本发明专利技术提供一种不伴随用于保持搬运对象物的手端操作装置的大型化、传感器的损伤、搬运效率的降低而能够适当地检测搬运对象物的保持状态的臂型搬运装置。其具有：臂机构，借助关节部将多个连杆以在水平面内能转动的方式相连接而构成，多个连杆包括保持搬运对象物的第一连杆；传感器，安装在构成臂机构的多个连杆中的、比第一连杆靠基端侧的连杆，检测在与安装位置相对应地确定的检测位置是否存在搬运对象物，传感器的安装位置设定为：在向使第一连杆接近安装有传感器的连杆的方向转动驱动关节部时，被正确地保持在第一连杆上的搬运对象物能通过检测位置而对该搬运对象物进行检测。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种以能够旋转的方式连接多个连杆而构成的臂型搬运装置，特别是涉及一种使用于检测搬运对象物的保持状态的功能适当化的臂型搬运装置，还涉及一种使检测如晶圆那样的正圆形搬运对象物的中心位置并校正位置偏移的功能适当化的臂型搬运装置。
技术介绍
公知有按照制造工序搬运形成为较薄的圆盘状的半导体晶圆等搬运对象物的搬运装置。其中，也存在有如下的臂型搬运装置该臂型搬运装置借助关节部以能够旋转的方 式串联连接多个连杆而构成，通过旋转驱动各关节部，而从以规定间距收容了搬运对象物的收容壳体内一张一张地取出搬运对象物并进行搬运。在这样的机械臂中，在前端的连杆即手端操作装置(第I连杆)上设有用于保持搬运对象物的保持部。作为用于保持搬运对象物的方法，存在有利用真空吸附进行保持的方法、利用机械卡盘夹持的方法，此外还有只是简单地载置的方法等各种方法，无论哪种方法均需要检测手端操作装置是否适当地保持搬运对象物。作为上述用途的其中一个方法，在专利文献I中公开了在手端操作装置上设置用于检测有无搬运对象物的光电传感器、静电传感器等传感器。并且，在将正圆形搬运对象物向处理装置搬运时，在一般的搬运系统中，为了校正正圆形搬运对象物的位置偏移而适当地搬运搬运对象物，使用被称为对准器的装置来进行对位。进行对位的方向是X方向及Y方向和对准器的旋转轴方向的0方向这3个方向。在专利文献2中，作为对正圆形搬运对象进行对位的方法，公开了检测X方向及Y方向、9方向的偏移来进行对位的方法。专利文献I :日本特开2002-270674号公报专利文献2 :日本特开平8-222611号公报但是，在上述那样的臂型搬运装置中，为了使手端操作装置能够出入例如晶圆的收容间距较短的收容壳体内部等较窄的空间，要求手端操作装置尽可能地小型化，但是若采用如上所述地在手端操作装置自身上设置传感器的结构，则在手端操作装置上需要用于安装传感器的空间，手端操作装置自身大型化。而且，在使手端操作装置出入例如处理装置内部的高温区域、低温区域的情况下，传感器与手端操作装置一起出入高温区域、低温区域，有可能损伤传感器。另一方面，作为避免上述不良情况的方法之一，考虑将手端操作装置上的用于检测有无搬运对象物的传感器安装在除臂型搬运装置以外的其他装置上，但是需要确保安装传感器的场所、每次检测时需要将搬运对象物搬运到设在其他装置上的传感器的规定检测位置，有损搬运效率。而且，在采用专利文献I所公开的方法时，存在有如下这样的问题在搬运中，只有在设于与臂型搬运装置不同的位置的对准器上才能够检测正圆形搬运对象物的中心位置，在搬运正圆形搬运对象物时，暂且将正圆形搬运对象物搬运到对准器上，进行对位后再取出该正圆形搬运对象物将其搬运到目标位置，需要花费向对准器搬运的时间和进行对位的时间。另外，也存在有如下这样的问题包括专利文献2的一般的对准器在检测各方向的位置偏移量后，利用分别设在X方向及Y方向、旋转方向上的驱动轴来校正检测出的偏移，因此，相对于一个对准器必需设置3个驱动轴，花费成本。
技术实现思路
本专利技术就是着眼于这样的问题而做成的，其中 的一个目的在于提供一种不伴随用于保持搬运对象物的手端操作装置的大型化、传感器的损伤、搬运效率的降低而能够适当地检测搬运对象物的保持状态的臂型搬运装置。本专利技术的另一个目的在于提供一种能够在短时间内检测正圆形搬运对象物的中心位置、并且基于检测出的正圆形搬运对象物的中心位置来判定正圆形搬运对象物的位置偏移的臂型搬运装置。本专利技术为了达成该目的，采取以下方法。S卩，本专利技术的第I技术方案的臂型搬运装置，其特征在于，该臂型搬运装置具有臂机构，其借助关节部将多个连杆以在水平面内能够转动的方式相连接而构成，该多个连杆包括用于保持搬运对象物的第一连杆；传感器，其安装在构成上述臂机构的多个连杆中的、比上述第一连杆靠基端侧的连杆上，用于检测在与安装位置相对应地确定的检测位置是否存在有上述搬运对象物，上述传感器的安装位置设定为在向使上述第一连杆接近安装有上述传感器的连杆的方向转动驱动上述关节部的情况下，被正确地保持在上述第一连杆上的搬运对象物能够通过上述检测位置而对该搬运对象物进行检测。由于这样地将传感器的安装位置设定为仅向使第一连杆接近安装有传感器的连杆的方向转动驱动关节部，就能使被正确地保持在第一连杆上的搬运对象物通过检测位置而对该搬运对象物进行检测，因此，能够检测第一连杆是否保持搬运对象物，不需要为了检测有无搬运对象物而将搬运对象物搬运到设在搬运装置以外的其他装置上的规定检测位置，能够提高搬运效率。而且，由于在比用于保持搬运对象物的第一连杆靠基端侧的连杆上安装有传感器，因此，与如以往那样在第一连杆(手端操作装置)上安装传感器的情况相t匕，能够使第一连杆薄型化，也能够应对使第一连杆出入例如收容间距较短的收容壳体内部等较窄的空间的要求。而且，由于在比用于保持搬运对象物的第一连杆靠基端侧的连杆上安装有传感器，因此，即使是在第一连杆出入例如处理装置内部的高温区域、低温区域的情况下，也能够避免传感器与第一连杆一起出入高温区域、低温区域，能避免传感器损伤。为了不仅是检测搬运对象物W是否被保持还检测搬运对象物是否被以从规定位置偏移的状态保持，优选设置判定部，该判定部计测使上述搬运对象物以规定速度移动而从该搬运对象物的一端到另一端通过上述检测位置所需的时间，基于计测出的时间和该搬运对象物被保持在上述第一连杆的规定位置上的规定时间之间的误差，来判定上述搬运对象物是否从上述规定位置偏移。本专利技术的第2技术方案的臂型搬运装置，其特征在于，该臂型搬运装置具有臂机构，其以使用于保持正圆形搬运对象物的连杆借助旋转轴在水平面内能够转动的方式将该连杆安装在基座构件上；边缘检测部，其与上述旋转轴一起安装在上述基座构件上，用于检测正圆形搬运对象物的边缘是否位于与安装位置相对应地确定的检测位置；旋转角度检测部，其用于检测上述连杆相对于上述基座构件的旋转角度；中心位置计算部，其基于正圆形搬运对象物的边缘通过上述边缘检测部时由旋转角度检测部检测出的对应的旋转角度，计算出正圆形搬运对象物相对于上述连杆的中心位置。若如此构成，则仅使保持有正圆形搬运对象物的连杆通过基座构件的边缘检测部，不需要逐一向与臂型搬运装置分开设置的对准器等搬运来进行搬运对象物的对位，就能够由旋转角度检测部与中心位置计算部计算出正圆形搬运对象物的中心位置坐标，因此，能够大幅度地缩短搬运及对位的时间，也能够大幅度地降低成本。而且，为了判定正圆形搬运对象物从原本应位于的中心位置坐标的位置偏移，优选的是，该臂型搬运装置具有中心位置偏移判定部，该中心位置偏移判定部基于利用上述中心位置计算部计算出的中心位置来检测正圆形搬运对象物的位置偏移，该中心位置偏移判定部构成为基于被预先赋予的基准中心位置和上述中心位置计算部计算出的被载置在 连杆上的应测定的正圆形搬运对象物的实际中心位置，来判定从上述基准中心位置到上述实际中心位置的中心位置偏移。本专利技术的第I技术方案由于如上地构成，因此，仅向使第一连杆接近安装有传感器的连杆的方向转动驱动关节部，就能够检测是否保持搬运对象物，能够极力减少多余的动作而提高搬运效率。而且，由于在比用于保持搬运对象物的第一连杆靠基端侧的连杆上安装传感器，因此本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种臂型搬运装置，其特征在于，该臂型搬运装置具有：臂机构，其借助关节部将多个连杆以在水平面内能够转动的方式相连接而构成，该多个连杆包括用于保持搬运对象物的第1连杆；传感器，其安装在构成上述臂机构的多个连杆中的、比上述第一连杆靠基端侧的连杆上，用于检测在与安装位置相对应地确定的检测位置是否存在有上述搬运对象物，上述传感器的安装位置设定为：在向使上述第一连杆接近安装有上述传感器的连杆的方向转动驱动上述关节部的情况下，被正确地保持在上述第一连杆上的搬运对象物能够通过上述检测位置而对该搬运对象物进行检测。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：佐伯亨，三重野靖理，占部雄士，增井阳二，神垣敏雄，
申请(专利权)人：昕芙旎雅有限公司，
类型：发明
国别省市：
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