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基板处理装置控制系统及基板处理装置控制方法制造方法及图纸

技术编号:41300300 阅读:3 留言:0更新日期:2024-05-13 14:47
提供了一种基板处理装置控制系统和基板处理装置控制方法,基板处理装置控制系统包括:图像生成器,用于生成要由基板处理装置打印的图像,基板处理装置包括喷墨头单元,从而以喷墨打印方式在基板上打印图像;喷射驱动器,用于从图像生成器接收图像信号并且基于图像信号将喷射信号输出到喷墨头单元,以允许基板处理装置在基板上打印图像;以及运动控制器,用于控制基板处理装置中用于支撑和移动基板的载台单元的操作。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及基板处理装置控制系统和基板处理装置控制方法,更具体地,涉及能够以喷墨打印方式在基板上打印图像的基板处理装置控制系统和基板处理装置控制方法。


技术介绍

1、液晶显示器(lcd)通常用作电子设备的显示器。通常,lcd包括阵列基板和滤色器基板。阵列基板包括薄膜晶体管(tft)、像素电极和对准层。滤色器基板包括黑矩阵(bm)、滤色器(cf)、公共电极和对准层。液晶位于阵列基板和滤色器基板之间的空间中。上述lcd通过使用基于液晶的各向异性的光的折射率差来实现图像效果。

2、喷墨型液体涂覆单元用于将诸如对准溶液或液晶之类的处理液施加到基板上以便制造lcd。液体涂覆单元包括用于将处理液体施加到基板上的头部,并且该头部包括用于喷射处理液体的喷嘴。这样,从喷嘴喷射出的处理液可以着落于基板上。

3、为了在喷墨系统中进行精确的r/g/b图案化,基本上需要用于解决基板处理装置的机械缺陷的校正处理,以校正和抑制影响单独液滴在基板上着落在用于传送基板的载台的传送路径上的误差。

4、然而,在上述基板处理装置控制系统和基板处理装置控制方法中,通过使用基于以前馈方式生成并且由控制器提供的编码器信号的运动控制器来执行位置误差校正以校正着落误差,但是由于基于控制采样周期的跟随误差,在编码器信号和实际位置之间仍然存在误差。

5、例如,在载台的编码器信号被输入到运动控制器之后,位置校正值和用于控制载台的输出信号的和值被转换为编码器信号并且输入到喷射驱动器。因为输出信号被运动控制器的控制采样周期延迟,并且具体地,不可避免地存在跟随误差,所以与实际的载台位置相比可能出现误差。

6、另外,基于图案图像的位置误差校正方法可以增加用于校正由于对图像分辨率的依赖性而引起的位置误差的图案生成计算时间。例如,当在相同的打印速度下增加图案图像分辨率以校正位置误差时,由于头部的喷射频率限制或图像尺寸限制(例如,2g字节)而发生实现方式的限制(例如,当生成高分辨率图像时引起图案图像计算速度的增加)。


技术实现思路

1、本专利技术提供了一种基板处理装置控制系统和基板处理装置控制方法,能够通过向喷射驱动器提供线性位置校正函数并且允许喷射驱动器在直接接收到载台的编码器信号并且对该编码器信号进行计数时线性地反映位置校正值来反映实际位置而不受控制采样周期和跟随误差的影响。然而,以上描述是示例,本专利技术的范围不限于此。

2、根据本专利技术的一方面,提供了一种基板处理装置控制系统,包括:图像生成器,用于生成要由基板处理装置打印的图像,该基板处理装置包括喷墨头单元,从而以喷墨打印方式在基板上打印图像;喷射驱动器,用于从图像生成器接收图像信号并且基于图像信号将喷射信号输出到喷墨头单元,以允许基板处理装置在基板上打印图像;以及运动控制器,用于控制基板处理装置中用于支撑和移动基板的载台单元的操作,其中,喷射驱动器直接从载台单元的编码器接收从编码器输出的编码器信号,通过对接收到的编码器信号进行计数来将喷射信号输出到喷墨头单元,以基于载台单元的位置来控制喷墨头单元的喷射定时。

3、喷射驱动器可以从载台单元的编码器接收脉冲信号形式的编码器信号。

4、喷射驱动器可以通过使用先前输入的位置校正值来校正以脉冲信号形式接收到的编码器信号的计数值,并且基于校正后的计数值将喷射信号输出到喷墨头单元,以校正载台单元的位置误差。

5、喷射驱动器可以将位置校正值线性地反映到编码器信号的计数值,以将编码器信号的每个计数值随时间校正为位置校正值的累加形式。

6、喷射驱动器可以包括:编码器分频器,用于以特定分频间隔对从载台单元的编码器接收到的编码器信号进行分频;编码器计数器,用于对由编码器分频器以特定分频间隔分频的编码器信号进行计数;以及喷射控制器,用于基于由编码器计数器计数的编码器信号的计数值将喷射信号输出到喷墨头单元。

7、喷射控制器可以包括:位置校正器,用于校正由编码器计数器计数的编码器信号的计数值,以基于通过使用位置校正值校正的计数值将喷射信号输出到喷墨头单元。

8、位置校正器可以预先计算和存储在相对于打印方向设置的特定间隔期间发生的特定误差,作为位置校正值,以对位置误差进行采样。

9、位置校正器可以校正编码器信号的计数值,如[等式1]x=y+(n×a)(其中x:校正后的编码器计数值,y:校正前的编码器计数值,n:计数值数量,以及a:位置校正值)所示,以将位置校正值线性地反映到由编码器计数器计数的编码器信号的计数值。

10、喷射控制器可以输出基于液滴间隔的设置的锁存信号、用于为喷墨头单元的喷嘴分配图像信号的头数据以及通过将用于驱动喷嘴的电信号转换成波形而获得的波形信号,作为喷射信号。

11、图像生成器可以包括:图案控制器,用于生成要打印的图像作为图像信号;以及集线器,用于将由图案控制器生成的图像信号发送到喷射驱动器。

12、根据本专利技术的另一方面,提供了一种基板处理装置控制方法,包括:图像生成步骤,用于生成要由基板处理装置打印的图像,该基板处理装置包括喷墨头单元,从而以喷墨打印方式在基板上打印图像;运动控制步骤,用于控制基板处理装置中用于支撑和移动基板的载台单元的操作;喷射信号输出步骤,用于基于在图像生成步骤中生成的图像信号将喷射信号输出到喷墨头单元,以允许基板处理装置在基板上打印图像;头驱动步骤,用于基于喷射信号控制喷墨头单元的驱动;以及打印步骤,用于基于喷墨头单元的驱动来打印基板,其中在喷射信号输出步骤中,直接从载台单元的编码器接收从编码器输出的编码器信号,并且通过对接收到的编码器信号进行计数来将喷射信号输出到喷墨头单元,以基于载台单元的位置来控制喷墨头单元的喷射定时。

13、在喷射信号输出步骤中,可以以脉冲信号形式从由运动控制步骤驱动的载台单元的编码器接收编码器信号。

14、在喷射信号输出步骤中,可以通过使用先前输入的位置校正值来校正以脉冲信号形式接收到的编码器信号的计数值,并且可以基于校正的计数值将喷射信号输出到喷墨头单元,以校正载台单元的位置误差。

15、在喷射信号输出步骤中,将位置校正值线性地反映到编码器信号的计数值,以将编码器信号的每个计数值随时间校正为位置校正值的累加形式。

16、喷射信号输出步骤可以包括:编码器分频步骤,用于以特定分频间隔对从载台单元的编码器接收到的编码器信号进行分频;编码器计数步骤,用于对在编码器分频步骤中以特定分频间隔分频的编码器信号进行计数;以及喷射控制步骤,用于基于在编码器计数步骤中计数的编码器信号的计数值将喷射信号输出到喷墨头单元。

17、喷射控制步骤可以包括:位置校正步骤,用于校正在编码器计数步骤中计数的编码器信号的计数值,以基于通过使用位置校正值校正的计数值将喷射信号输出到喷墨头单元。

18、在位置校正步骤中,可以预先计算和存储在相对于打印方向设置的特定间隔期间发生的特定误差,作为位置校正值,以ui位置误差进行本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基板处理装置控制系统,包括:

2.根据权利要求1所述的基板处理装置控制系统,其中,所述喷射驱动器从所述载台单元的所述编码器接收脉冲信号形式的编码器信号。

3.根据权利要求2所述的基板处理装置控制系统,其中,所述喷射驱动器通过使用先前输入的位置校正值来校正以脉冲信号形式接收到的所述编码器信号的计数值,并且基于校正后的计数值将所述喷射信号输出到所述喷墨头单元,以校正所述载台单元的位置误差。

4.根据权利要求3所述的基板处理装置控制系统,其中,所述喷射驱动器将所述位置校正值线性地反映到所述编码器信号的计数值,以将所述编码器信号的每个计数值随时间校正为所述位置校正值的累加形式。

5.根据权利要求4所述的基板处理装置控制系统,其中,所述喷射驱动器包括:

6.根据权利要求5所述的基板处理装置控制系统,其中,所述喷射控制器包括:位置校正器,用于校正由所述编码器计数器计数的所述编码器信号的计数值,以基于通过使用所述位置校正值校正的所述计数值将所述喷射信号输出到所述喷墨头单元。

7.根据权利要求6所述的基板处理装置控制系统,其中,所述位置校正器预先计算并且存储在相对于打印方向而设置的特定间隔期间发生的特定误差,作为所述位置校正值,以对位置误差进行采样。

8.根据权利要求7所述的基板处理装置控制系统,其中,所述位置校正器校正所述编码器信号的计数值,如下面的等式1所示,以将所述位置校正值线性地反映到由所述编码器计数器计数的所述编码器信号的计数值,

9.根据权利要求5所述的基板处理装置控制系统,其中,所述喷射控制器输出基于液滴间隔的设置的锁存信号、用于为所述喷墨头单元的喷嘴分配所述图像信号的头数据以及通过将用于驱动所述喷嘴的电信号转换为波形而获得的波形信号,作为所述喷射信号。

10.根据权利要求1所述的基板处理装置控制系统,其中,所述图像生成器包括:

11.一种基板处理装置控制方法,包括:

12.根据权利要求11所述的基板处理装置控制方法,其中,在所述喷射信号输出步骤中,从由所述运动控制步骤驱动的所述载台单元的所述编码器以脉冲信号形式接收所述编码器信号。

13.根据权利要求12所述的基板处理装置控制方法,其中,在所述喷射信号输出步骤中,通过使用先前输入的位置校正值来校正以脉冲信号形式接收到的所述编码器信号的计数值,并且基于校正后的计数值将所述喷射信号输出到所述喷墨头单元,以校正所述载台单元的位置误差。

14.根据权利要求13所述的基板处理装置控制方法,其中,在所述喷射信号输出步骤中,将所述位置校正值线性地反映到所述编码器信号的计数值,以将所述编码器信号的每个计数值随时间校正为所述位置校正值的累加形式。

15.根据权利要求14所述的基板处理装置控制方法,其中,所述喷射信号输出步骤包括:

16.根据权利要求15所述的基板处理装置控制方法,其中,所述喷射控制步骤包括:位置校正步骤,用于校正在所述编码器计数步骤中计数的所述编码器信号的计数值,以基于通过使用所述位置校正值校正的所述计数值将所述喷射信号输出到所述喷墨头单元。

17.根据权利要求16所述的基板处理装置控制方法,其中,在所述位置校正步骤中,预先计算并且存储在相对于打印方向而设置的特定间隔期间发生的特定误差作为所述位置校正值,以对位置误差进行采样。

18.根据权利要求17所述的基板处理装置控制方法,其中,在所述位置校正步骤中,校正所述编码器信号的计数值,如下面的等式1所示,以将所述位置校正值线性地反映到在所述编码器计数步骤中计数的所述编码器信号的计数值,

19.根据权利要求15所述的基板处理装置控制方法,其中,在所述喷射控制步骤中,输出基于液滴间隔的设置的锁存信号、用于为所述喷墨头单元的喷嘴分配所述图像信号的头数据以及通过将用于驱动所述喷嘴的电信号转换为波形而获得的波形信号,作为所述喷射信号。

20.一种基板处理装置控制系统,包括:

...

【技术特征摘要】

1.一种基板处理装置控制系统,包括:

2.根据权利要求1所述的基板处理装置控制系统,其中,所述喷射驱动器从所述载台单元的所述编码器接收脉冲信号形式的编码器信号。

3.根据权利要求2所述的基板处理装置控制系统,其中,所述喷射驱动器通过使用先前输入的位置校正值来校正以脉冲信号形式接收到的所述编码器信号的计数值,并且基于校正后的计数值将所述喷射信号输出到所述喷墨头单元,以校正所述载台单元的位置误差。

4.根据权利要求3所述的基板处理装置控制系统,其中,所述喷射驱动器将所述位置校正值线性地反映到所述编码器信号的计数值,以将所述编码器信号的每个计数值随时间校正为所述位置校正值的累加形式。

5.根据权利要求4所述的基板处理装置控制系统,其中,所述喷射驱动器包括:

6.根据权利要求5所述的基板处理装置控制系统,其中,所述喷射控制器包括:位置校正器,用于校正由所述编码器计数器计数的所述编码器信号的计数值,以基于通过使用所述位置校正值校正的所述计数值将所述喷射信号输出到所述喷墨头单元。

7.根据权利要求6所述的基板处理装置控制系统,其中,所述位置校正器预先计算并且存储在相对于打印方向而设置的特定间隔期间发生的特定误差,作为所述位置校正值,以对位置误差进行采样。

8.根据权利要求7所述的基板处理装置控制系统,其中,所述位置校正器校正所述编码器信号的计数值,如下面的等式1所示,以将所述位置校正值线性地反映到由所述编码器计数器计数的所述编码器信号的计数值,

9.根据权利要求5所述的基板处理装置控制系统,其中,所述喷射控制器输出基于液滴间隔的设置的锁存信号、用于为所述喷墨头单元的喷嘴分配所述图像信号的头数据以及通过将用于驱动所述喷嘴的电信号转换为波形而获得的波形信号,作为所述喷射信号。

10.根据权利要求1所述的基板处理装置控制系统,其中,所述图像生成器包括:

11.一种基板处理装置控制方法,包括:

【专利技术属性】
技术研发人员:吴凡政罗钟男
申请(专利权)人:细美事有限公司
类型:发明
国别省市:

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