一种固定装置制造方法及图纸

本申请提供一种固定装置，包括：第一固定板，第一固定板包括安装部和两个连接部，安装部用于装配电子标签，两个连接部在安装部的相对两侧对称分布；连接部包括连接主体

【技术实现步骤摘要】
一种固定装置


[0001]本申请涉及半导体制造中电子标签在晶圆传输盒上的固定，特别涉及一种固定装置
。

技术介绍

[0002]在半导体制造中，晶圆一般会被存放在晶圆传输盒中进行运输，晶圆传输盒上会安装有电子标签，电子标签可以用于记录晶圆传输盒内的晶圆的各种信息，例如，晶圆数量
、
尺寸
、
用途等
。
晶圆传输盒的自动传输一般通过天车来实现，当电子标签在晶圆传输盒上固定不可靠时，电子标签便容易从高空掉落而存在高空坠物伤人的安全隐患
。
[0003]因此，希望提供一种固定装置，能够可靠地将电子标签固定在晶圆传输盒上
。

技术实现思路

[0004]本申请实施例提供一种固定装置，包括：第一固定板，所述第一固定板包括安装部和两个连接部，所述安装部用于装配电子标签，所述两个连接部在所述安装部的相对两侧对称分布；所述连接部包括连接主体
、
位于所述连接主体边缘的第一卡接部和位于所述连接主体端部的第二卡接部；所述连接主体与所述安装部适配；第二固定板，所述第二固定板与所述第一固定板连接，用于固定连接至晶圆传输盒，所述第二固定板与所述第一固定板的连接面上设置有两个与所述第一卡接部配合连接的第一卡位部以及两个与所述第二卡接部配合连接的第二卡位部
。
[0005]在一些实施例中，所述第一卡位部包括第一卡槽，所述第一卡槽用于与所述第一卡接部卡接，所述两个第一卡位部的第一卡槽的开口朝向相对
。
[0006]在一些实施例中，所述第二卡位部包括第二卡槽，所述第二卡槽用于与所述第二卡接部卡接，所述两个第二卡位部的第二卡槽的开口朝向相对
。
[0007]在一些实施例中，所述第二卡槽的深度为
2cm
至
3cm。
[0008]在一些实施例中，所述第二卡接部包括挂钩部和卡板部，所述挂钩部与卡板部之间形成有挂钩槽，所述第二卡位部包括安装部和挡板部，所述安装部垂直设置在所述第二固定板与所述第一固定板的连接面上，所述挡板部与所述安装部连接且平行于所述第二固定板与所述第一固定板的连接面；当所述第二卡位部与所述第二卡接部配合连接时，所述安装部卡接在所述挂钩槽内，所述卡板部卡接在所述挡板部和所述第二固定板与所述第一固定板的连接面之间
。
[0009]在一些实施例中，所述连接主体上设置有加强筋
。
[0010]在一些实施例中，所述加强筋包括至少三条横向加强筋
。
[0011]在一些实施例中，所述第二固定板上开设有用于容纳所述安装部的镂空部，所述镂空部的侧壁上开设有插接槽，所述安装部上设置有所述插接槽适配的插接片
。
[0012]在一些实施例中，所述连接主体上还设置有阻挡部，当所述第一卡接部与所述第一卡位部配合连接时，所述阻挡部与所述第一卡位部的一端抵接
。
[0013]在一些实施例中，所述电子标签通过螺钉装配至所述安装部上，所述第二固定板与所述晶圆传输盒的连接面通过粘接的方式固定连接至所述晶圆传输盒的表面
。
[0014]本申请实施例提供的固定装置中，第一固定板用于装配电子标签，第二固定板用于固定连接至晶圆传输盒，第一固定板和第二固定板通过第一卡接部与第一卡位部之间的配合连接以及第二卡接部和第二卡位部之间的配合连接，连接可靠，使得第一固定板和第二固定板之间不易分离，从而可以降低天车在传输晶圆运输盒的过程中电子标签与晶圆传输盒分离而从高空掉落而砸到人的安全风险
。
附图说明
[0015]以下附图详细描述了本申请中披露的示例性实施例
。
其中相同的附图标记在附图的若干视图中表示类似的结构
。
本领域的一般技术人员将理解这些实施例是非限制性的
、
示例性的实施例，附图仅用于说明和描述的目的，并不旨在限制本申请的范围，其他方式的实施例也可能同样的完成本申请中的专利技术意图
。
应当理解，附图未按比例绘制
。
[0016]其中：
[0017]图1是根据本申请一些实施例所示的固定装置装配了电子标签的结构示意图；
[0018]图2是根据本申请一些实施例所示的固定装置的结构示意图；
[0019]图3是根据本申请一些实施例所示的第一固定板的结构示意图；
[0020]图4是根据本申请一些实施例所示的第二固定板的结构示意图；
[0021]图5是根据本申请一些实施例所示的第二固定板在另一视角下的结构示意图
。
具体实施方式
[0022]以下描述提供了本申请的特定应用场景和要求，目的是使本领域技术人员能够制造和使用本申请中的内容
。
对于本领域技术人员来说，对所公开的实施例的各种局部修改是显而易见的，并且在不脱离本申请的精神和范围的情况下，可以将这里定义的一般原理应用于其他实施例和应用
。
因此，本申请不限于所示的实施例，而是与权利要求一致的最宽范围
。
[0023]在半导体工厂中，晶圆传输盒是主要的晶圆存放装置，一次可存放多片晶圆
。
晶圆传输盒一般是置放于天车上进行自动传输
。
其中，晶圆传输盒上需要固定安装有电子标签，电子标签能够记录晶圆传输盒内的晶圆的数量
、
尺寸
、
生产日期等，而电子标签在晶圆传输盒上的固定一般需要额外的固定装置来实现
。
目前，用于将电子标签固定在晶圆传输盒的固定装置通常包括大小两个固定板，其中小固定板用于装配电子标签，大固定板用于与晶圆传输盒连接，小固定板与大固定板连接，从而能够实现将电子标签固定安装在晶圆传输盒上
。
然而，在实际中，小固定板与大固定板连接的部分容易出现断裂，而导致小固定板与大固定板分离，进而容易造成天车在传输晶圆传输盒时电子标签从高空掉落而砸到人的安全隐患
。
[0024]本申请实施例提供一种固定装置，包括：第一固定板，第一固定板包括安装部和两个连接部，安装部用于装配电子标签，两个连接部在安装部的相对两侧对称分布；连接部包括连接主体
、
位于连接主体边缘的第一卡接部和位于连接主体端部的第二卡接部；连接主体与安装部适配；第二固定板，用于固定连接至晶圆传输盒，第二固定板与第一固定板的连
接面上设置有两个与第一卡接部配合连接的第一卡位部以及两个与第二卡接部配合连接的第二卡位部
。
本申请实施例提供的固定装置中，第一固定板用于装配电子标签，第二固定板用于固定连接至晶圆传输盒，第一固定板和第二固定板通过第一卡接部与第一卡位部之间的配合连接以及第二卡接部和第二卡位部之间的配合连接，连接可靠，使得第一固定板和第二固定板之间不易分离，从而可以降低天车在传输晶圆运输盒的过程中电子标签与晶圆传输盒分离而从高空掉落而砸到人的安全风险
。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种固定装置，其特征在于，包括：第一固定板，所述第一固定板包括安装部和两个连接部，所述安装部用于装配电子标签，所述两个连接部在所述安装部的相对两侧对称分布；所述连接部包括连接主体
、
位于所述连接主体边缘的第一卡接部和位于所述连接主体端部的第二卡接部；所述连接主体与所述安装部适配；第二固定板，所述第二固定板与所述第一固定板连接，用于固定连接至晶圆传输盒，所述第二固定板与所述第一固定板的连接面上设置有两个与所述第一卡接部配合连接的第一卡位部以及两个与所述第二卡接部配合连接的第二卡位部
。2.
根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述第一卡位部包括第一卡槽，所述第一卡槽用于与所述第一卡接部卡接，所述两个第一卡位部的第一卡槽的开口朝向相对
。3.
根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述第二卡位部包括第二卡槽，所述第二卡槽用于与所述第二卡接部卡接，所述两个第二卡位部的第二卡槽的开口朝向相对
。4.
根据权利要求3所述的固定装置，其特征在于，所述第二卡槽的深度为
2cm
至
3cm。5.
根据权利要求3所述的固定装置，其特征在于，所述第二卡接部包括挂钩部和卡板部，所述挂钩部与卡...

【专利技术属性】
技术研发人员：王冕，崔立柱，赵春，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造天津有限公司，
类型：新型
国别省市：