【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种自调整扩散用石英舟，包括舟体、石英杆，所述石英杆上设有用于插入硅片的卡槽，其特征在于，所述石英舟还设有使硅片偏向卡槽一端的机构。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：范志东，汤欢，闫英丽，
申请(专利权)人：英利集团有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。