【技术实现步骤摘要】
膜转移框架
技术介绍
本公开内容大致涉及半导体装置制造工艺领域，且更具体涉及半导体装置传送框架领域。如图IA所示，太阳能电池的制造工艺涉及将多个层连续沉积到基板上。在一个实施方案中，如图IA所示，多个层包括牺牲层、外延层、金属层和聚酯(PET)膜层。如图IB所示，当牺牲层被蚀刻掉时，剩余层(例如，外延层、金属层和PET膜层)随后可进行进一步处理，例如清洗和其它处理步骤。所得带聚酯(PET)膜和砷化镓层的小的、单一薄塑料片太脆弱无法被传送穿过标准的处理工具。膜对于输送系统来说质量和尺寸稳定性不足；其容易浮在化学水浴中；且其无法承受气体或流体的撞击流。但是，框架赋予膜足够的大小和尺寸稳定性以供自动化设备处理并且通过处理设备在环境中将膜保持任意定向。 过去，使用例如图2所示的带两件式夹子204的框架202装载这些膜进行处理。过去，使用在每个相对边缘上具有夹子204的两件式总成。这需要将PET膜总成装入两件式总成中的手动过程。这个过程耗劳力并且限制制作太阳能电池的速度。其并不适合自动化。其它实施方案也使用PET膜中的孔，该孔随后与框架上的附件对齐。这也导致耗劳力的手动过程，其非...
【技术保护点】
一种用于固定膜的单件式装置，其包括：框架，其具有带大于所述膜的中心开放区域的形状；多个指状物，其在所述框架上延伸到所述开放区域中；和倒刺，其定位在所述多个指状物中的每一个的末端上，其中所述倒刺固定所述膜。
【技术特征摘要】
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