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本实用新型提供了一种有效改善硅片表面方块电阻均匀性的太阳能电池硅片扩散炉，包括炉体、设置在所述炉体内的石英舟、用于使扩散气体进入所述炉体内的进气管和扩散处理后排放尾气的排放管；所述进气管位于所述石英舟的上方，设有多个进气孔；所述排放管位于所...
该专利属于湖南华威太阳能高科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南华威太阳能高科技有限公司授权不得商用。

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