膜转移框架制造技术

一种用于将膜固定在单件式框架上的系统包括具有带大于该膜的中心开放区域的形状的框架，该框架包括在框架上延伸到该开放区域中的多个指状物和定位在该多个指状物中的每一个的末端上的倒刺，其中该倒刺固定该膜。系统还包括末端执行器，该末端执行器包括第一多个真空管线开口和第二多个真空管线开口，其中该末端执行器用该第一多个真空管线开口固定到该膜上并且用该第二多个真空管线开口固定到该框架上，其中该末端执行器用该第一多个真空管线开口拾起该膜并且将该膜压到该框架上，其中将该膜压到该框架上将该膜固定在该倒刺上。

【技术实现步骤摘要】
膜转移框架
技术介绍
本公开内容大致涉及半导体装置制造工艺领域，且更具体涉及半导体装置传送框架领域。如图IA所示，太阳能电池的制造工艺涉及将多个层连续沉积到基板上。在一个实施方案中，如图IA所示，多个层包括牺牲层、外延层、金属层和聚酯(PET)膜层。如图IB所示，当牺牲层被蚀刻掉时，剩余层(例如，外延层、金属层和PET膜层)随后可进行进一步处理，例如清洗和其它处理步骤。所得带聚酯(PET)膜和砷化镓层的小的、单一薄塑料片太脆弱无法被传送穿过标准的处理工具。膜对于输送系统来说质量和尺寸稳定性不足；其容易浮在化学水浴中；且其无法承受气体或流体的撞击流。但是，框架赋予膜足够的大小和尺寸稳定性以供自动化设备处理并且通过处理设备在环境中将膜保持任意定向。 过去，使用例如图2所示的带两件式夹子204的框架202装载这些膜进行处理。过去，使用在每个相对边缘上具有夹子204的两件式总成。这需要将PET膜总成装入两件式总成中的手动过程。这个过程耗劳力并且限制制作太阳能电池的速度。其并不适合自动化。其它实施方案也使用PET膜中的孔，该孔随后与框架上的附件对齐。这也导致耗劳力的手动过程，其非常耗时，同时还不适合自动化。专利技术概述本专利技术针对处理单一膜，例如其上方具有一层砷化镓的PET膜所固有的困难提供解决方案。在根据本公开内容的一个实施方案的系统中，公开一种用于将膜固定在单件式框架上的系统。系统包括具有带大于膜的中心开放区域的形状的框架，该框架包括在框架上延伸到开放区域中的多个指状物和定位在多个指状物中的每一个的末端上的倒刺，其中倒刺固定膜。系统还包括末端执行器，该末端执行器包括第一多个真空管线开口和第二多个真空管线开口，其中末端执行器用第一多个真空管线开口固定到膜上并且用第二多个真空管线开口固定到框架上，其中末端执行器用第一多个真空管线开口拾起膜并且将膜压到框架上，其中将膜压到框架上将膜固定在倒刺上。在根据本专利技术的一个实施方案的方法中，公开一种用于将膜固定在单件式框架上的方法。用于将膜固定在单件式框架上的方法从用末端执行器拾起膜开始，其中末端执行器用第一多个真空管线开口拾起膜。接下来，末端执行器用末端执行器将膜移动到单件式框架并且将膜压到框架上以固定膜，其中框架包括具有带大于膜的中心开放区域的形状，框架包括在框架上延伸到开放区域中的多个指状物和其定位在多个指状物中的每一个的末端上的倒刺，其中倒刺通过刺穿膜而固定膜。用于将膜固定在单件式框架上的系统包括具有带大于膜的中心开放区域的形状的框架，框架包括在框架上延伸到开放区域中的多个指状物和定位在多个指状物中的每一个的末端上的倒刺，其中倒刺固定膜。系统还包括末端执行器，该末端执行器包括第一多个真空管线开口和第二多个真空管线开口，其中末端执行器用第一多个真空管线开口固定到膜上并且用第二多个真空管线开口固定到框架上，其中末端执行器用第一多个真空管线开口拾起膜并且将膜压到框架上，其中将膜压到框架上将膜固定在倒刺上。附图简述阅读下文结合附图(其中相同附图标记指示相同元件)进行的详细描述可以更好地了解本专利技术。第IA示了根据本公开内容的一个实施方案的半导体装置的示意横截面。第IB示了根据本公开内容的一个实施方案的半导体装置的示意横截面。第2示了带夹子的单膜现有技术固定框架的俯视图；第3示了根据本公开内容的一个实施方案的带用于固定膜的多个微型倒刺的单膜固定框架的俯视图；第4示了根据本公开内容的一个实施方案的带附接到微型倒刺的膜的第3图的固定框架的俯视图；第5示了根据本公开内容的一个实施方案的第3图的固定框架的微型倒刺的 特与图；第6示了根据本公开内容的一个实施方案的带用于固定膜的多个真空管线开口的末端执行器和固定框架的俯视图；第7示了根据本公开内容的一个实施方案的固定框架和末端执行器的俯视图；和第8示了流程图，其图示了根据本公开内容的一个实施方案的方法的步骤。具体实施例方式现在将更详细地参考本专利技术的优选实施方案，其实施例图示在附图中。虽然将结合优选实施方案描述本专利技术，但是应当了解其不旨在将本专利技术限于这些实施方案。相反，本专利技术旨在覆盖替代例、修改例和等效例，其可包括在如随附权利要求所定义的本专利技术的精神和范围内。此外，在下文对本专利技术的实施方案的详细描述中，说明许多特定细节以提供本专利技术的彻底理解。但是，本
的一般人员了解本专利技术可在没有这些特定细节的情况下实践。在其它实例中，未详细描述众所周知的方法、程序、组件和电路从而不不必要地模糊本专利技术的实施方案的各个方面的理解。示出本专利技术的实施方案的附图是半概略的，且未按比例绘制，特别在附图中一些尺寸只为了展示的明了起见而且夸大示出。类似地，虽然为方便描述起见，附图中的图通常显示类似的定向，但是附图中的这种描绘多数是随意的。通常，本专利技术可在通过任意定向操作。下文详细描述中的一部分是针对计算机存储器内的数据位运算的程序、步骤、逻辑块、处理和其它符号表示而提出。这些描述和表示是数据处理技术人员向本
的其它技术人员传达其工作实质的最有效方法。本文中通常将程序、计算机执行步骤、逻辑块、处理等设想成导致所要结果的自我一致的步骤顺序或指令。步骤是需要物理量的物理操作的步骤。通常(但不一定)，这些量采用能够在计算机系统中存储、转移、组合、比较以及另外操作的电信号或磁信号的形式。已证实有时(主要是为了普遍使用)可以方便地将这些信号称作比特、值、元素、符号、标志、术语、号码或类似物。但是，应当记得，所有这些和类似术语与合适的物理量相关并且仅仅是对这些量应用的便捷标记。除非如从下文说明可知另有具体规定，否则应当了解在本专利技术中，使用术语(例如“处理”或“存取”或“执行”或“存储”或“提供”或类似术语)的说明指的是将表示成计算机系统的寄存器和存储器和其它计算机可读媒体内的物理(电子)量操作并且转化成类似地表示成计算机系统存储器或寄存器或其它此类信息存储、传输或显示装置内的物理量的其它数据的计算机系统或类似电子计算装置的行动和处理。当一个组件出现在几个实施方案中时，使用相同的附图标记表明该组件与原实施方案中所示的组件相同。本专利技术针对处理单一膜，例如其上方具有太阳能材料(例如，砷化镓)层的PET膜所固有的日益增大的困难提供解决方案。本公开内容的不同实施方案提供单件式框架，该单件式框架在湿法清洗和烘焙过程中固定膜，其中框架提供用于将膜固定到框架的多个倒刺。在单一膜的湿法处理期间，需要在湿法清洗工具、烘炉中将膜牢固地固定成水平和垂直定向；保持框架与气刀型干燥的兼容性而无需二次干燥操作的单件式框架。此外，框架需保持低剖面以在标准湿法清洗水浴中操作。最后，框架需用自调节过程允许膜的快速、自动化装载而无需精密对准或预切割装置。此类需求可用一种框架满足，该框架包括在倒刺支撑臂上固定膜而无需第二工件来固定膜或无需膜中存在预先存在的装置的多个微型倒刺。微型倒刺形成膜中的固定装置并且固定膜。微型倒刺可以将膜固定成任意定向并且可在一个处理定向中容易地在水平固定的同时用一维机械运动装载。微型倒刺和微型倒刺 支撑臂的大小和形状使接触最小化以更好地进行干燥，同时还允许穿过缝隙进入湿法水浴中。如第3图所示，示例性框架300具有带大于聚酯(PET)膜的中心开放区域的矩形形状。在末端304上带微型倒本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于固定膜的单件式装置，其包括：框架，其具有带大于所述膜的中心开放区域的形状；多个指状物，其在所述框架上延伸到所述开放区域中；和倒刺，其定位在所述多个指状物中的每一个的末端上，其中所述倒刺固定所述膜。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：J·S·弗兰克尔，
申请(专利权)人：埃尔塔设备公司，
类型：发明
国别省市：