【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种例如设置为靠近半导体处理设备的装载端口。
技术介绍
1、在现有技术中，通过在诸如晶圆等等的输送目标对象上执行多种处理程序实现半导体制造。近年来，元件变得集成度更高并且电路变得更微型化。因此，需要在输送目标对象周围保持高度洁净的环境来防止微粒附着到输送目标对象的表面上。
2、在用于在处理输送目标对象的处理设备与foup(前开式晶圆盒)之间输送输送目标对象的装载端口中，在分别设置了被构造为打开和关闭门的驱动机构和被构造为升高和降低门的驱动机构的情况下，可能在连接相应的导轨的连接点处产生微粒。
3、因此，在日本专利申请公开第2014-225547号(专利文件1)公开的装载端口中，安装在连杆机构处的引导辊被构造为与驱动构件的垂直往复运动配合地沿着引导槽从水平方向移动到垂直方向或者从垂直方向移动到水平方向，从而抑制两个轴的连接点处的微粒产生。
4、然而，在专利文件1的装载端口中，在连杆机构中要求适当的间隙来使安装在连杆机构处的引导辊沿着引导槽平滑地移动。由于这种需求，如图21a所示，当引导辊561经过连接沿着水平方向(y方向)延伸的引导表面552a和沿着垂直方向(z方向)延伸的引导表面552b的引导连接部分552n时，可能在引导辊561与引导连接部分552n之间形成缝隙。在这种情况下，当引导辊561的运动方向从水平方向改变到垂直方向时，引导辊561由于重力而下落以填充上述缝隙。因此，如图21b所示，引导辊561和引导连接部分552n彼此接触，导致门在打开和关闭门时振动。在发生这种振动的
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种能够在打开和关闭门时抑制门的振动的装载端口。
2、本专利技术考虑以下构造来实现提供上述的装载端口。
3、根据本专利技术的实施方式，提供了一种装载端口，其包括：板状基部构件，其具有用于装载和卸载输送目标对象的开口；门构件，其能够打开和关闭开口；连杆机构，其包括一个端部与门构件旋转地连接的连杆构件；引导辊，其被构造为与门构件一起移动；引导表面，其弯曲地从第一方向延伸到第二方向并且被构造为引导引导辊；驱动构件，连杆构件的另一个端部与其旋转地连接；以及驱动装置，其被构造为使驱动构件在第二方向上移动，其中连杆机构被构造为在连杆构件的另一个端部在第二方向上移动的同时允许引导辊沿着引导表面从第一方向移动到第二方向或者从第二方向移动到第一方向，并且设置按压装置来在引导辊经过连接沿着第一方向延伸的第一引导表面和沿着第二方向延伸的第二引导表面的引导连接部分时朝向引导连接部分按压引导辊。
4、根据这种构造，当引导辊经过连接沿着第一方向延伸的第一引导表面和沿着第二方向延伸的第二引导表面的引导连接部分时，引导辊被朝向引导连接部分按压。因此，引导辊在与引导连接部分接触的同时经过引导连接部分。结果，不会在引导辊与引导连接部分之间形成缝隙，这能够在打开和关闭门时抑制门的振动。因此，能够防止可能由于门的振动而导致的产生噪声、foup门掉落、加快引导辊磨损、在引导辊中产生裂缝、引导辊与其他部分共振或者产生微粒。因此，可提高门打开/关闭速度，并且可缩短门打开/关闭操作时间。
5、在本专利技术的装载端口中，按压装置包括沿着第一方向设置的弹性构件。
6、根据这种构造，按压装置可容易地相对于装载端口设置。
7、在本专利技术的装载端口中，弹性构件能与门构件一起移动，并且弹性构件承载构件设置在弹性构件承载构件与弹性构件在引导辊移动靠近引导连接部分并且引导辊与引导连接部分之间的距离成为预定距离时接触的位置处。
8、根据这种构造，弹性构件在移动侧上安装在门构件处，从而与弹性构件在非移动侧上安装在门构件处的情况相比能够容易地替换弹性构件。
9、在本专利技术的装载端口中，按压装置的按压力小于驱动构件在第二方向上移动时使门构件在第一方向上移动的驱动力。
10、根据这种构造，即使在设置了按压装置时也几乎不需要增大使门构件在第一方向上移动的驱动力。
11、在本专利技术的装载端口中，两个引导表面设置在驱动构件的两侧上，并且按压装置设置在两个引导表面中的每一个上。
12、根据这种构造，连杆构件的一个端部被均等地压紧在两个引导表面上，这能够防止门发生倾斜。
13、根据一些实施方式中的本专利技术，能够在打开和关闭门时抑制门的振动。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种装载端口，其包括：
2.根据权利要求1所述的装载端口，其中，所述按压装置包括沿着所述第一方向设置的弹性构件。
3.根据权利要求2所述的装载端口，其中，所述弹性构件能与所述门构件一起移动，并且
4.根据权利要求1-3中任一项所述的装载端口，其中，所述按压装置的按压力小于所述驱动构件在所述第二方向上移动时使所述门构件在所述第一方向上移动的驱动力。
5.根据权利要求1-3中任一项所述的装载端口，其中，两个引导表面设置在所述驱动构件的两侧上，并且
【技术特征摘要】
1.一种装载端口，其包括：
2.根据权利要求1所述的装载端口，其中，所述按压装置包括沿着所述第一方向设置的弹性构件。
3.根据权利要求2所述的装载端口，其中，所述弹性构件能与所述门构件一起移动，并且
4.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：小川建，石原裕挥，小木曾真平，铃木淳志，松本祐贵，三浦辰弥，
申请(专利权)人：昕芙旎雅有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。