一种带有冷却装置的硅片清洗机制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
本技术属于硅片切割
，特别是涉及一种带有冷却装置的硅片清洗机。
技术介绍
硅片在切割完成后需要经过脱胶、清洗。硅片在清洗机内清洗过后还有通过热风进行烘干。目前硅片清洗机烘干出来的硅片温度在60~70℃，温度过高会影响分选机对硅片的检测准确性。原有的解决方案是通过放置一段时间待硅片温度降低到30℃左右的时候，再上分选机进行分选。这样就造成了加工时间的延长，影响了生产效率。
技术实现思路
本技术目的在于针对现有硅片清洗机的缺陷，提供一种能够快速冷却硅片的带有冷却装置的硅片清洗机。本技术为实现上述目的，采用如下技术方案：一种带有冷却装置的硅片清洗机，包括硅片清洗机本体，其特征在于：在清洗机本体的下料台上方设置有冷风通道，所述冷风通道通过风管与冷气机相连，由冷气机向冷风通道输送冷风。其进一步特征在于：所述冷风通道出风口位于下料台始端。进一步的：所述出风口内设置有导向板，所述导向板向下料台尾端方向倾斜。优选的：所述冷风通道尾部设置有回风管，所述回风管与冷气机进气口相连。所述回风管内设置有回风风机。所述回风风机为轴流风机。所述冷风通道高度为250-350mm。本技术使烘干后的硅片在下料台输送过程中在冷风通道内快速冷却，从60~70℃快速冷却到30℃左右，就可以直接上分选机进行分选，大大减少了冷却时间，提高了工作效率。附图说明图1为本技术结构示意图。具体实施方式如图1所示一种带有冷却装置的硅片清洗机，包括硅片清洗机本体1，在清洗机本体1的下料台2上方设置有冷风通道9，所述冷风通道9通过风管3与冷气机4相连，由冷气机4向冷风通道9输送冷风。所述冷风通道9的出风口5位于...
【技术保护点】
一种带有冷却装置的硅片清洗机，包括硅片清洗机本体，其特征在于：在清洗机本体的下料台上方设置有冷风通道，所述冷风通道通过风管与冷气机相连，由冷气机向冷风通道输送冷风。
【技术特征摘要】
1.一种带有冷却装置的硅片清洗机，包括硅片清洗机本体，其特征在于：在清洗机本体的下料台上方设置有冷风通道，所述冷风通道通过风管与冷气机相连，由冷气机向冷风通道输送冷风。2.根据权利要求1所述的带有冷却装置的硅片清洗机，其特征在于：所述冷风通道出风口位于下料台始端。3.根据权利要求2所述的带有冷却装置的硅片清洗机，其特征在于：所述出风口内设置有导向板，所述导向板向下料台尾端方向倾斜。4.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘锋，刘爱军，陈新军，
申请(专利权)人：无锡隆基硅材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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