【技术实现步骤摘要】
本公开的实施例的方面涉及显示装置和制造该显示装置的方法。
技术介绍
1、显示装置是通过显示图像向用户提供视觉信息的装置。在各种类型的显示装置当中，有机发光显示装置最近一直吸引关注。
2、有机发光显示装置具有自发光特性并且相应地与液晶显示装置不同而不需要单独的光源。相应地，可以减小有机发光显示装置的厚度和重量。另外，有机发光显示装置呈现出诸如低功耗、高亮度和高响应速度的期望的特性。
技术实现思路
1、本公开的实施例提供具有改善的显示质量的显示装置。
2、本公开的实施例提供制造该显示装置的方法。
3、根据本公开的实施例的显示装置包括：基板；有源层，在基板上；以及栅电极，在有源层上。栅电极包括第一金属层、第一金属层上的第二金属层和第二金属层上的第三金属层。第一金属层包括铝或铝合金，第二金属层包括透明导电氧化物，并且第三金属层包括铌(nb)-钛(ti)合金。
4、在实施例中，铌-钛合金中的钛的含量可以是大约50at％或更少。
5、在实施例中，铝合金中的除铝之外的材料的含量可以是大约0.1at％或更少。
6、在实施例中，第二金属层可以包括氧化铟镓锌(igzo)。
7、在实施例中，第二金属层可以包括氧化铟锌(izo)。
8、在实施例中，第一金属层可以具有在大约至大约的范围内的厚度。
9、在实施例中，第二金属层和第三金属层中的每个可以具有在大约至大约的范围内的厚度。
10、在实
11、根据本公开的实施例的显示装置包括：基板；有源层，在基板上并且包括多晶硅；以及栅电极，在有源层上并且包括第一金属层、第一金属层上的第二金属层和第二金属层上的第三金属层。第一金属层包括铝或铝合金，第二金属层包括铌(nb)-钛(ti)合金，并且第三金属层包括透明导电氧化物。
12、在实施例中，铌-钛合金中的钛的含量可以是大约50at％或更少。
13、在实施例中，铝合金中的除铝之外的材料的含量可以是大约0.1at％或更少。
14、在实施例中，第三金属层可以包括氧化铟镓锌(igzo)。
15、在实施例中，第三金属层可以包括氧化铟锌(izo)。
16、在实施例中，第一金属层可以具有在大约至大约的范围内的厚度，并且第二金属层和第三金属层中的每个可以具有在大约至大约的范围内的厚度。
17、根据本公开的实施例的制造显示装置的方法包括：在基板上形成有源层；在有源层上形成包括铝或铝合金的初步第一金属层；在初步第一金属层上形成包括透明导电氧化物的初步第二金属层；在初步第二金属层上形成包括铌-钛合金的初步第三金属层；以及通过图案化初步第一金属层、初步第二金属层和初步第三金属层形成栅电极。
18、在实施例中，方法可以进一步包括：在栅电极上形成绝缘层；在绝缘层中形成接触孔以分别暴露有源层和栅电极的至少一部分；以及并发清洗有源层和栅电极的被接触孔暴露的至少一部分。
19、在实施例中，形成栅电极可以包括：通过干法蚀刻初步第三金属层形成第三金属层；通过湿法蚀刻初步第二金属层形成与第三金属层重叠的第二金属层；以及通过干法蚀刻初步第一金属层形成与第二金属层重叠的第一金属层。
20、在实施例中，铌-钛合金中的钛的含量可以是大约50at％或更少。
21、根据本公开的实施例的显示装置可以包括：栅电极，包括第一金属层、第一金属层上的第二金属层和第二金属层上的第三金属层。因为第一金属层包括铝，所以可以减小包括第一金属层的电极和布线的电阻。另外，因为第二金属层包括透明导电氧化物，所以可以控制栅电极的热生成。另外，当形成暴露栅电极的接触孔时，第一金属层可以不被蚀刻。相应地，可以防止由于蚀刻的第一金属层导致的连接故障，并且可以改善显示装置的显示质量。另外，因为第三金属层包括铌-钛合金，所以第一金属层中包括的铝可以不在清洗工艺期间被清洗溶液与第一金属层之间的反应腐蚀。相应地，因为可以省略用于清洗工艺的单独的掩模，所以可以改善显示装置的制造工艺的效率。
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1.一种显示装置，包括：
2.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述铌-钛合金中的钛的含量是50at％或更少。
3.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述铝合金中的除铝之外的材料的含量是0.1at％或更少。
4.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述第二金属层包括氧化铟镓锌。
5.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述第二金属层包括氧化铟锌。
6.根据权利要求1至5中的任何一项所述的显示装置，其中，所述第一金属层具有在至的范围内的厚度，并且
7.一种显示装置，包括：
8.根据权利要求7所述的显示装置，其中，所述铌-钛合金中的钛的含量是50at％或更少。
9.根据权利要求7所述的显示装置，其中，所述铝合金中的除铝之外的材料的含量是0.1at％或更少。
10.根据权利要求7至9中的任何一项所述的显示装置，其中，所述第一金属层具有在至的范围内的厚度，并且
【技术特征摘要】
1.一种显示装置，包括：
2.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述铌-钛合金中的钛的含量是50at％或更少。
3.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述铝合金中的除铝之外的材料的含量是0.1at％或更少。
4.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述第二金属层包括氧化铟镓锌。
5.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述第二金属层包括氧化铟锌。
6.根据权利要求1至5中...
【专利技术属性】
技术研发人员：申铉亿，宋都根，杨受京，李东敏，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：
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