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本实用新型涉及一种扩散石英舟，具体的涉及一种防硅片错位的扩散石英舟。该种防硅片错位的扩散石英舟，包括舟体，其特征在于，所述舟体内设有若干个挡板，该挡板包括若干石英片；所述挡板为中间低两端高；所述舟体底部纵向一侧的外表面上固定有支撑结构。该种...
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