石英舟制造技术

技术编号:8149838 阅读:184 留言:0更新日期:2012-12-28 21:10
本实用新型专利技术涉及一种载具,尤其涉及一种石英舟,包括两个相对设置的面板、两个底部连接杆以及两个侧壁连接杆,所述两个底部连接杆的两端分别与所述两个面板的底边固定连接,所述两个侧壁连接杆的两端分别与所述两个面板的两个侧边固定连接,所述两个侧壁连接杆相对的一侧设有间隔排布的第一凹槽,所述两个底部连接杆的上侧设有间隔排布的与所述第一凹槽相匹配的第二凹槽,还包括两个用于悬挂的倾斜板,所述两个倾斜板固定于所述两个面板的顶部,且所述倾斜板所在的平面与所述面板所在的平面的夹角为锐角。本实用新型专利技术采用倾斜设置的倾斜板,便于操作,且不易损坏石英舟及抬棒。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种载具,尤其涉及一种石英舟
技术介绍
石英舟是扩散工艺的必备工具,无论是半导体器件的扩散 ,还是太阳能工艺的扩散都大量使用石英器件做为载体,石英舟耐高温不变形,不污染器件而且能重复使用,尤其是近几年来由于太阳能产业发展迅速,人们使用石英舟的式样也越来越多。目前的石英舟如图I所示,包括两个相对设置的面板I、两个侧壁连接杆3以及两个底部连接杆2,所述两个面板I上还分别设有悬挂结构4,所述悬挂结构4为带有通孔5的圆柱体,将抬棒(图中未示出)插置于所述通孔5中可对所述石英舟进行抬升的操作,完成石英舟的移动,但插置所述抬棒时,需要准确对位,不方便操作,且移动石英舟的过程中,由于受力问题,易造成所述悬挂结构4以及抬棒的损坏。因此,如何提供一种移动方便、不易损坏的石英舟是本领域的技术人员亟待解决的一个技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种石英舟,以解决现有的石英舟移动不便的问题。为解决上述技术问题,本技术提供一种石英舟,包括两个相对设置的面板、两个底部连接杆以及两个侧壁连接杆,所述两个底部连接杆的两端分别与所述两个面板的底边固定连接,所述两个侧壁连接杆的两端分别与所述两个面板的两个侧边固定连接,所述两个侧壁连接杆相对的一侧设有间隔排布的第一凹槽,所述两个底部连接杆的上侧设有间隔排布的与所述第一凹槽相匹配的第二凹槽,还包括两个用于悬挂的倾斜板,所述两个倾斜板固定于所述两个面板的顶部,且所述倾斜板所在的平面与所述面板所在的平面的夹角为锐角。较佳地,所述倾斜板所在的平面与所述面板所在的平面的夹角大于30度,小于80度。较佳地,所述第一凹槽的横切面为梯形。较佳地,所述侧壁连接杆的横切面为外侧的矩形与内侧的直角梯形组合成的五边形,所述直角梯形的底边与所述矩形的长边重合,所述直角梯形的顶边上设有所述第一凹槽。较佳地,所述底部连接杆的横切面为下侧的矩形与上侧的直角梯形组合成的五边形,所述直角梯形的底边与所述矩形的长边重合,所述直角梯形的顶边上设有间隔排布的第二凹槽。较佳地,所述第二凹槽的横切面为三角形。本技术提供的种石英舟,包括两个相对设置的面板、两个底部连接杆以及两个侧壁连接杆,所述两个底部连接杆的两端分别与所述两个面板的底边固定连接,所述两个侧壁连接杆的两端分别与所述两个面板的两个侧边固定连接,所述两个侧壁连接杆相对的一侧设有间隔排布的第一凹槽,所述两个底部连接杆的上侧设有间隔排布的与所述第一凹槽相匹配的第二凹槽,还包括两个用于悬挂的倾斜板,所述两个倾斜板固定于所述两个面板的顶部。本技术采用倾斜设置的倾斜板,便于操作,且更加坚固。附图说明图I为现有的石英舟结构示意图;图2为本技术一实施例的石英舟结构示意图;图3为图2的A部放大图;图4为图2的俯视图; 图5为图4的B部放大图;图6为图2的左视图。现有技术1-面板、2-底部连接杆、3-侧壁连接杆、4-悬挂结构、5-通孔;实施例10_面板、11-侧壁连接杆、12-底部连接杆、13-第一凹槽、14-第二凹槽、15-倾斜板、16-娃片。具体实施方式为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,以下结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。本技术提供的石英舟,如图2和图4所示,包括两个相对设置的面板10、两个底部连接杆12以及两个侧壁连接杆11,所述两个底部连接杆12的两端分别与所述两个面板10的底边固定连接,所述两个侧壁连接杆11的两端分别与所述两个面板10的两个侧边固定连接,所述两个侧壁连接杆11相对的一侧设有间隔排布的第一凹槽13,所述两个底部连接杆12的上侧设有间隔排布的与所述第一凹槽13相匹配的第二凹槽14,还包括两个用于悬挂的倾斜板15,所述两个倾斜板15固定于所述两个面板10的顶部,且所述倾斜板15所在的平面与所述面板10所在的平面的夹角为锐角。这样,采用倾斜设置的倾斜板15,将抬棒(图中未示出)从任意方向置于所述倾斜板15与所述面板10的夹角处,即可对石英舟进行抬升动作,并进行移动,便于操作,且不易损坏石英舟及抬棒。较佳地,如图2所示,所述倾斜板15所在的平面与所述面板10所在的平面的夹角大于30度,小于80度。这样,所述抬棒既能够很容易的置于夹角处,又不会轻易滑出,而导致石英舟摔落导致损坏。较佳地,如图4和图6所示,所述侧壁连接杆11的横切面为外侧的矩形与内侧的直角梯形组合成的五边形,所述直角梯形的底边与所述矩形的长边重合,所述直角梯形的顶边上设有所述第一凹槽13。也就是说,所述侧壁连接杆11可以用将横切面为矩形的杆切掉内侧的一个顶角而得到,在所述直角梯形的顶边上设置所述第一凹槽13,使所述硅片16与所述第一凹槽13接触的线尽可能的短,提高扩散均匀性,消除“扩散盲区”。较佳地,请重点参考图5,所述第一凹槽13的横切面为梯形(本实施例中为等腰梯形),采用横切面为梯形的第一凹槽13,将硅片16置于所述第一凹槽13中,所述第一凹槽13与所述硅片16为线接触,在单位横截面上为点接触,改变之前凹槽与硅片16面接触的弊端,从而提高扩散均匀性,消除“扩散盲区”,进而减小漏电流,提高并联电阻,提高开路电压。较佳地,如图2和图6所示,所述底部连接杆12的横切面为下侧的矩形与上侧的直角梯形组合成的五边形,所述直角梯形的底边与所述矩形的长边重合,具体地,所述直角梯形的顶边上设有间隔排布的第二凹槽14,所述第二凹槽14的横切面为三角形。请进一步参考图3,将所述硅片16放置于所述第二凹槽14时,所述硅片16与所述第二凹槽14只有在所述三角形的顶角处接触,从而进一步提高扩散均匀性,消除“扩散盲区”。综上所述,本技术提供的种石英舟,包括两个相对设置的面板10、两个底部连接杆12以及两个侧壁连接杆11,所述两个底部连接杆12的两端分别与所述两个面板10的底边固定连接,所述两个侧壁连接杆11的两端分别与所述两个面板10的两个侧边固定连接,所述两个侧壁连接杆11相对的一侧设有间隔排布的第一凹槽13,所述两个底部连接杆12的上侧设有间隔排布的与所述第一凹槽13相匹配的第二凹槽14,还包括两个用于悬挂 的倾斜板15,所述两个倾斜板15固定于所述两个面板10的顶部,且所述倾斜板15所在的平面与所述面板10所在的平面的夹角为锐角。这样,采用倾斜设置的倾斜板15,将抬棒置于所述倾斜板15与所述面板10的夹角处,即可对石英舟进行抬升动作,并进行移动,便于操作,且不易损坏石英舟及抬棒。显然,本领域的技术人员可以对本技术进行各种改动和变型而不脱离本技术的精神和范围。这样,倘若本技术的这些修改和变型属于本技术权利要求及其等同技术的范围之内,则本技术也意图包含这些改动和变型在内。权利要求1.一种石英舟,包括两个相对设置的面板、两个底部连接杆以及两个侧壁连接杆,所述两个底部连接杆的两端分别与所述两个面板的底边固定连接,所述两个侧壁连接杆的两端分别与所述两个面板的两个侧边固定连接,所述两个侧壁连接杆相对的一侧设有间隔排布的第一凹槽,所述两个底部连接杆的上侧设有间隔排布的与所述第一凹槽相匹配的第二凹槽,其特征在于,还包括两个用于悬挂的倾斜板,所述两个倾斜板固定于所述两个面板的顶部,且所述倾斜板所在的平面与所述面板所在的平面本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石英舟,包括两个相对设置的面板、两个底部连接杆以及两个侧壁连接杆,所述两个底部连接杆的两端分别与所述两个面板的底边固定连接,所述两个侧壁连接杆的两端分别与所述两个面板的两个侧边固定连接,所述两个侧壁连接杆相对的一侧设有间隔排布的第一凹槽,所述两个底部连接杆的上侧设有间隔排布的与所述第一凹槽相匹配的第二凹槽,其特征在于,还包括两个用于悬挂的倾斜板,所述两个倾斜板固定于所述两个面板的顶部,且所述倾斜板所在的平面与所述面板所在的平面的夹角为锐角。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:宋海江
申请(专利权)人:苏州贝斯特石英有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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