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本实用新型公开了一种硅片清洗装置，包括圆形底座和上盖；所述圆形底座上包括一个以上用于放置硅片的扇形镂空槽、设置在所有扇形镂空槽底部的定位圆环以及位于圆形底座中心的竖直转轴；所述上盖包括空心套筒以及定位轮，所述空心套筒和定位轮之间设有连接筋；...
该专利属于苏州协鑫工业应用研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州协鑫工业应用研究院有限公司授权不得商用。

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