扩散炉用排气柜及扩散炉制造技术

本实用新型专利技术提供一种扩散炉用排气柜及扩散炉。扩散炉用排气柜，包括：柜体和排气装置，所述柜体上设置有进气口和排气口，所述排气装置设置在所述排气口处。通过柜体上的进气口与扩散炉中的炉体连通，炉体中产生的有害气体将进入到柜体中，在排气装置的作用下，有害气体将通过排气口排放到外部设置好的有害气体吸收装置中，从而减少有害气体直接从炉体中排出，实现通过扩散炉用排气柜降低了扩散炉污染程度并提高了扩散炉的安全性。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及加热炉设备，尤其涉及一种扩散炉用排气柜及扩散炉。
技术介绍
扩散炉是半导体器件及大规模集成电路制造过程中用于对晶片进行扩散、氧化、 镀膜、退火、合金及烧结等工艺的一种热加工设备。扩散炉通常包括依次连接的气源系统、 炉体、推拉舟和工作台等。现有技术中扩散炉中的炉体在加热过程中会产生大量的有害气体，一方面污染环境，另一方面对工人的人身健康造成影响。因此，现有技术中的扩散炉污染严重、安全性较低。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种扩散炉用排气柜及扩散炉，解决现有技术中扩散炉污染严重、安全性较低的缺陷，实现通过扩散炉用排气柜降低扩散炉污染程度并提高扩散炉的安全性。本技术提供的技术方案是，一种扩散炉用排气柜，包括柜体和排气装置，所述柜体上设置有进气口和排气口，所述排气装置设置在所述排气口处。本技术提供的扩散炉用排气柜，通过柜体上的进气口与扩散炉中的炉体连通，炉体中产生的有害气体将进入到柜体中，在排气装置的作用下，有害气体将通过排气口排放到外部设置好的有害气体吸收装置中，从而减少有害气体直接从炉体中排出，实现通过扩散炉用排气柜降低了扩散炉污染程度并提高了扩散炉的安全性。如上所述的扩散炉用排气柜，所述柜体上开设有多个所述进气口，所述柜体中设置有多个箱体，所述每个箱体上设置有进口和出口，所述进口对应与所述柜体上的所述进气口连通，每个所述出口分别与所述排气口连通。如上所述的扩散炉用排气柜，所述柜体中设置有排风通道，所述出口与所述排风通道连通，所述排风通道的一端口与所述排气口连通。如上所述的扩散炉用排气柜，所述箱体的出口处还设置有阀门。如上所述的扩散炉用排气柜，所述排气装置为抽气机或真空泵。本技术提供的技术方案是，一种扩散炉，包括炉体，还包括如上所述扩散炉用排气柜，扩散炉用排气柜的进气口与炉体连通。本技术提供的扩散炉，通过柜体上的进气口与扩散炉中的炉体连通，炉体中产生的有害气体将进入到柜体中，在排气装置的作用下，有害气体将通过排气口排放到外部设置好的有害气体吸收装置中，从而减少有害气体直接从炉体中排出，实现通过扩散炉用排气柜降低了扩散炉污染程度并提高了扩散炉的安全性。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术扩散炉用排气柜实施例的结构示意图。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。图1为本技术扩散炉用排气柜实施例的结构示意图。如图1所示，本实施例扩散炉用排气柜，包括柜体1和排气装置2，柜体1上设置有进气口 11和排气口 12，排气装置2设置在排气口 2处。具体而言，本实施例扩散炉用排气柜的柜体1为密封结构，柜体1通过进气口 11 与扩散炉中的炉体连通，从而炉体在工作过程中产生的有害气体将通过进气口 11进入到柜体1中。进入到柜体1中的有害气体将通过排气装置2经过排气口 12排出，其中，排出的有害气体可以进入到外部事先设置好的有害气体吸收装置中。另外，本实施例中的排气装置2可以设置在柜体1的外部，固设在排气口 12伸出柜体1的部分上；或者，本实施例中的排气装置2可以设置在柜体1的内部并固设在排气口 12处，排气装置2位于进气口 11 与排气口 12之间。本实施例中的排气装置2可以为抽气机或真空泵。本实施例扩散炉用排气柜，通过柜体上的进气口与扩散炉中的炉体连通，炉体中产生的有害气体将进入到柜体中，在排气装置的作用下，有害气体将通过排气口排放到外部设置好的有害气体吸收装置中，从而减少有害气体直接从炉体中排出，实现通过扩散炉用排气柜降低了扩散炉污染程度并提高了扩散炉的安全性。基于上述技术方案，可选的，本实施例中的柜体1上开设有多个进气口 11，柜体1 中设置有多个箱体3，每个箱体3上设置有进口 31和出口 32，进口 31对应与柜体1上的进气口 11连通，每个出口 32分别与排气口 12连通。具体而言，本实施例扩散炉用排气柜中的柜体1中设置有多个独立的箱体3，每个箱体3的进口 31与柜体1上设置的进气口 11对应连通，从而可以通过本实施例扩散炉用排气柜对多个扩散炉的炉体进行排气处理。有害气体进入到箱体3中后，可以通过出口 32 和排气口 12排出。进一步的，为了更加快捷的将有害气体从柜体1中排出，柜体1中设置有排风通道 4，出口 32与排风通道4连通，排风通道4的一端口与排气口 12连通。具体的，柜体1中的各个箱体3的出口 32与排风通道4连通，从箱体3中输出的有害气体可以通过排风通道4 统一快速的排出。更进一步的，为了方便的控制各个箱体3的开关，本实施例中的箱体3的出口 32 处还设置有阀门321。具体的，通过阀门321可以控制箱体3与排气口 12的通断，从而当柜体1中的某一箱体3不工作时，可以通过阀门321断开箱体3与排气口 12之间的气体流路。本技术还提供一种扩散炉，包括炉体，还包括扩散炉用排气柜，扩散炉用排气柜的进气口与炉体连通。具体而言，本实施例中的扩散炉用排气柜可以采用本技术扩散炉用排气柜实施例中的扩散炉用排气柜，其具体结构可以参见本技术扩散炉用排气柜实施例以及附图1的记载。其中，扩散炉用排气柜的进气口与炉体连通，当炉体进行加热时，炉体中产生的有害气体将通过进气口进入到扩散炉用排气柜中，从而通过扩散炉用排气柜有效的将炉体中的有害气体排出。本实施例扩散炉，通过柜体上的进气口与扩散炉中的炉体连通，炉体中产生的有害气体将进入到柜体中，在排气装置的作用下，有害气体将通过排气口排放到外部设置好的有害气体吸收装置中，从而减少有害气体直接从炉体中排出，实现通过扩散炉用排气柜降低了扩散炉污染程度并提高了扩散炉的安全性。最后应说明的是以上实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制； 尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解: 其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案的精神和范围。权利要求1.一种扩散炉用排气柜，其特征在于，包括柜体和排气装置，所述柜体上设置有进气口和排气口，所述排气装置设置在所述排气口处。2.根据权利要求1所述的扩散炉用排气柜，其特征在于，所述柜体上开设有多个所述进气口，所述柜体中设置有多个箱体，所述每个箱体上设置有进口和出口，所述进口对应与所述柜体上的所述进气口连通，每个所述出口分别与所述排气口连通。3.根据权利要求2所述的扩散炉用排气柜，其特征在于，所述柜体中设置有排风通道， 所述出口与所述排风通道连通，所述排风通道的一端口与所述排气口连通。本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种扩散炉用排气柜，其特征在于，包括：柜体和排气装置，所述柜体上设置有进气口和排气口，所述排气装置设置在所述排气口处。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王志盾，徐桂香，
申请(专利权)人：青岛金立盾电子设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：95