【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种能使非活性气体循环的efem(equipment front end module，设备前端模块)。
技术介绍
1、在专利文献1中公开了一种efem，该efem在对半导体基板(晶圆)实施预定的处理的处理装置与收纳有晶圆的foup(front-opening unified pod，前开式晶圆传送盒)之间进行晶圆的交接。efem包括壳体、装载口以及输送装置，上述壳体形成有输送晶圆的输送室，上述装载口为多个，排列配置在壳体的外侧，并供foup分别载置，上述输送装置在输送室内延伸的轨道上行走而输送晶圆。
2、以往，输送室内的氧、水分等对在晶圆上制造的半导体电路的影响较少，但近年来，随着半导体电路的进一步微细化，上述影响变得明显起来。于是，专利文献1记载的efem构成为利用作为非活性气体的氮来填满输送室内。具体而言，efem具有循环流路、气体供给部件以及气体排出部件，上述循环流路供氮在壳体的内部循环，含有输送室，上述气体供给部件向循环流路供给氮，上述气体排出部件自循环流路排出氮。根据循环流路内的氧浓度等的变动，适当地供给以及排出氮。由此，与始终供给以及排出氮的结构相比，能够抑制氮的供给量的增加，并且能将输送室内保持为氮气氛。
3、另外，为了抑制氮的供给量的增加，并且将输送室内保持为适当的气氛，需要设置用于监视氧浓度、湿度等的传感器设备等。但是，若单纯地将传感器设备等设置在输送室内，则可能干扰行走的输送装置。于是，本申请专利技术人研究了像专利文献2记载的那样的位置被固定的输送装置(输送机器人)的应
4、现有技术文献
5、专利文献
6、专利文献1：日本特开2015-146349号公报
7、专利文献2：日本特开2012-169691号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的问题
2、在专利文献2记载的输送机器人中，通过对支承多关节臂的支柱进行上下驱动，也沿上下方向输送晶圆。在将上述这样的输送机器人应用于专利文献1记载的efem的情况下，产生以下这样的问题。即，当为了将在驱动机构动作时可能在主体内产生的颗粒去除，而构成为将主体内的气体(非活性气体)排出到作为efem壳体外的外部空间时，供给到输送室内的氮经由开设在主体与支柱之间的间隙被吸引到主体内，随后被排出到外部空间。因此，相应地产生要补充氮的需要，氮的供给成本可能增加。虽说如此，但当构成为不自主体向外部排出氮时，则下次在以使支柱向下方缩进的方式进行驱动(主体的内部容积减小)时，主体内的气体(非活性气体)随着支柱的移动而被推出到周边。因此，含有颗粒的气体(非活性气体)可能经由所述间隙放出到输送室内。
3、本专利技术的目的在于，在使壳体内的非活性气体循环的类型的efem中，抑制成本的增加，并且抑制颗粒放出到输送室内。
4、用于解决问题的方案
5、第1专利技术的efem具有输送室和回归通路，构成为供非活性气体循环，所述输送室供由用于去除颗粒的风扇式过滤单元净化后的所述非活性气体沿预定方向流动，所述回归通路使所述非活性气体自所述输送室的所述预定方向上的下游侧向所述风扇式过滤单元返回，其特征在于，所述efem具备自动装置，所述自动装置配置在所述输送室内，在保持有基板的状态下进行预定的动作，所述自动装置具有：壳构件，其形成有开口；保持部，其配置于所述壳构件的外侧，用于保持所述基板；支承部，其支承所述保持部，并且贯穿于所述开口；以及驱动机构，其收纳于所述壳构件，用于驱动所述支承部，所述自动装置设有将所述壳构件与所述回归通路连接的连接通路。
6、通过利用自动装置具有的驱动机构驱动支承部，可能在壳构件的内部空间产生颗粒。当含有该颗粒的非活性气体自壳构件的开口与支承部之间的间隙泄漏时，输送室内可能被颗粒污染。在本专利技术中，由于设有将壳构件与回归通路连接的连接通路，因此即使假如在壳构件的内部空间产生颗粒，也使该颗粒经由连接通路排出到回归通路，因此能够抑制颗粒泄漏到输送室内。此外，利用配置于回归通路的下游侧的风扇式过滤单元将排出到回归通路的颗粒去除。因而，能够抑制输送室被在壳构件的内部空间产生的颗粒污染。另外，在上述这样的结构中，壳构件内的非活性气体不直接排出到外部，因此不必补充自壳构件内排出的量的非活性气体，能够抑制非活性气体的供给量的增加，因此能够抑制成本的增加。因而，在使壳体内的非活性气体循环的类型的efem中，能够抑制成本的增加，并且能够抑制颗粒放出到输送室内。
7、第2专利技术的efem在上述第1专利技术的基础上，其特征在于，所述efem还具备风扇，所述风扇经由所述连接通路向所述回归通路送出所述壳构件内的非活性气体。
8、在本专利技术中，能够利用由风扇生成的气流可靠地向回归通路输送壳构件内的非活性气体，因此能够抑制壳构件内的非活性气体自开口与支承部之间的间隙泄漏，从而能够更可靠地抑制颗粒放出到输送室内。
9、第3专利技术的efem在上述第2专利技术的基础上，其特征在于，所述efem还包括：风扇驱动装置，其对所述风扇进行旋转驱动；以及控制部，其控制所述风扇驱动装置，在所述驱动机构进行动作时，所述控制部使所述风扇的转速比所述驱动机构未动作时快。
10、在壳构件内，在驱动机构进行动作而驱动支承部时，可能易于产生颗粒。在本专利技术中，通过在驱动机构进行动作时加快风扇的转速而加快风速，能够可靠地向回归通路输送壳构件内的非活性气体。另外，通过在驱动机构未进行动作时减慢风扇的转速，能够降低用于驱动风扇的耗电。
11、第4专利技术的efem在上述第1专利技术～第3专利技术中任一专利技术的基础上，其特征在于，作为所述自动装置，设有输送所述基板的输送机器人，所述壳构件固定在所述输送室内，作为所述保持部，设有保持所述基板并沿水平方向输送所述基板的臂机构，作为所述支承部，设有支承所述臂机构的支柱，利用所述驱动机构上下驱动所述支柱。
12、在本专利技术中，输送机器人的壳构件固定在输送室内。也就是说，壳部本身不在输送室内移动，因此相应地能够确保用于在输送室内设置各种设备的空间。另一方面，在对支承臂机构的支柱进行上下驱动的结构中，特别是在以使支柱向下方缩进的方式进行了驱动时，含有在壳构件内产生的颗粒的非活性气体可能随着支柱的移动向上方被推出，并且穿过壳构件与支柱之间的间隙而放出到输送室内。在本专利技术中，在上述这样的结构中，由于壳构件利用连接通路与回归通路连接，因此也能经由连接通路向回归通路排出颗粒。因而，能够有效地抑制含有颗粒的非活性气体流入输送室内。
【技术保护点】
1.一种EFEM，所述EFEM具有输送室和回归通路，构成为供非活性气体循环，所述输送室供由用于去除颗粒的风扇式过滤单元净化后的所述非活性气体沿预定方向流动，所述回归通路使所述非活性气体自所述输送室的所述预定方向上的下游侧向所述风扇式过滤单元返回，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的EFEM，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的EFEM，其特征在于，
4.根据权利要求1～3中任一项所述的EFEM，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的EFEM，其特征在于，
6.一种EFEM的气体置换方法，在EFEM中置换气体，所述EFEM具有输送室和回归通路，构成为供非活性气体循环，所述输送室供由用于去除颗粒的风扇式过滤单元净化后的所述非活性气体沿预定方向流动，所述回归通路使所述非活性气体自所述输送室的所述预定方向上的下游侧向所述风扇式过滤单元返回，所述气体置换方法的特征在于，
7.一种EFEM的气体置换方法，在EFEM中置换气体，所述EFEM具有输送室和回归通路，构成为供非活性气体循环，所述输送室供由用于去除颗粒的风扇式
...【技术特征摘要】
1.一种efem，所述efem具有输送室和回归通路，构成为供非活性气体循环，所述输送室供由用于去除颗粒的风扇式过滤单元净化后的所述非活性气体沿预定方向流动，所述回归通路使所述非活性气体自所述输送室的所述预定方向上的下游侧向所述风扇式过滤单元返回，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的efem，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的efem，其特征在于，
4.根据权利要求1～3中任一项所述的efem，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的efem，其特征在于，
6.一种efem的气体置换方法，在efem中置换气体，所...
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