【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种太阳能硅片制造设备，尤其是一种太阳能电池硅片扩散炉。
技术介绍
目前使用的太阳能电池硅片扩散炉，扩散气体进入炉体后垂直于硅片表面流动， 难以在硅片背面及硅片间隙内均勻分布，造成硅片表面方块电阻均勻性较差，中部方阻偏大，四周偏小。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种有效改善硅片表面方块电阻均勻性的太阳能电池硅片扩散炉。实现本技术目的的太阳能电池硅片扩散炉，包括炉体、设置在所述炉体内的石英舟、用于使扩散气体进入所述炉体内的进气管和扩散处理后排放尾气的排放管；所述进气管位于所述石英舟的上方，设有多个进气孔；所述排放管位于所述石英舟的下方，设有多个排放孔，所述石英舟底面设有多个流通孔，以便进气管进入的扩散气体通过流通孔从排放孔排出，使得扩散气体沿着平行于硅片表面的方向流动，从而有效地改善了硅片表面方块电阻的均勻性。所述流通孔为密集分布的多个小圆孔。所述流通孔为垂直与硅片分布的多个长条孔。本技术的有益效果如下本技术的太阳能电池硅片扩散炉，由于在石英舟底面设有多个流通孔，保证扩散气体沿着平行于硅片表面的方向流动，从而有效地改善了硅片表面方块电阻的均勻性。附图说明图...
【技术保护点】
１．一种太阳能电池硅片扩散炉，包括炉体、设置在所述炉体内的石英舟、用于使扩散气体进入所述炉体内的进气管和扩散处理后排放尾气的排放管；其特征在于：所述进气管位于所述石英舟的上方，设有多个进气孔；所述排放管位于所述石英舟的下方，设有多个排放孔，所述石英舟底面设有多个流通孔。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吕定先，
申请(专利权)人：湖南华威太阳能高科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：43
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