滚轮，所述导向滚轮内沿导向滚轮长度方向设置有导向槽，所述导向槽内滑动连接有锁定架，所述锁定架的一端设置有与导向滚轮侧壁配合的弧形槽，所述锁定架的另一端连接有压簧和衔铁，所述压簧的末端连接在导向槽内，所述导向槽内靠近衔铁的一端安装有电磁铁。
3.根据权利要求2所述的直拉式单晶硅棒的生产设备，其特征在于，所述锁定架的弧形槽内设置有限位凸起，所述导向滚轮侧壁上均匀设置有多个限位沉槽。
4.根据权利要求1所述的直拉式单晶硅棒的生产设备，其特征在于，所述平移机构包括移动壳体内转动连接的丝杆，所述丝杆上安装有齿轮一，所述运行架顶部安装有电机一，所述电机一的转动端安装有齿轮二，所述齿轮二与齿轮一啮合。
5.根据权利要求1所述的直拉式单晶硅棒的生产设备，其特征在于，所述驱动机构包括移动壳体侧壁上安装的电机二，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：李充，李加美，
申请(专利权)人：济南科盛电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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