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一种离子风扇安装固定装置制造方法及图纸
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下载一种离子风扇安装固定装置的技术资料
文档序号:39385121
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本实用新型公开了晶圆倒片领域内的一种离子风扇安装固定装置,包括水平设置的工作台,工作台下侧设置有若干竖直的支腿,所述工作台呈矩形,工作台的后侧设置有后围栏,工作台的左右两侧均设置有侧围栏,所述后围栏上连接有安装支架,所述安装支架包括竖直的固...
该专利属于江苏汇成光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏汇成光电有限公司授权不得商用。
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