【技术实现步骤摘要】
本公开涉及一种空中吊运装置(overhead hoist transport device)，并且更具体地，涉及一种能够确定其车轮是否脱离的空中吊运装置。
技术介绍
1、用于半导体产品的生产工艺需要数百次操作以生产出成品，并且在这些操作期间需要进行数十万次的物流搬运。为了保护半导体材料在物流过程期间不受污染、损坏和运送事故的影响，半导体生产线使用空中吊运装置作为物流自动化系统。作为将众多半导体工艺之间的物流运输自动化的系统，空中吊运装置沿着安装在顶板(ceiling)上的轨道，将前开式晶圆传输盒(foup)中的晶圆运输到用于每个生产工艺的制造设备中。
技术实现思路
1、提供一种能够确定物品运输车辆的行驶区段并确定物品运输车辆的车轮是否脱离的空中吊运装置。
2、提供一种能够确定物品运输车辆的特定车轮针对每个行驶区段是否脱离的空中吊运装置。
3、附加方面将部分地在下文的描述中阐述，并且部分地将从描述中显而易见，或者可以通过本公开的呈现的实施例的实践获知。
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【技术保护点】
1.一种空中吊运装置，包括：
2.根据权利要求1所述的空中吊运装置，
3.根据权利要求2所述的空中吊运装置，
4.根据权利要求1所述的空中吊运装置，
5.根据权利要求1所述的空中吊运装置，
6.根据权利要求1所述的空中吊运装置，
7.根据权利要求1所述的空中吊运装置，
8.根据权利要求1所述的空中吊运装置，
9.根据权利要求1所述的空中吊运装置，
10.一种空中吊运装置，包括：
11.根据权利要求10所述的空中吊运装置，
12.根据权利要...
【技术特征摘要】
1.一种空中吊运装置，包括：
2.根据权利要求1所述的空中吊运装置，
3.根据权利要求2所述的空中吊运装置，
4.根据权利要求1所述的空中吊运装置，
5.根据权利要求1所述的空中吊运装置，
6.根据权利要求1所述的空中吊运装置，
7.根据权利要求1所述的空中吊运装置，
8.根据权利要求1所述的空中吊运装置，
9.根据权利要求1所述的空中吊运装置，
10.一种空中吊运装置，包括：
11.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：金韩星，张大日，全钟选，金正大，全涍走，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：
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