装载端口及用于打开/关闭储存容器的方法技术

本发明专利技术涉及一种装载端口及用于打开/关闭储存容器的方法。装载端口与输送部件连接且包括：基座，其构成输送部件的壁的一部分；载台，储存容器安装在该载台上；载台驱动机构，其被配置为使载台在朝向或远离基座的方向上移动；门，其被配置为能够对基座的在面对安装在载台上的储存容器的盖子的位置处的开口进行打开/关闭，并且能够对在关闭开口的状态下设置为面对开口的盖子进行保持；门驱动机构，其被配置为使门在打开位置与关闭位置之间移动；以及移动限制部件，其被配置为通过抵靠在载台上而限制载台在远离基座的方向上的移动。制载台在远离基座的方向上的移动。制载台在远离基座的方向上的移动。

【技术实现步骤摘要】
装载端口及用于打开/关闭储存容器的方法
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请基于2022年6月23日提交的日本专利申请第2022
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101087号并要求其优先权的权益，其全部内容通过引用并入本文。


[0003]本专利技术涉及一种与被配置为输送基板的输送部件连接并且用于在输送部件与储存基板的储存容器之间进行基板的搬入/搬出的装载端口，以及一种用于打开/关闭储存基板的储存容器的方法。

技术介绍

[0004]在半导体制造工艺等中需要高度洁净的环境。近年来，小型环境系统已经越来越多地用于代替下流式系统在半导体制造工厂等中形成洁净环境。微环境系统是仅在作为待处理的对象的基板周围形成局部洁净环境并且与使用整个工厂作为洁净环境的下流式系统相比能够以低成本形成高度洁净的环境的系统。
[0005]在微环境系统中，基板被储存在被保持在比外部气氛洁净度高的储存容器中以进行运输、储存等，并且被称为设备前端模块(EFEM)的模块被用于在储存容器与对储存容器和基板进行各种处理的处理设备之间进行基板传送。EFEM包括输本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种装载端口，所述装载端口与输送部件连接，所述装载端口包括：板状的基座，所述基座构成所述输送部件的壁的一部分；载台，储存容器安装在所述载台上；载台驱动机构，所述载台驱动机构被配置为使所述载台在朝向所述基座的方向上或远离所述基座的方向上移动；门，所述门被配置为能够打开/关闭开口，所述开口在面对安装在所述载台上的所述储存容器的盖子的位置处设置在所述基座中，并且所述门被配置为能够对在关闭所述开口的状态下设置为面对所述开口的所述盖子进行保持；门驱动机构，所述门驱动机构被配置为使所述门在所述门打开所述开口的打开位置与所述门关闭所述开口的关闭位置之间移动；以及移动限制部件，所述移动限制部件被配置为在所述门被朝向所述开口按压并且由所述门保持的所述盖子附接到所述储存容器的容器主体时，通过抵靠所述载台而限制所述载台在远离所述基座的方向上的移动。2.根据权利要求1所述的装载端口，其中，在平面图中，所述移动限制部件在与所述载台的移动方向垂直的方向上在所述载台的中心位置处抵靠在所述载台上。3.根据权利要求1或2所述的装载端口，其中，所述移动限制部件在通过抵靠所述载台而限制所述载台的移动的限制状态与不限制所述载台的移动的释放状态之间切换。4.根据权利要求3所述的装载端口，其中，所述移动限制部件包括：旋转部件，所述旋转部件被设置为能围绕旋转轴旋转，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：三浦辰弥，小木曾真平，石原裕挥，小川建，铃木淳志，松本祐贵，
申请(专利权)人：昕芙旎雅有限公司，
类型：发明
国别省市：