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在一种用于将处理流体供给至衬底上的装置和一种具有该装置的用于处理衬底的装置中，处理流体刀在平行于该衬底的表面的方向延伸，并具有缝喷嘴以供给该处理流体。杆在该刀的延伸方向延伸穿过该刀，并且在该刀的延伸方向将张紧力施加刀该杆，从而防止该刀下垂。...
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