用于供给处理流体的装置和具有该装置的处理衬底用装置制造方法及图纸

在一种用于将处理流体供给至衬底上的装置和一种具有该装置的用于处理衬底的装置中，处理流体刀在平行于该衬底的表面的方向延伸，并具有缝喷嘴以供给该处理流体。杆在该刀的延伸方向延伸穿过该刀，并且在该刀的延伸方向将张紧力施加刀该杆，从而防止该刀下垂。因此，可以减小或防止由于刀的下垂可能引起的对衬底的损伤，而且进一步处理流体可被均匀地供给至衬底上。

【技术实现步骤摘要】

示例性实施例大体涉及一种用于供给处理流体的装置和一种具有该装置 的用于处理衬底的装置。更详而言之，示例性实施例涉及一种用于将处理流体 供给至诸如玻璃衬底的平板型衬底上的装置和一种具有该装置的用于处理衬 底的装置。
技术介绍
在诸如液晶显示器装置的平板显示器装置的制造中， 一般可以使用诸如玻 璃衬底的平板型衬底，并且可以执行各种处理，以在玻璃衬底上形成电路图案。 例如，可以执行用于在玻璃衬底上形成层的沉积处理、用于从该层形成想要图 案的蚀刻处理、用于从玻璃衬底上移除杂质的清洁处理、用于干燥玻璃衬底的 干燥处理等。衬底处理装置可以包括用于装载衬底的衬底装载器，用于在由衬底装载 器装载的衬底上执行蚀刻、清洁、剥除或显影处理的衬底处理部分，用于利用 漂洗溶液漂洗处理过的衬底的漂洗部分，用于干燥漂洗过的衬底的干燥部分， 用于运出衬底的卸载器等。进一步，衬底处理装置可以包括用于将处理流体供给至衬底上的处理流体 刀。例如，处理流体刀可以是用于供给诸如蚀刻溶液、清洁溶液、漂洗溶液等处理流体的喷淋刀(shower knife)，或用于供给空气或干燥气体的气刀(air knife)。处理流体刀可以在平行于衬底的表面的方向延伸，并在转移衬底时，可以 将处理流体供给到衬底上。近来，随着衬底的尺寸增大，处理流体刀的长度也 增大。然而，当处理流体刀的长度增大时，可能会发生处理流体刀的下垂。
技术实现思路
本专利技术的示例性实施例提供了一种用于供给处理流体的装置，该装置能够 防止处理流体刀下垂。进一步，本专利技术的示例性实施例提供了一种用于处理衬底的装置，该装置 能够防止处理流体刀下落。根据本专利技术的一个方面，用于将处理流体供给至衬底上的装置可以包括 刀，该刀具有缝喷嘴以将所述处理流体供给至衬底上，并在平行于所述衬底的 表面的方向延伸；以及杆，该杆延伸穿过所述刀，以防止所述刀下落。张紧力 可以在所述刀延伸的方向被施加至所述杆，以防止所述刀下垂。根据本专利技术的一些示例性实施例，该装置可以进一步包括与所述刀的两端 连接的侧壁以支撑所述刀。根据本专利技术的一些示例性实施例，所述杆可以连接至所述侧壁。根据本专利技术的一些示例性实施例，所述杆可以包括延伸穿过所述侧壁的螺 纹端，且所述张紧力可以通过螺接至所述螺纹端的螺母，施加至所述杆。根据本专利技术的一些示例性实施例，所述杆可以包括螺纹端和头，该螺纹端 和头各自延伸穿过所述侧壁，且所述张紧力可以通过螺接至所述螺纹端的螺 母，施加至所述杆。根据本专利技术的一些示例性实施例，该装置可以进一步包括设置在所述侧 壁之间的基部；以及安装在所述基部上的支撑体，以防止所述刀下垂。根据本专利技术的一些示例性实施例，各所述侧壁中可以包括用于支撑所述刀 的支撑架。根据本专利技术的一些示例性实施例，所述刀可以包括以允许所述杆通过的管 或钩。根据本专利技术的一些示例性实施例，所述刀可以包括以允许所述杆通过的多 个管或多个钩。根据本专利技术的一些示例性实施例，所述装置可以进一步包括平行于所述刀 延伸的第二刀，且所述衬底可以被设置在所述刀和所述第二刀之间。根据本专利技术的另一方面，用于将处理流体供给至衬底上的装置可以包括 刀，该刀具有缝喷嘴以将所述处理流体供给至衬底上，且在平行于所述衬底的 表面的方向延伸；以及张紧力施加部分，该张紧力施加部分与所述刀的两端中 的至少一端相连，以将张紧力施加至所述刀，从而防止所述刀下垂。根据本专利技术的一些示例性实施例，所述装置可以进一步包括设置为邻接所 述刀的两端以支撑所述刀的所述两端的侧壁。根据本专利技术的一些示例性实施例，所述张紧力施加部分包括杆和螺母。该 杆可以连接至所述刀的端部。进一步，该杆可以延伸穿过所述侧壁中的一个并 可以包括螺纹端。该螺母可以螺接至所述杆的所述螺纹端，以施加所述张紧力。根据本专利技术的一些示例性实施例，所述杆可以进一步包括螺接入所述刀的5端部的第二螺纹端。根据本专利技术的一些示例性实施例，所述杆可以进一步包括与所述螺纹端相 对的头，且所述头可以被设置在所述刀的端部之中。根据本专利技术的一些示例性实施例，各所述侧壁中可以包括用于支撑所述刀 的支撑架。根据本专利技术的一些示例性实施例，所述支撑架可以具有细长孔，该细长孔 平行于所述刀的延伸方向延伸，以及所述刀可以通过螺栓安装在所述侧壁上， 该螺栓穿过所述细长孔螺接入所述刀的端部。根据本专利技术的一些示例性实施例，所述装置可以进一步包括平行于所述刀 延伸的第二刀，并且所述衬底可以被设置在所述刀和所述第二刀之间。根据本专利技术的又一方面，用于处理衬底的装置可以包括多个支撑所述衬 底的辊；向所述辊提供旋转力，以转移所述衬底的驱动部分；以及处理流体供 给部分，用于将处理流体供给至所述衬底上。这里，所述处理流体供给部分可 以包括刀，该刀具有缝喷嘴以将所述处理流体供给至所述衬底上，并在平行 于所述衬底的表面的方向延伸；以及杆，该杆延伸穿过所述刀，以防止所述刀 下垂，在所述刀的延伸方向，张紧力被施加至所述杆。根据本专利技术的再一方面，用于处理衬底的装置可以包括多个支撑所述衬 底的辊；向所述辊提供旋转力以转移所述衬底的驱动部分；以及处理流体供给 部分，用于将处理流体供给至所述衬底上。这里，所述处理流体供给部分可以 包括刀，该刀具有缝喷嘴以将所述处理流体供给至所述衬底上，并在平行于 所述衬底的表面的方向延伸；以及张紧力施加部分，该张紧力施加部分与所述 刀的两端的至少一端相连，以向所述刀施加张紧力，从而防止所述刀下垂。根据本专利技术的示例性实施例，通过将张紧力施加至延伸穿过所述刀的杆或 者通过直接将张紧力施加至所述刀，可以减小或防止用于将处理流体供给至衬 底的刀下垂。因此，可以减小或防止由于刀的下垂可能出现的对衬底的损伤， 并且进一步处理流体可被均匀地供给至衬底上。附图说明通过下述结合附图的详细说明，本专利技术的示例性实施例将容易地变得清 楚，其中图1是示出了根据本专利技术示例性实施例的用于处理衬底的装置的示意图2是示出了图1所示的处理流体供给部分的示意正视图； 图3是示出了图2所示的处理流体供给部分的示意平面图；图4是示出了图2所示的处理流体供给部分的示意剖视图； 图5是示出了图2所示的第一或第二杆的另一实施例的示意图； 图6是示出了根据本专利技术另一个示例性实施例的用于供给处理流体的装置 的示意正视图7是示出了图6所示的处理流体供给装置的示意剖视图； 图8是示出了根据本专利技术又一个示例性实施例的用于供给处理流体的装置 的示意正视图9是示出了根据本专利技术又一个示例性实施例的用于供给处理流体的装置 的示意正视图IO是示出了图9所示的处理流体供给装置的示意后视图11是示出了图9中显示的处理流体供给装置的示意平面图；和图12至14是示出了第一或第二杆的另一个示例的示意剖视图。 具体实施例方式下面，参考附图，对本专利技术进行更全面地说明，附图中示出了本专利技术的示 例性实施例。然而，本专利技术可以体现为多种不同形式，并不应理解为局限于这 里叙述的示例性实施例。而是，提供这些实施例，从而使本专利技术全面和完整， 并将本专利技术的范围完全地传达给本领域的普通技术人员。图中，为了清楚起见， 可以放大层和区域的大小和相对大小。应该理解的是，当元件或层被述及位于另一元件或层上或连接至另一 元件或层时，该元件或层可以直接位于另一个元件或层之上或者直接与另一元本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于将处理流体供给至衬底上的装置，所述装置包括：　刀，所述刀具有缝喷嘴以将所述处理流体供给至衬底上，并在平行于所述衬底的表面的方向延伸；以及　杆，所述杆延伸穿过所述刀以防止所述刀下垂，在所述刀延伸的方向，张紧力被施加至所述杆。

【技术特征摘要】
KR 2007-11-21 10-2007-01189211、一种用于将处理流体供给至衬底上的装置，所述装置包括刀，所述刀具有缝喷嘴以将所述处理流体供给至衬底上，并在平行于所述衬底的表面的方向延伸；以及杆，所述杆延伸穿过所述刀以防止所述刀下垂，在所述刀延伸的方向，张紧力被施加至所述杆。2、 如权利要求1所述的装置，进一步包括与所述刀的两端连接的侧壁以支撑 所述刀。3、 如权利要求2所述的装置，其中所述杆连接至所述侧壁。4、 如权利要求2所述的装置，其中所述杆包括延伸穿过所述侧壁的螺纹端， 且所述张紧力通过螺接至所述螺纹端的螺母施加至所述杆。5、 如权利要求2所述的装置，其中所述杆包括螺纹端和头，所述螺纹端和头 各自延伸穿过所述侧壁，且所述张紧力通过螺接至所述螺纹端的螺母施加 至所述杆。6、 如权利要求2所述的装置，进一步包括设置在所述侧壁之间的基部；以及 安装在所述基部上以防止所述刀下垂的支撑体。7、 如权利要求2所述的装置，其中各所述侧壁包括用于支撑所述刀的支撑架。8、 如权利要求1所述的装置，其中所述刀包括允许所述杆通过的管或钩。9、 如权利要求1所述的装置，其中所述刀包括允许所述杆通过的多根管或多 个钩。10、 如权利要求l所述的装置，进一步包括平行于所述刀延伸的第二刀，且所 述衬底被设置在所述刀和所述第二刀之间。11、 一种用于将处理流体供给至衬底上的装置，所述装置包括刀，所述刀具有缝喷嘴以将所述处理流体供给至衬底上，且在平行于 所述衬底的表面的方向延伸；以及张紧力施加部分，所述张紧力施加部分与所述刀的两端中的至少一端 相连，以将张紧力施加至所述刀，从而防止所述刀下垂。12、 如权利要求11所述的装置，进一步包括设置为邻接所述刀的两端以支撑 所述刀的...

【专利技术属性】
技术研发人员：李正洙，朴奇洪，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]