【技术实现步骤摘要】
一种离子风扇安装固定装置
[0001]本技术属于晶圆倒片领域，特别涉及一种离子风扇安装固定装置。
技术介绍
[0002]离子风扇是用于消除晶圆倒片时静电的设备，晶圆倒片是指：将芯片生产线上的晶圆通过制程需要进行分批、合并、翻转后进行下一道程序。现有技术中：晶圆倒片器通常放置在工作桌上，人员将片盒放置于倒片器上作业，工作桌上的离子风扇位于倒片器后方，其存在弊端：1、将离子风扇放置在桌子上面，作业时存在碰撞风险；2、若人员不小心将离子风扇位置移动，则会起不到消除静电的作用。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是提供一种离子风扇安装固定装置，解决作业时可能发生碰撞直接放在工作台上离子风扇的安全隐患，以及人员不小心碰到离子风扇移动位置无法消除静电的风险。
[0004]本技术的目的是这样实现的：一种离子风扇安装固定装置，包括水平设置的工作台，工作台下侧设置有若干竖直的支腿，所述工作台呈矩形，工作台的后侧设置有后围栏，工作台的左右两侧均设置有侧围栏，所述后围栏上连接有安装支架，所述安装支架包括竖直的固定板，固定板...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种离子风扇安装固定装置，包括水平设置的工作台，工作台下侧设置有若干竖直的支腿，其特征在于，所述工作台呈矩形，工作台的后侧设置有后围栏，工作台的左右两侧均设置有侧围栏，所述后围栏上连接有安装支架，所述安装支架包括竖直的固定板，固定板上连接有高度位置可调的竖直升降板，所述升降板的上部转动连接有支撑板，所述支撑板的左右两侧均设有弧形调节板，所述调节板上沿弧线方向依次开设有若干连接孔，紧固螺钉穿过对应连接孔并与升降板侧面相螺纹连接。2.根据权利要求1所述的一种离子风扇安装固定装置，其特征在于，所述后围栏与工作台的长度相等，后围栏包括平行的上横杆和下横杆，上横杆和下横杆之间竖直设有若干连接杆。3.根据权利要求2所述的一种离...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡寅宇，王徐，陈飞，邱桐，
申请(专利权)人：江苏汇成光电有限公司，
类型：新型
国别省市：
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