一种固晶机及其晶圆顶推装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及固晶技术领域，更具体地说，它涉及一种固晶机及其晶圆顶推装置，其包括安装座

【技术实现步骤摘要】
一种固晶机及其晶圆顶推装置


[0001]本技术涉及固晶
，特别涉及一种固晶机及其晶圆顶推装置
。

技术介绍

[0002]在二极管的封装工艺中，需要从晶圆载膜上摘取晶圆固定到料片上进行固晶操作
。
在从晶圆上摘取晶圆时要用到晶圆顶推装置，现有的晶圆顶推装置包括顶针，顶针安装在上料工位处，当晶圆被送到上料工位处时，顶针将晶圆从晶圆载膜向上顶出，使外部的取晶机构可以取走晶圆
。
[0003]其中，顶针需要准确地被安装在上料工位处，以保证顶针顶推晶圆的精度，而当顶针的位置出现偏差时，使顶针的位置能够调节，而如何对顶针的位置进行调节成了本领域技术人员急需解决的问题
。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术提供一种固晶机及其晶圆顶推装置，主要所要解决的技术问题是：如何对顶针的位置进行调节
。
[0005]为达到上述目的，本技术主要提供如下技术方案：
[0006]一方面，本技术的实施例提供一种晶圆顶推装置，包括安装座
、
顶针<br/>、
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶圆顶推装置，其特征在于，包括安装座
(4)、
顶针
(16)、
顶推驱动机构和位置调节机构；所述顶针
(16)
设置在所述安装座
(4)
上，所述顶推驱动机构用于驱动所述顶针
(16)
升降；所述位置调节机构用于驱动所述安装座
(4)
运动，以带动顶针
(16)
沿
X
向
、Y
向或
Z
向运动，其中，
X
向
、Y
向和
Z
向三者两两垂直
。2.
根据权利要求1所述的晶圆顶推装置，其特征在于，所述位置调节机构包括活动座
(5)、
升降座
(1)、
第一驱动机构
、
第二驱动机构和第三驱动机构
(2)
；所述安装座
(4)
设置在所述活动座
(5)
上，所述活动座
(5)
设置在所述升降座
(1)
上；所述第一驱动机构用于驱动所述安装座
(4)
运动，以带动顶针
(16)
沿
X
向运动；所述第二驱动机构用于驱动所述活动座
(5)
运动，以带动顶针
(16)
沿
Y
向运动；所述第三驱动机构
(2)
用于驱动所述升降座
(1)
运动，以带动所述顶针
(16)
沿
Z
向运动
。3.
根据权利要求2所述的晶圆顶推装置，其特征在于，所述第一驱动机构包括第一调节杆
(10)
，所述活动座
(5)
上设有第一螺纹孔
(901)
；所述第一调节杆
(10)
用于穿过所述第一螺纹孔
(901)、
且与第一螺纹孔
(901)
螺纹连接
、
且一端可转动地卡接在所述安装座
(4)
上；其中，所述第一调节杆
(10)
用于转动时带动所述安装座
(4)
运动，使顶针
(16)
沿
X
向运动
。4.
根据权利要求2所述的晶圆顶推装置，其特征在于，所述第二驱动机构包括第二调节杆
(22)
，所述升降座
(1)
上设有第二螺纹孔
(121)
；所述第二调节杆
(22)
用于穿过所述第二螺纹孔
(121)、
且与第二螺纹孔
(121)
螺纹连接
、
且一端可转动地卡接在所述活动座
(5)
上；其中，所述第二调节杆
...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹皇东，曹国光，
申请(专利权)人：东莞市华越半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：