【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种硅片超声清洗装置，其特征在于，包括：多个依次排列的漂洗槽体；设置在每一个漂洗槽体上的超声装置；与所述多个依次排列的漂洗槽体中的一个槽体相连的纯水进水总管；设置在所述纯水进水总管上的纯水开关电磁阀；其中，所述多个漂洗槽体中相邻的漂洗槽体相互连通。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：钟伟，凌永峰，王雪芹，党鹏，
申请(专利权)人：浙江思博恩新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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