【技术实现步骤摘要】
本公开涉及一种包括制动装置的塔式升降机。
技术介绍
1、通常，半导体或显示器制造厂的制造线由多层组成。用于执行诸如沉积、曝光、蚀刻、离子注入和清洁的工艺的设施可以布置在半导体制造线的各个层上。各个层上的设施可以在用作半导体基底的半导体晶片或用作显示基底的玻璃基底上重复执行一系列单元工艺。
2、此外，半导体制造线的各个层之间的物品输送，即诸如半导体晶片或玻璃基底的物品的输送，可以由沿竖直方向穿过各层安装的塔式升降机来执行。
3、一种通用塔式升降机包括用于输送物品的滑架模块和用于在竖直方向上引导滑架模块的轨道模块。用于提升滑架模块的驱动带，例如正时皮带，安装在轨道模块上。正时皮带与滑架模块结合，以在竖直方向上移动滑架模块。然而，当驱动这种通用塔式升降机的正时皮带时，可能会产生颗粒。例如，正时皮带通过与皮带轮的摩擦来驱动，并且当正时皮带与皮带轮摩擦时，可能会产生颗粒。
4、为了解决这个问题，可以考虑一种方法，其中滑架模块通过磁悬浮方法沿着轨道模块移动。滑架模块可以在竖直方向上移动，而不与轨道模块接触，并且通过安装在滑架模块或轨道模块上的线性马达产生的电力而悬浮在空气中。在滑架模块通过磁悬浮方法沿着轨道模块移动的塔式升降机中，在轨道模块中不存在物理连接到滑架模块的构件，例如正时皮带或绳索。因此，当用于驱动塔式升降机的电力断开时，塔式升降机的滑架模块掉落(自由掉落)。
技术实现思路
1、本公开提供了一种塔式升降机和制动单元，当电力未施加到塔式升降机时，该制
2、此外，本公开要实现的目的不限于上述目的，本领域技术人员可以从以下描述中清楚地理解其他目的。
3、附加方面将在以下描述中部分地阐述，并且将从描述中部分地显而易见，或者可以通过实践本公开的所呈现的实施例来了解。
4、根据本公开的一个方面，塔式升降机包括：轨道模块，所述轨道模块在竖直方向上延伸；滑架模块，所述滑架模块被构造成能够通过磁悬浮方法沿着所述轨道模块移动；和制动装置，所述制动装置被构造成与所述滑架模块一体地沿着所述轨道模块移动，其中，所述制动装置包括第一制动本体和第二制动本体以及连杆单元，所述第一制动本体和所述第二制动本体被构造成与所述轨道模块选择性地接触以防止所述滑架模块掉落，所述连杆单元被构造成将所述第一制动本体连接到所述第二制动本体，并且所述连杆单元将力从所述第一制动本体和所述第二制动本体中的一个传递到所述第一制动本体和所述第二制动本体中的另一个。
5、此外，所述第一制动本体可以与所述第二制动本体分离开，并面向所述第二制动本体，所述轨道模块位于所述第一制动本体与所述第二制动本体之间。
6、此外，所述连杆单元可以包括在竖直方向上与所述第一制动本体和所述第二制动本体分离开的连杆构件，以及布置在所述连杆单元的中心轴线上的固定构件。
7、此外，所述固定构件可以被构造成固定所述连杆构件的一部分，并且所述连杆构件可以被构造成围绕所述固定构件旋转。
8、此外，所述制动装置还可以包括第一基部本体和第二基部本体，所述第一基部本体邻近所述第一制动本体的倾斜表面并为所述第一制动本体提供移动路径，所述第二基部本体邻近所述第二制动本体的倾斜表面并为所述第二制动本体提供移动路径。
9、此外，所述第一制动本体和所述第二制动本体中的每一个都可以被构造成能够在相对于所述竖直方向倾斜的倾斜方向上移动，所述第一制动本体可以包括在面向所述轨道模块的表面上的第一制动垫，并且所述第二制动本体可以包括在面向所述轨道模块的表面上的第二制动垫。
10、此外，所述制动装置可以包括电磁体，所述电磁体位于所述第一制动本体下方并且被构造成向所述第一制动本体提供磁力。
11、此外，向所述第二制动本体提供磁力的电磁体可以未被布置在所述第二制动本体下方。
12、此外，当从电源向所述电磁体施加电力时，所述电磁体可以拉动所述第一制动本体。
13、此外，所述制动装置可以包括张紧构件，所述张紧构件被构造成在相对于所述竖直方向倾斜的倾斜方向上移动所述第二制动本体，并且当从所述电源施加到所述电磁体的电力没有被施加到所述张紧构件时，使所述第二制动本体与所述轨道模块接触。
14、根据本公开的另一个方面，一种制动装置，包括：被构造成与轨道模块选择性地接触的第一制动本体和第二制动本体，所述第一制动本体和所述第二制动本体防止滑架模块掉落，并且能够在相对于竖直方向倾斜的倾斜方向上移动；电磁体，所述电磁体布置在所述第一制动本体下方并且被构造成拉动所述第一制动本体；和连杆单元，所述连杆单元被构造成将所述第一制动本体连接到所述第二制动本体并且将张力从所述第一制动本体传递到所述第二制动本体，其中，所述连杆单元包括连杆构件、第一连接部分、第二连接部分和固定构件，所述连杆构件在所述竖直方向上与所述第一制动本体和所述第二制动本体分离开，所述第一连接部分被构造成将所述连杆构件连接到所述第一制动本体，所述第二连接部分被构造成将所述连杆构件连接到所述第二制动本体，所述固定构件布置在所述连杆构件的中心轴线上，并且所述第一制动本体和所述第二制动本体在彼此相反的方向上移动。
15、此外，所述第一连接部分的移动方向可以与所述第二连接部分的移动方向相反。
16、此外，当从电源向所述电磁体施加电力时，所述电磁体可以向所述第一制动本体提供磁力以拉动所述第一制动本体，并且当所述电力没有被施加到所述电磁体时，所述电磁体可以不向所述第一制动本体提供所述磁力，所述第一连接部分可以在所述竖直方向上向上推动所述连杆构件的一侧，并且所述第二连接部分可以在所述竖直方向上下降。
17、此外，制动装置还可以包括张紧构件，所述张紧构件被构造成在相对于所述竖直方向倾斜的倾斜方向上移动所述第二制动本体，并且当没有从电源向所述电磁体施加电力时使所述第二制动本体与所述轨道模块接触。
18、此外，所述张紧构件可以向所述第二制动本体提供张紧力，并且当从所述电源向所述电磁体施加所述电力时，所述电磁体可以向所述第一制动本体提供大于所述张紧力的磁力。
19、此外，所述第一连接部分和所述第二连接部分中的每一个都可以包括：本体部分，所述本体部分被构造成传递所述张力；以及接头部分，所述接头部分联接到所述本体部分的两侧。
20、此外，所述第一制动本体可以包括在面向所述轨道模块的表面上的第一制动垫，所述第二制动本体可以包括在面向所述轨道模块的表面上的第二制动垫，当没有电力被从电源施加到所述电磁体时，所述第一制动垫和所述第二制动垫可以与所述轨道模块接触，并且所述第一制动垫的移动方向可以与所述第二制动垫的移动方向相反。
21、根据本公开的另一个方面，一种塔式升降机，包括：轨道模块，所述轨道模块在竖直方向上延伸；滑架模块，所述滑架模块被构造成能够通过磁悬浮方法沿着所述轨道模块移动；和制动装置，所述制动装置被构造成与所述滑架模块本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种塔式升降机，包括：
2.根据权利要求1所述的塔式升降机，其中，所述第一制动本体与所述第二制动本体分离开并且面向所述第二制动本体，其中所述轨道模块位于所述第一制动本体与所述第二制动本体之间。
3.根据权利要求1所述的塔式升降机，其中所述连杆单元包括：
4.根据权利要求3所述的塔式升降机，其中
5.根据权利要求1所述的塔式升降机，其中，所述制动装置还包括第一基部本体和第二基部本体，所述第一基部本体邻近所述第一制动本体的倾斜表面并为所述第一制动本体提供移动路径，所述第二基部本体邻近所述第二制动本体的倾斜表面并为所述第二制动本体提供移动路径。
6.根据权利要求1所述的塔式升降机，其中
7.根据权利要求6所述的塔式升降机，其中，所述制动装置包括电磁体，所述电磁体位于所述第一制动本体下方并且被构造成向所述第一制动本体提供磁力。
8.根据权利要求7所述的塔式升降机，其中，向所述第二制动本体提供磁力的电磁体未被布置在所述第二制动本体下方。
9.根据权利要求7所述的塔式升降机，其中，当从电源向所
10.根据权利要求9所述的塔式升降机，其中，所述制动装置包括张紧构件，所述张紧构件被构造成：
11.一种制动装置，包括：
12.根据权利要求11所述的制动装置，其中，所述第一连接部分的移动方向与所述第二连接部分的移动方向相反。
13.根据权利要求11所述的制动装置，其中，
14.根据权利要求11所述的制动装置，所述制动装置还包括张紧构件，所述张紧构件被构造成：
15.根据权利要求14所述的制动装置，其中
16.根据权利要求11所述的制动装置，其中，所述第一连接部分和所述第二连接部分中的每一个都包括：本体部分，所述本体部分被构造成传递所述张力；以及接头部分，所述接头部分联接到所述本体部分的两侧。
17.根据权利要求11所述的制动装置，其中
18.一种塔式升降机，包括：
19.根据权利要求18所述的塔式升降机，其中，所述连杆单元围绕所述固定构件旋转，以将所述张力从所述第一制动本体传递到所述第二制动本体。
20.根据权利要求18所述的塔式升降机，所述塔式升降机还包括：
...【技术特征摘要】
1.一种塔式升降机，包括：
2.根据权利要求1所述的塔式升降机，其中，所述第一制动本体与所述第二制动本体分离开并且面向所述第二制动本体，其中所述轨道模块位于所述第一制动本体与所述第二制动本体之间。
3.根据权利要求1所述的塔式升降机，其中所述连杆单元包括：
4.根据权利要求3所述的塔式升降机，其中
5.根据权利要求1所述的塔式升降机，其中，所述制动装置还包括第一基部本体和第二基部本体，所述第一基部本体邻近所述第一制动本体的倾斜表面并为所述第一制动本体提供移动路径，所述第二基部本体邻近所述第二制动本体的倾斜表面并为所述第二制动本体提供移动路径。
6.根据权利要求1所述的塔式升降机，其中
7.根据权利要求6所述的塔式升降机，其中，所述制动装置包括电磁体，所述电磁体位于所述第一制动本体下方并且被构造成向所述第一制动本体提供磁力。
8.根据权利要求7所述的塔式升降机，其中，向所述第二制动本体提供磁力的电磁体未被布置在所述第二制动本体下方。
9.根据权利要求7所述的塔式升降机，其中，当从电源向所述电磁体施加电力时，所述电磁体拉动...
【专利技术属性】
技术研发人员：李娜贤，李明振，丁南豪，白斗铉，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：
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