【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种载具，尤其涉及一种石英舟。
技术介绍
石英舟是扩散工艺的必备工具，无论是半导体器件的扩散，还是太阳能工艺的扩散都大量使用石英器件做为载体，石英舟耐高温不变形，不污染器件而且能重复使用，尤其是近几年来由于太阳能产业发展迅速，人们使用石英舟的式样也越来越多。目前的石英舟如图I所示，包括外框架I以及固定杆4，所述外框架I包括横杆2和垂直于所述横杆2并与所述横杆2固定连接的竖杆3，所述固定杆4垂直与所述横杆2，又垂直于所述竖杆3，如图2所示，所述固定杆4上分别开有相对应的横切面为矩形的凹槽5，将硅片等材料放置于石英舟的凹槽5中，由于所述硅片与所述凹槽5的侧边相接处，在所 述硅片上会存在一定的无法被扩散到的“扩散盲区”。因此，如何提供一种能够提高扩散均匀性、消除“扩散盲区”的石英舟是本领域的技术人员亟待解决的一个技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种石英舟，以解决现有的石英舟存在“扩散盲区”的问题。为解决上述技术问题，本技术提供一种石英舟，包括两个相对设置的面板、两个底部连接杆以及两个侧壁连接杆，所述两个底部连接杆的两端分别与所述两个面板的底边固定连接，...
【技术保护点】
一种石英舟，包括两个相对设置的面板、两个底部连接杆以及两个侧壁连接杆，所述两个底部连接杆的两端分别与所述两个面板的底边固定连接，所述两个侧壁连接杆的两端分别与所述两个面板的两个侧边固定连接，所述两个侧壁连接杆相对的一侧设有间隔排布的第一凹槽，所述两个底部连接杆的上侧设有间隔排布的与所述第一凹槽相匹配的第二凹槽，其特征在于，所述两个侧壁连接杆的横切面为外侧的矩形与内侧的直角梯形组合成的五边形，所述直角梯形的底边与所述矩形的长边重合，所述直角梯形的顶边上设有间隔排布的第一凹槽。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：宋海江，
申请(专利权)人：苏州贝斯特石英有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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