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本发明实施例公开了一种硅片超声清洗装置，该装置包括：多个依次排列的漂洗槽体；设置在每一个漂洗槽体上的超声装置；与所述多个依次排列的漂洗槽体中的一个槽体相连的纯水进水总管；设置在所述纯水进水总管上的纯水开关电磁阀；其中，所述多个漂洗槽体中相邻...
该专利属于浙江思博恩新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江思博恩新材料科技有限公司授权不得商用。

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