【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于支撑多个基板的承载板，其特征在于，所述承载板包括：盘状主体，所述盘状主体具有第一侧和与所述第一侧相对的、实质平坦的第二侧；和多个凹部，所述多个凹部形成在所述盘状主体的所述第一侧中，所述多个凹部的各个凹部都包括：侧壁，所述侧壁从所述第一侧的表面到所述凹部的底表面渐缩；和支撑结构，所述支撑结构设置在所述凹部的底表面上方并几何对中在所述凹部。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：史蒂文·韦尔豪费尔贝克，罗曼·古科，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：实用新型
国别省市：
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