【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造，特别涉及一种电子辐照用晶圆载具。
技术介绍
1、在电子辐照工艺中，晶元需要打包，打包后的晶圆放置在电子辐照区域进行高能电子束的轰击。现有的晶圆打包一般通过纸盒、泡棉和隔离纸进行打包。
2、上述包装方式中晶圆被纸质材料包裹，容易损伤以及污染晶圆。另外，该包装方式需要人工参与度较高，需要人工手动拿取、摆放和包装晶圆，该过程中易造成脏物和跌落碎片等问题。而且，上述包装方式中，每个由于包装材料的形状容易变形，故难以标准化，包装过程中难以配合现有的导片设备，因此需要人工参与度较高，且包装容易出错，例如造成摆放错误、混批以及打包效率低等问题。
3、因此本专利技术提供一种电子辐照用晶圆载具，利于使得载具实现标准化，利于配合现有的导片机使用，提高其打包效率，减低出错几率。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种电子辐照用晶圆载具，利于使得载具实现标准化，利于配合现有的导片机使用，提高其打包效率，减低出错几率。
2、为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种电子辐照用晶圆载具，包括：载具单元和框架；
3、所述载具单元具有用于放置晶圆的腔室以及开口，所述腔室通过所述开口与外界连通；所述腔室内两相对侧壁上开设有供所述晶圆边缘插设的容置槽，所述两相对侧壁与所述开口相邻；
4、所述载具单元设置有多个，各所述载具单元可拆卸的堆叠设置；
5、各所述载具单元堆叠后形成载具组合，所述框架用于容置所述载具组合，并
6、可选地，所述电子辐照用晶圆载具由铝制成。
7、可选地，所述腔室沿所述载具单元的堆叠方向贯通设置于所述载具单元。
8、可选地，所述载具单元沿所述堆叠方向的两端分别设置有第一定位结构和第二定位结构，两所述载具单元堆叠时，一所述载具单元的所述第一定位结构与另一所述载具单元的所述第二定位结构配合。
9、可选地，所述第一定位结构和所述第二定位结构中，一结构为设置于所述载具单元上的凸起，另一结构为设置于所述载具单元上的凹槽。
10、可选地，所述电子辐照用晶圆载具还包括阻挡件，所述阻挡件设置于所述载具单元上，所述阻挡件可相对所述载具单元运动设置，所述阻挡件相对所述载具单元运动时至少具有阻挡状态和打开状态，所述阻挡件位于所述阻挡状态时，所述阻挡件阻挡于所述开口，所述阻挡件位于所述打开状态时，打开所述开口。
11、可选地，所述电子辐照用晶圆载具还包括滑轨，所述滑轨设置于所述载具单元，所述阻挡件滑动的设置于所述滑轨，所述阻挡件沿所述滑轨滑动时，具有所述阻挡状态和所述打开状态。
12、可选地，所述框架包括框架主体以及锁定组件，所述框架主体具有容置所述载具组合的容置空间，所述框架主体上具有供所述载具组合放置于所述容置空间的容置口，所述锁定组件可运动的设置于所述框架主体，所述锁定组件相对所述框架主体运动时至少具有锁定状态和所述解锁状态；所述锁定组件呈所述锁定状态时，用于阻止位于所述容置空间内的所述载具组合向所述容置口侧运动，所述锁定组件呈所述解锁状态时，解除对位于所述容置空间内的所述载具组合的锁定。
13、可选地，所述框架主体包括底座、第一限位组件以及第二限位组件，所述第一限位组件和所述第二限位组件与所述底座相连，所述第一限位组件与所述底座沿堆叠方向相对设置，用于对所述载具组合沿所述堆叠方向限位，所述第二限位组件用于对所述载具组合在所述容置口所在方向之外的方向进行限位。
14、可选地，所述第二限位组件包括设置于所述底座上的挡边，和/或，所述第一限位组件包括连接于所述底座和所述第一限位组件之间的连接件。
15、可选地，所述框架主体还包括把手，所述把手连接于所述第一限位组件。
16、可选地，所述锁定组件包括锁定件和势能件，所述锁定件可运动的设置于所述框架主体并具有所述锁定状态和所述解锁状态，所述势能件为所述锁定件提供使其运动至所述锁定状态的势能力。
17、可选地，所述载具单元设置有所述第一定位结构和所述第二定位结构时，且所述锁定件位于所述解锁状态时，所述锁定件与所述载具组合的一所述第一定位结构或与一所述第二定位结构在所述容置口所开设方向干涉，以阻挡所述载具组合向所述容置口侧运动。
18、可选地，所述载具单元呈方形框，所述方形框的一边梁设置有缺口形成所述开口。
19、综上所述，电子辐照用晶圆载具包括：载具单元和框架；所述载具单元具有用于放置晶圆的腔室以及开口，所述腔室通过所述开口与外界连通；所述腔室内两相对侧壁上开设有供所述晶圆边缘插设的容置槽，所述两相对侧壁与所述开口相邻；所述载具单元设置有多个，各所述载具单元可拆卸的堆叠设置；各所述载具单元堆叠后形成载具组合，所述框架用于容置所述载具组合，并使得所述载具组合中的各所述载具单元连为一体。
20、如此配置，上述载具单元其具有特定形状的容置槽，且各容置槽的相对位置关系确定，利于使得载具实现标准化，利于配合现有的导片机使用实现自动化打包，提高其打包效率，减低出错几率。
21、上述包装方式中晶圆被材料完全包裹，只有晶圆的边沿与容置槽的内壁接触，晶圆的中部位置架空设置不与载具单元接触，故晶圆中部的核心位置正反面无遮挡，不易损伤以及污染，同时也有助于晶圆电子辐照工艺的进行。晶圆在打包过程中，只需要将晶圆通过开口插设在容置槽内即可，相比于通过纸盒、泡棉和隔离纸打包的方式，简化了打包流程，人工参与度不高，可以改善打包过程中易造成脏物和跌落碎片等问题。
22、载具单元为铝制结构，其载具不易损坏，且在电子辐照等工艺中能抵抗电子束的照射，便于重复利用，以降低包材成本；而且在辐照工艺之后的晶圆后加工工艺中，铝原子是能能够被接受的一种金属原子，因此，铝制的载具单元在电子束辐照过程中，铝蒸汽即使附着在晶圆表面，本质上也不会对晶圆造成污染，而且铝的活性较高，也容易清洗。
23、在电子辐照过程中，由于高能电子束的轰击，会产生辐射，辐射会损坏电子元器件。上述的电子辐照用晶圆载具，其包括多个载具单元，且各个载具单元堆叠后通过框架固定形成整体，电子辐照用晶圆载具内部可存储多个晶圆，且电子辐照用晶圆载具由铝制成，在电子辐照过程中，只需要将电子辐照用晶圆载具整体放置在电子辐照区域即可。一方面可提高其辐照效率，另一方面辐照过程中，并不需要通过机械爪频繁转运晶圆，可避免在电子辐照过程中通过机械爪频繁的抓取晶圆，可以防止机械爪被辐射损坏。
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1.一种电子辐照用晶圆载具，其特征在于，包括：载具单元和框架；
2.如权利要求1所述的电子辐照用晶圆载具，其特征在于，所述电子辐照用晶圆载具由铝制成。
3.如权利要求1所述的电子辐照用晶圆载具，其特征在于，所述腔室沿所述载具单元的堆叠方向贯通设置于所述载具单元。
4.如权利要求1所述的电子辐照用晶圆载具，其特征在于，所述载具单元沿所述堆叠方向的两端分别设置有第一定位结构和第二定位结构，两所述载具单元堆叠时，一所述载具单元的所述第一定位结构与另一所述载具单元的所述第二定位结构配合。
5.如权利要求4所述的电子辐照用晶圆载具，其特征在于，所述第一定位结构和所述第二定位结构中，一结构为设置于所述载具单元上的凸起，另一结构为设置于所述载具单元上的凹槽。
6.如权利要求1所述的电子辐照用晶圆载具，其特征在于，所述电子辐照用晶圆载具还包括阻挡件，所述阻挡件设置于所述载具单元上，所述阻挡件可相对所述载具单元运动设置，所述阻挡件相对所述载具单元运动时至少具有阻挡状态和打开状态，所述阻挡件位于所述阻挡状态时，所述阻挡件阻挡于所述开口，所述
7.如权利要求6所述的电子辐照用晶圆载具，其特征在于，所述电子辐照用晶圆载具还包括滑轨，所述滑轨设置于所述载具单元，所述阻挡件滑动的设置于所述滑轨，所述阻挡件沿所述滑轨滑动时，具有所述阻挡状态和所述打开状态。
8.如权利要求1至7任意一项所述的电子辐照用晶圆载具，其特征在于，所述框架包括框架主体以及锁定组件，所述框架主体具有容置所述载具组合的容置空间，所述框架主体上具有供所述载具组合放置于所述容置空间的容置口，所述锁定组件可运动的设置于所述框架主体，所述锁定组件相对所述框架主体运动时至少具有锁定状态和所述解锁状态；所述锁定组件呈所述锁定状态时，用于阻止位于所述容置空间内的所述载具组合向所述容置口侧运动，所述锁定组件呈所述解锁状态时，解除对位于所述容置空间内的所述载具组合的锁定。
9.如权利要求8所述的电子辐照用晶圆载具，其特征在于，所述框架主体包括底座、第一限位组件以及第二限位组件，所述第一限位组件和所述第二限位组件与所述底座相连，所述第一限位组件与所述底座沿堆叠方向相对设置，用于对所述载具组合沿所述堆叠方向限位，所述第二限位组件用于对所述载具组合在所述容置口所在方向之外的方向进行限位。
10.如权利要求9所述的电子辐照用晶圆载具，其特征在于，所述第二限位组件包括设置于所述底座上的挡边，和/或，所述第一限位组件包括连接于所述底座和所述第一限位组件之间的连接件。
11.如权利要求9所述的电子辐照用晶圆载具，其特征在于，所述框架主体还包括把手，所述把手连接于所述第一限位组件。
12.如权利要求8所述的电子辐照用晶圆载具，其特征在于，所述锁定组件包括锁定件和势能件，所述锁定件可运动的设置于所述框架主体并具有所述锁定状态和所述解锁状态，所述势能件为所述锁定件提供使其运动至所述锁定状态的势能力。
13.如权利要求12所述的电子辐照用晶圆载具，其特征在于，所述载具单元设置有所述第一定位结构和所述第二定位结构时，且所述锁定件位于所述解锁状态时，所述锁定件与所述载具组合的一所述第一定位结构或与一所述第二定位结构在所述容置口所开设方向干涉，以阻挡所述载具组合向所述容置口侧运动。
14.如权利要求1中任一项所述的电子辐照用晶圆载具，其特征在于，所述载具单元呈方形框，所述方形框的一边梁设置有缺口形成所述开口。
...【技术特征摘要】
1.一种电子辐照用晶圆载具，其特征在于，包括：载具单元和框架；
2.如权利要求1所述的电子辐照用晶圆载具，其特征在于，所述电子辐照用晶圆载具由铝制成。
3.如权利要求1所述的电子辐照用晶圆载具，其特征在于，所述腔室沿所述载具单元的堆叠方向贯通设置于所述载具单元。
4.如权利要求1所述的电子辐照用晶圆载具，其特征在于，所述载具单元沿所述堆叠方向的两端分别设置有第一定位结构和第二定位结构，两所述载具单元堆叠时，一所述载具单元的所述第一定位结构与另一所述载具单元的所述第二定位结构配合。
5.如权利要求4所述的电子辐照用晶圆载具，其特征在于，所述第一定位结构和所述第二定位结构中，一结构为设置于所述载具单元上的凸起，另一结构为设置于所述载具单元上的凹槽。
6.如权利要求1所述的电子辐照用晶圆载具，其特征在于，所述电子辐照用晶圆载具还包括阻挡件，所述阻挡件设置于所述载具单元上，所述阻挡件可相对所述载具单元运动设置，所述阻挡件相对所述载具单元运动时至少具有阻挡状态和打开状态，所述阻挡件位于所述阻挡状态时，所述阻挡件阻挡于所述开口，所述阻挡件位于所述打开状态时，打开所述开口。
7.如权利要求6所述的电子辐照用晶圆载具，其特征在于，所述电子辐照用晶圆载具还包括滑轨，所述滑轨设置于所述载具单元，所述阻挡件滑动的设置于所述滑轨，所述阻挡件沿所述滑轨滑动时，具有所述阻挡状态和所述打开状态。
8.如权利要求1至7任意一项所述的电子辐照用晶圆载具，其特征在于，所述框架包括框架主体以及锁定组件，所述框架主体具有容置所述载具组合的容置空间，所述框架主体上具有供所述载具组合放置于所述容置空间的容置口，所述锁定组件可运动的设置于所述框架主体，所述锁定组件...
【专利技术属性】
技术研发人员：王欣松，
申请(专利权)人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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