用于处理衬底的装置制造方法及图纸

一种用于处理衬底的装置，包括提供用于处理衬底的空间的腔；设置在所述腔内且沿着第一方向延伸的至少一个第一供给线路，该第一供给线路允许进入所述第一供给线路的两端部的处理液体由此流过；与所述第一供给线路连通的喷洒器，该喷洒器朝所述衬底延伸，并所述处理液体提供至所述衬底上；以及驱动单元，该驱动单元利用非接触方式摆动所述第一供给线路，以在大体垂直于所述第一方向的第二方向摆动所述喷洒器。因此，所述装置可以均匀地将所述处理液体提供至所述衬底。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的示例性实施例涉及一种用于处理衬底的装置。更详而言之，本发 明的示例性实施例涉及一种利用提供至衬底的处理液体来处理衬底的装置。
技术介绍
概括而言，用于处理衬底的装置处理位于其上的用于制造半导体集成电路 的晶片或位于其上的用于制造平板型显示器的玻璃衬底。通过使用各种化合 物、有机溶液、去离子水等，湿处理装置可以处理衬底。例如，可以被用来制 造平板型显示器的湿清洁装置可以为衬底提供诸如清洁溶液的处理液体，用以 去除残留在衬底上的异物。湿清洁装置可以包括腔、轴、喷洒器和驱动部件。该腔可以提供用于处理 衬底的空间。该轴可以在腔内转移衬底。在处理衬底时，该轴可以旋转，从而 以均匀的速度转移衬底。在湿清洁处理过程中，喷洒器可以朝由轴所转移的衬 底喷洒处理液体。该喷洒器可以包括多个喷嘴。在腔内，将该喷嘴设置在衬底上方。将喷嘴 以固定的间隔连接至供给线路。供给线路可以旋转至预设的角度。驱动部件可以驱动供给线路，使得喷嘴摆动。因此，供给线路可以旋转， 以将喷嘴摆动至预设的角度。当喷嘴摆动时，喷嘴将处理液体喷洒至衬底之上。然而，驱动部件可以通过形成在腔侧壁上的穿孔连接至供给线路，从而使 驱动组件可以为供给线路提供驱动力。由于驱动部件通过穿孔连接至供给线 路，处理液体可能通过穿孔泄漏。进一步，当利用处理液体处理衬底期间产生 烟雾时，烟雾可以通过穿孔泄漏，由此污染或者腐蚀与腔相邻的制造设备，或 者可能破坏环境的稳定性。随着衬底变得更大，供给线路变得更长。当将驱动部件邻接供给线路的一 侧布置，以将驱动力提供至供给线路时，供给线路可能沿着其延伸的方向变扭 曲。进一步，可能不能将驱动力完全且均匀地从供给线路的一端部传递至供给 线路的另一端部。另外，由于用于将处理液体提供至供给线路的液体供给单元 连接至供给线路的一个端部，因此在供给线路的另一端，处理液体的液压可能 减小。因此，供给线路可能不能将处理液体均匀地提供至衬底。
技术实现思路
本专利技术的示例性实施例提供了一种用于处理衬底的装置，该装置能够防止 处理液体从腔泄漏出。本专利技术的示例性实施例提供了一种用于处理衬底的装置，该装置能够将处 理液体均匀地提供至衬底。根据本专利技术的一个方面，存在一种用于处理衬底的装置。该用于处理衬底 的装置可以包括腔，该腔为处理衬底提供空间；设置在所述腔内且沿着第一 方向延伸的至少一个第一供给线路，该第一供给线路允许进入所述第一供给线 路的两端部内的处理液体流过；与所述第一供给线路连通的喷洒器，该喷洒器 朝所述衬底延伸，并为所述衬底提供所述处理液体；以及驱动单元、该驱动单 元利用非接触方式摆动所述第一供给线路，以在大体垂直于所述第一方向的第 二方向摆动所述喷洒器。在示例性实施例中，所述驱动单元可以包括设置在所述腔的上面板的外 表面上的第一磁性部件，该第一磁性部件在所述第二方向往复运动；设置在所 述腔的所述上面板的内表面上的第二磁性部件，在所述第一磁性部件往复运动 时，该第二磁性部件往复运动；以及动力转换部，该动力转换部被设置为利用 所述第二磁性部件的所述往复运动摆动所述第一供给线路。这里，所述动力转 换部可以包括连接至所述第二磁性部件的往复部件，在所述第二磁性部件往 复运动时，该往复部件往复运动；局部地包围所述第一供给线路的摆动部件； 将所述往复部件和所述摆动部件彼此连接的连接部件；以及将所述摆动部件与 所述连接部件组合的连接销，该连接销与所述摆动部件的中心偏心。进一步， 多个第一供给线路可以被彼此平行地布置，并可以连接至所述往复部件。在一些示例性实施例中，该装置可以进一步包括设置在所述腔的外侧的 驱动力生成单元，该驱动力生成单元可以驱动所述第一磁性部件。这里，所述 驱动力生成单元可以包括生成旋转力的驱动电机；利用所述旋转力旋转的旋 转板；连接至所述第一磁性部件的移动板，该移动板利用所述旋转力在所述第 二方向往复移动所述第一磁性部件；将所述旋转板与所移动板连接的连接曲 柄，用以允许所述移动板通过所述旋转板往复运动；以及与所述旋转板的中心 偏心设置的偏心销，用以将所述连接曲柄连接至所述旋转板的偏心部。在一些示例性实施例中，所述驱动单元可以进一步包括导向部件，所述导向部件在所述第二方向弓I导所述第 一和第二磁性部件。在一些示例性实施例中，所述装置可以进一步包括将所述处理液体提供至 所述第一供给线路的液体供给单元。这里，所述液体供给单元可以包括分别 连接至所述第一供给线路的两端部的第二供给线路，用以将所述处理液体供给至所述第一供给线路；以及连接所述第一供给线路和每个第二供给线路的组合 部。进一步，每个所述组合部可以包括被设置为使所述第一供给线路旋转的联 接器。另外，每个所述组合部可以包括包围所述第一供给线路的端部的第一 轴承部件和第二轴承部件，所述第一和第二轴承部件具有形成在彼此相邻的相 对面处的至少一个接纳孔；位于所述接纳孔中的至少一个密封部件，用于防止 所述处理液体泄漏；以及将所述第一和第二轴承部件固定至所述第一供给线路 的保持器。特别地，多个接纳孔可以分别形成在所述第一和第二轴承部件的外 圆周面和内圆周面，并且每个所述组合部可以包括设置在每个所述接纳孔中的 多个密封部件。在一些示例性实施例中，所述装置可以进一步包括用于转移所述衬底的转 移单元。这里，所述转移单元可以包括以所述第一方向排列且以第二方向彼 此平行地延伸的可旋转转移轴；以及安装在所述转移轴上的转移辊，用于支撑 和转移所述衬底。根据本专利技术的另一个方面，存在一种用于处理衬底的装置。该装置可以包 括腔，该腔提供用于处理衬底的空间；设置在所述腔内且沿着第一方向延伸 的至少一个第一供给线路，该第一供给线路允许处理液体在第一方向流过；与 所述第一供给线路连通的喷洒器，该喷洒器朝所述衬底延伸，并为所述衬底提 供所述处理液体；以及驱动单元，该驱动单元利用非接触方式摆动所述第一供 给线路，以在大体垂直于所述第一方向的第二方向摆动所述喷洒器。这里，所 述驱动单元可以包括设置在所述腔的上面板的外表面上的第一磁性部件，该 第一磁性部件在所述第二方向往复运动；设置在所述腔的所述上面板的内表面 上的第二磁性部件，在所述第一磁性部件往复运动时，该第二磁性部件往复运 动；以及动力转换部，该动力转换部被设置为利用所述第二磁性部件的所述往 复运动摆动所述第一供给线路。进一步，所述动力转换部可以包括连接至所 述第二磁性部件的往复部件，在所述第二磁性部件往复运动时，该往复部件往 复运动；局部地包围所述第一供给线路的摆动部件；将所述往复部件和所述摆 动部件彼此连接的连接部件；以及将所述摆动部件与所述连接部件组合的连接 销，该连接销与所述摆动部件的中心偏心。.另外，多个第一供给线路可以被彼 此平行地布置，并可以连接至所述往复部件。在一些示例性实施例中，所述装置可以进一步包括布置在所述腔外部的驱动力生成单元，该驱动力生成单元可以驱动所述第一磁性部件。这里，所述 驱动力生成单元可以包括生成旋转力的驱动电机；利用所述旋转力旋转的旋 转板；连接至所述第一磁性部件的移动板，该移动板利用所述旋转力在所述第 二方向往复移动所述第一磁性部件；将所述旋转板与所移动板连接的连接曲柄，用以允许所述移动板通过所述旋转板往复运动；以及与所述旋转板的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于处理衬底的装置，该装置包括：　腔，该腔为处理衬底提供空间；　设置在所述腔内且沿着第一方向延伸的至少一个第一供给线路，该第一供给线路允许进入所述第一供给线路的两端部内的处理液体流过；　与所述第一供给线路连通的喷洒器，该喷洒器朝所述衬底延伸，并为所述衬底提供所述处理液体；以及　驱动单元，该驱动单元利用非接触方式摆动所述第一供给线路，以在大体垂直于所述第一方向的第二方向摆动所述喷洒器。

【技术特征摘要】
KR 2007-11-21 10-2007-01189441、一种用于处理衬底的装置，该装置包括腔，该腔为处理衬底提供空间；设置在所述腔内且沿着第一方向延伸的至少一个第一供给线路，该第一供给线路允许进入所述第一供给线路的两端部内的处理液体流过；与所述第一供给线路连通的喷洒器，该喷洒器朝所述衬底延伸，并为所述衬底提供所述处理液体；以及驱动单元，该驱动单元利用非接触方式摆动所述第一供给线路，以在大体垂直于所述第一方向的第二方向摆动所述喷洒器。2、 如权利要求1所述的装置，其中所述驱动单元包括设置在所述腔的上面板的外表面上的第一磁性部件，该第一磁性部件 在所述第二方向往复运动；设置在所述腔的所述上面板的内表面上的第二磁性部件，在所述第一 磁性部件往复运动时，该第二磁性部件往复运动;以及动力转换部，该动力转换部被设置为利用所述第二磁性部件的所述往 复运动摆动所述第一供给线路。3、 如权利要求2所述的装置，其中所述动力转换部包括连接至所述第二磁性部件的往复部件，在所述第二磁性部件往复运动时，该往复部件往复运动；局部地包围所述第一供给线路的摆动部件； 将所述往复部件和所述摆动部件彼此连接的连接部件；以及 将所述摆动部件与所述连接部件组合的连接销，该连接销与所述摆动部件的中心偏心。4、 如权利要求3所述的装置，其中多个第一供给线路被彼此平行地布置，并 被连接至所述往复部件。5、 如权利要求2所述的装置，进一步包括-设置在所述腔的外侧的驱动力生成单元，该驱动力生成单元驱动所述 第一磁性部件。6、 如权利要求5所述的装置，其中所述驱动力生成单元包括生成旋转力的驱动电机；利用所述旋转力旋转的旋转板；连接至所述第一磁性部件的移动板，该移动板利用所述旋转力在所述 第二方向往复移动所述第一磁性部件；将所述旋转板与所移动板连接的连接曲柄，用以允许所述移动板通过 所述旋转板往复运动；以及与所述旋转板的中心偏心设置的偏心销，用以将所述连接曲柄连接至 所述旋转板的偏心部。7、 如权利要求2所述的装置，其中驱动单元进一步包括导向部件，该导向部 件在所述第二方向引导所述第一磁性部件和所述第二磁性部件。8、 如权利要求1所述的装置，进一步包括将所述处理液体提供至所述第一供 给线路的液体供给单元，所述液体供给单元包括分别连接至所述第一供给线路的两端部的第二供给线路，用以将所述处理液体供给至所述第一供给线路；以及连接所述第一供给线路和每个所述第二供给线路的组合部。9、 如权利要求8所述的装置，其中每个所述组合部包括被设置成使所述第一 供给线路旋转的联接器。10、 如权利要求8所述的装置，其中每个所述组合部包括包...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴奇洪，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]