装载端口制造技术

装载端口(1)所具备的映射传感器(30)是用于对收纳于匣(51(52))的FFC(被处理物的一例子)进行映射的传感器。映射传感器(30)具有传感器部(31)和用于使该传感器部(31)升降的升降部(32)。映射传感器(30)配置在装载端口(1)的基座(10)的与输送空间的那一侧相反的一侧。的基座(10)的与输送空间的那一侧相反的一侧。的基座(10)的与输送空间的那一侧相反的一侧。

【技术实现步骤摘要】
装载端口
[0001]本申请是申请日为2016年11月29日、申请号为201680069222.6、专利技术名称为“装载端口”的申请的分案申请。


[0002]本专利技术涉及一种为了相对于输送空间搬入搬出晶圆等被处理物而载置用于收纳该被处理物的容器的装载端口。

技术介绍

[0003]上述的容器存在被称作FOUP(Front
‑
Opening Unified Pod)的具有可开闭的盖的密闭型的容器、被称作开放式匣的开放型的容器。在这些容器的内侧设有多层的架板，晶圆等多个被处理物在上下方向上隔开恒定的间隔地以水平姿势收纳在该容器中。在此，一般来讲，装载端口具有映射功能这样的功能。映射功能是检测收纳于容器内的晶圆等多个被处理物在各层的有无、倾斜等收纳状态的功能。
[0004]作为关于上述的映射功能的技术，例如有专利文献1所述的技术。该以往技术如下地构成。在装载端口的背面侧(输送室内)设置具有映射传感器的可升降移动的映射装置，使映射装置与用于分隔输送空间和外部的门(装载端口的门)一同升降移动。映射装置具有摆动框，通过使摆动框向开放式匣、FOUP这样的容器侧摆动，从而将映射传感器插入到容器中。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本特开2015－50410号公报

技术实现思路

[0008]专利技术要解决的问题
[0009]上述的以往技术存在以下的问题。由于构成专利文献1所述的映射装置的升降机构、摆动机构位于装载端口的背面侧(输送室内)，因此自这些机构部分会产生微粒(微小的灰尘)。此外，由因映射装置的升降、摆动而产生的气流引起附着于门、输送室的微粒在输送室内飞扬。由于输送室内必须维持清洁的环境(洁净的环境)，因此输送室内的微粒的产生、飞扬并不理想。此外，基于映射的结果，一旦发现错误，则必须再次将打开的门关闭。收纳在映射中发现错误的被处理物的容器要进行更换，但与没有门的关闭动作的情况相比，容器的更换会延迟与再次将打开的门关闭这样的动作相应的量。
[0010]本专利技术即是鉴于上述实际情况而完成的，其目的在于提供一种这样的装载端口，该装载端口具有能够避免由映射动作引起在输送空间内(输送室内)产生微粒、而且不需要由映射动作引起的装载端口的门的开闭的映射功能。
[0011]用于解决问题的方案
[0012]本专利技术的装载端口包括：基座，其竖立配置，该基座构成用于划分输送空间的分隔
壁的一部分，并具有用于相对于所述输送空间搬入搬出被处理物的基座开口部；载置台，其设于所述基座的与所述输送空间的那一侧相反的一侧，该载置台供收纳多个所述被处理物的容器载置；以及门，其用于进行所述基座开口部的开闭。该装载端口包括映射传感器，该映射传感器具有传感器部和用于使该传感器部升降的升降部，用于对收纳于所述容器的所述被处理物进行映射，该映射传感器配置在所述基座的与所述输送空间的那一侧相反的一侧。
[0013]采用该结构，由于具有传感器部和用于使该传感器部升降的升降部的映射传感器并不是配置在输送空间中，而是配置在输送空间之外，因此不会由映射动作引起在输送空间内产生微粒。此外，由于装载端口的门的开闭与映射动作分离，因此能够不需要由映射动作引起的该门的开闭。
[0014]另外，采用上述结构，也能获得以下的效果。不会由映射传感器缩窄利用设置于输送空间的被处理物输送机器人输送被处理物的输送区域。
[0015]本专利技术还优选的是，所述容器在载置于所述载置台上的状态下的靠所述输送空间的那一侧和其相反的那一侧具有开口部，所述传感器部具有发光元件部和受光元件部，该发光元件部和受光元件部配置于在所述载置台上载置的状态下的所述容器之外、且是在俯视时将收纳于该容器的所述被处理物夹在中间的位置，从所述发光元件部向所述受光元件部通过所述容器的开口部照射光。
[0016]采用该结构，由于使来自映射传感器的光通过容器的开口部，因此防止该光漫反射等状况，映射精度上升。此外，由于能够对升降移动的传感器部的发光元件部和受光元件部保持配置在收纳被处理物的容器之外的状态地进行映射，因此能够与容器的种类、尺寸无关地映射。换言之，即便是多种容器、不同尺寸的容器，也不更换映射传感器就能够映射。
[0017]本专利技术还优选的是，在利用所述映射传感器对收纳于所述容器的所述被处理物进行映射之后，使所述门进行动作而打开所述基座开口部。
[0018]采用该结构，由于能够在打开基座开口部(开放门)之前进行映射，因此能够在早期更换存在错误的容器。
[0019]本专利技术还优选的是，自动选定与所述容器相应的映射参数。
[0020]采用该结构，即便是多种容器、不同尺寸的容器，也能够迅速地映射。
[0021]本专利技术还优选的是，装载端口具备用于覆盖在所述载置台上载置的所述容器和所述映射传感器的可开闭的罩，在利用所述罩覆盖了在所述载置台上载置的所述容器和所述映射传感器之后，利用所述映射传感器对收纳于所述容器的所述被处理物进行映射。
[0022]采用该结构，能够防止在映射动作过程中手触碰到容器、映射传感器。
[0023]本专利技术还优选的是，所述罩包括分割的形态的多个分割罩，所述多个分割罩构成为能够退避到所述载置台的上方和所述载置台的下方空间。
[0024]在此，例如日本特许第4474922号公报、日本特开2003－249535号公报所述的装载端口所具备的罩设为全部退避到装载端口的载置台的下方的结构。采用该结构的罩，难以确保载置台的下方的机械机构和电气设备的收纳空间。即便假设能够确保收纳空间，该收纳空间也会变复杂。
[0025]另一方面，采用本专利技术的上述的结构，通过将覆盖容器和映射传感器的可开闭的罩设为分割的形态的多个分割罩，从而罩的配置和罩形状的自由度升高。由于使该多个分
割罩退避到载置台的上方、载置台的下方空间，而不是载置台的下方，因此与使罩全部退避到载置台的下方空间的情况相比，易于在装载端口的载置台的下方确保装载端口所需要的机械机构和电气设备的收纳空间。
[0026]本专利技术还优选的是，所述多个分割罩具有：第1罩，其覆盖所述载置台的前方侧，并且能进行升降移动，从而在设为打开状态时退避到所述载置台的下方空间；以及第2罩，其载置到所述第1罩上并覆盖所述载置台的上方侧，并且能进行转动动作，从而在设为所述打开状态时退避到所述载置台的上方。
[0027]采用该结构，特别是通过将退避到载置台的下方空间的分割罩设为升降移动的结构，从而在装载端口的载置台的下方更易于确保装载端口所需要的机械机构和电气设备的收纳空间。
[0028]本专利技术还优选的是，在所述多个分割罩分别设有用于使所述多个分割罩进行动作的驱动装置。
[0029]采用该结构，能够使分割罩自动开闭。由此，能够与容器的输送方法、容器的种类相应地进行仅使所需要的分割罩自动打开、或者在所需最低限度的范围内使分割罩自动打开等的控制。
[0030]专利技术的效果...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种装载端口，其包括：基座，其竖立配置，该基座构成用于划分输送空间的分隔壁的一部分，并具有用于相对于所述输送空间搬入搬出被处理物的基座开口部；载置台，其设于所述基座的与所述输送空间的那一侧相反的一侧，该载置台供收纳多个所述被处理物的容器载置；以及门，其用于进行所述基座开口部的开闭，该装载端口的特征在于，该装载端口包括映射传感器，该映射传感器具有传感器部和端部固定于该传感器部的中央部的传感器部支承构件，用于对收纳于所述容器的所述被处理物进行映射，所述传感器部具有发光元件部和受光元件部，并且具有沿着所述基座配置且支承所述发光元件部和所述受光元件部中的一者的第1构件、在所述被处理物的输送方向上与该第1构件相对地配置且支承所述发光元件部和所述受光元件部中的另一者的第2构件、以及沿着所述被处理物的输送方向配置且支承所述第1构件和所述第2构件的第3构件，所述映射传感器配置在所述输送空间的外侧，并且设置于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：森鼻俊光，大泽真弘，松本祐贵，
申请(专利权)人：昕芙旎雅有限公司，
类型：发明
国别省市：