【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片在加工如化学抛光、腐蚀、清洗等过程中的器材，特别是一种硅片清洗装置。
技术介绍
目前，小硅片在实验室中化学抛光、腐蚀、清洗等过程一般都会用到清洗花篮固定硅片，有成熟的小硅片抛光用花篮，如北京南轩兴达电子科技有限公司设计生产的花篮。但是传统清洗花篮有一些不足在薄硅片化学抛光、腐蚀、清洗等过程中，由于薄硅片表面积大、重量轻，化学腐蚀时由于反应气体在硅片表面的附着，容易使硅片漂浮，从而脱离花篮的卡槽。因此，需要对传统清洗花篮进行改进。
技术实现思路
技术目的本技术所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种硅片清洗装置。为了解决上述技术问题，本技术公开了一种硅片清洗装置，包括圆形底座和上盖；所述圆形底座上包括一个以上用于放置硅片的扇形镂空槽、设置在所有扇形镂空槽底部的定位圆环以及位于圆形底座中心的竖直转轴；所述上盖包括空心套筒以及定位轮，所述空心套筒和定位轮之间设有连接筋；所述空心套筒与所述竖直转轴适配。本技术中，所述竖直转轴为圆台形。本技术中，所述连接筋为一根以上，优选为2 50条。连接筋的轮辐形状为直线型、曲线型。本技术中，上盖的直径范围为(0. 2 O. 8)X圆形底座直径。上盖材质为耐强酸、碱，氢氟酸等腐蚀的PFA、PP等材质。定位轮的轮宽为2飞mm。空心套筒与所述竖直转轴接触面的长度为5 20mm。有益效果本技术以有效的防止薄硅片在化学抛光、腐蚀、清洗等过程中从花篮中脱落，具有结构简单，操作方便的特点。以下结合附图和具体实施方式对本技术做更进一步的具体说明，本技术的上述和/或其他方面的优点将会变得更加清楚。图I为本技术整体结构示意图。具体实...
【技术保护点】
一种硅片清洗装置，其特征在于，包括圆形底座和上盖；所述圆形底座上包括一个以上用于放置硅片的扇形镂空槽、设置在所有扇形镂空槽底部的定位圆环以及位于圆形底座中心的竖直转轴；所述上盖包括空心套筒以及定位轮，所述空心套筒和定位轮之间设有连接筋；所述空心套筒与所述竖直转轴适配。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：贾玉涛，宫龙飞，伍耀川，
申请(专利权)人：苏州协鑫工业应用研究院有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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