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本发明涉及直拉式单晶硅棒生产加工领域，公开了一种直拉式单晶硅棒的生产设备，包括运行架，还包括：运行架底部沿运行架长度方向滑动连接的两个移动壳体，所述运行架上设置有两个平移机构，两个所述平移机构分别用于带动两个移动壳体移动；两个所述移动壳体内...
该专利属于济南科盛电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过济南科盛电子有限公司授权不得商用。

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