设备前端模块制造技术

技术编号：41294757 阅读：3 留言：0更新日期：2024-05-13 14:44

本发明专利技术提供一种设备前端模块，即使在设备前端模块的外侧不能进行连接模块的安装作业的情况下，也能够将连接模块容易地安装于设备前端模块及前室。设备前端模块(1)包括：箱体(2)，形成有搬运室(41)；以及连接模块(60)，配置为将搬运室(41)与装载锁定室(7)密封并连接。箱体(2)具有形成有开口(34a)的背面壁(34)。连接模块(60)具有凸缘(61b)、后表面部(61d)以及可挠衬垫(63)。可挠衬垫(63)具有至少能够在前后方向上伸缩的伸缩部(63c)和与连接板(62)接触的后端部(63b)。

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【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及设备前端模块。

技术介绍

1、在日本专利第6882467号公报(专利文献1)中，公开了用于将设备前端模块(efem)与设置于电子设备处理系统的装置锁定组件(以下称为前室)连接的接口(以下称为连接模块)。更具体而言，efem和前室在预定方向上排列配置。另外，该连接模块包括板状的安装部件和波纹状的可挠密封材料。安装部件与前室连结。可挠密封材料与安装部件连结，并配置在安装部件的周围。可挠密封材料包括密封凸缘，该密封凸缘构成为密封efem内的开口部的周围。更详细而言，安装部件在预定方向上从efem侧通过固定件固定于前室。密封凸缘在预定方向上从前室侧通过固定件固定于efem的壁。

2、在上述的连接模块中，通过可挠密封材料容易地变更安装部件与密封凸缘在预定方向上的位置关系。因此，即使在因设计误差而efem与前室在预定方向上的位置偏移较大的情况下，也能够在某种程度上容许该位置偏移。

3、为了将上述的连接模块实际安装于efem和前室，需要从efem的内部和外部双方接近连接模块。但是，在已经设置有前室的情况下，也可能产生在efem的外侧未设置充分的作业空间的状况。在这样的情况下，产生无法将连接模块安装于efem的问题。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于，即使在efem的外侧无法进行连接模块的安装作业的情况下，也能够容易地将连接模块安装于efem及前室。

2、第一专利技术的设备前端模块包括：箱体，其形成有搬运处理对象品的搬运室；以及连接模块，其设

3、在本专利技术中，能够将第一框部从搬运室侧按压于背面部件。另外，能够将密封部的包围部从搬运室侧按压于前室侧开口部。由此，在设置了efem和处理装置这两者之后，能够从搬运室侧(即，在箱体的内部)将连接模块按压于背面部件和前室侧开口部。另外，通过在将第一框部按压于背面部件之后，使包围部向预定方向移动而进行位置调整，能够容易地进行包围部与前室侧开口部在预定方向上的位置偏移的补偿。因此，即使在efem的外侧不进行连接模块的安装作业的情况下，也能够容易地将连接模块安装(按压)于efem以及前室。

4、第二专利技术的设备前端模块的特征在于，在所述第一专利技术中，所述前室侧开口部包含：第一安装部件，其安装有所述包围部；以及第二安装部件，其配置于比所述第一安装部件靠所述前室侧的位置，且固定所述第一安装部件，所述第一安装部件属于所述连接模块，所述第二安装部件属于所述前室。

5、在本专利技术中，通过准备与属于前室的第二安装部件的规格对应的第一安装部件，能够在所有前室安装连接模块。

6、第三专利技术的设备前端模块的特征在于，在所述第一或第二专利技术中，所述可挠部包含用于使所述密封部沿所述预定方向伸缩的波纹构造。

7、为了充分维持搬运室与前室之间的空间的密封性，需要将强度如此高的部件用作可挠部。因此，在仅在使外力作用于可挠部时可挠部伸长(或收缩)的状态被维持的结构中，在包围部与前室侧开口部的对位时，需要对可挠部施加相当强的力。在这样的情况下，在将连接模块安装于efem和处理装置时，需要对可挠部持续施加力，有可能难以进行安装作业等。关于这一点，在本专利技术中，由于可挠部包含波纹构造，因此只要可挠部变形一次，即使不再次施加力，变形后的形状也维持一定程度。因此，能够容易地进行安装作业。

8、第四专利技术的设备前端模块的特征在于，在所述第一或第二专利技术中，所述第二框部配置在比所述第一框部靠所述前室侧的位置，所述连接模块包含配置在所述第一框部与所述第二框部之间且比所述背面部件向所述前室侧突出的中空的突出部，所述突出部包含能够连接所述箱体的外部的空间与所述突出部的内部的空间的开口和能够开闭所述开口的罩。

9、一般而言，在efem完成的状态下，确认处理对象品在efem与前室之间搬运的情形并不容易。另外，进入搬运室内而进行连接模块的检查和/或维护也不容易。关于这一点，在本专利技术中，通过将罩从突出部卸下而打开开口，能够从壳体的外侧视觉确认搬运处理对象品的样子。另外，通过在efem的运转停止的状态下将罩从突出部卸下而打开开口，能够进行连接模块及其周边部的检查和/或维护。

10、第五专利技术的设备前端模块的特征在于，在所述第一或第二专利技术中，所述连接模块包含：第一固定部，其配置为将所述第一框部固定于所述背面部件；以及第二固定部，其配置为将所述密封部固定于所述前室侧开口部，所述第一固定部包含第一操作部，该第一操作部配置于比所述第一框部靠所述搬运室侧的位置，配置为能够进行将所述第一固定部固定于所述背面部件的操作，所述第二固定部包含第二操作部，该第二操作部配置为能够进行将所述密封部固定于所述前室侧开口部的操作。

11、在本专利技术中，能够维持容易进行安装作业的环境，并且进一步提高连接搬运室和前室的空间的气密性。

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【技术保护点】

1.一种设备前端模块，包括：

2.根据权利要求1所述的设备前端模块，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的设备前端模块，其特征在于，

4.根据权利要求1或2所述的设备前端模块，其特征在于，

5.根据权利要求1或2所述的设备前端模块，其特征在于，

【技术特征摘要】

1.一种设备前端模块，包括：

2.根据权利要求1所述的设备前端模块，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的设备前端模块，...

【专利技术属性】
技术研发人员：小仓源五郎，河合俊宏，
申请(专利权)人：昕芙旎雅有限公司，
类型：发明
国别省市：

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