集成电路及其制造方法技术

技术编号:3178731 阅读:181 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
提供一种集成电路及其制造方法。该集成电路(20)包括主体硅衬底(bulk  silicon  substrate)(24),其具有〈100〉晶向的第一区域(64,66)及〈110〉晶向(crystalline  orientation)的第二区域(66,64)。绝缘层上硅(silicon  on  insulator,SOI)层(62)叠放设置于一部分的主体硅衬底上。至少一场效应晶体管(96,98)形成在该绝缘层上硅层(62)中,至少一P沟道场效应晶体管(90,92)形成在该〈110〉晶向的第二区域(66,64)中,且至少一N沟道场效应晶体管(90,92)形成在该〈100〉晶向的第一区域(64,66)中。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种集成电路(20),包括:主体硅衬底(24),包括具有〈100〉晶向的第一区域(64,66)及〈110〉晶向的第二区域(66,64);叠放设置在该主体硅衬底的一部份上的绝缘层上硅层(62);至少一场效应晶体管(96,98),形成于该绝缘层上硅层(62)中;至少一P沟道场效应晶体管(90,92),形成在该第二区域(66,64)中;以及至少一N沟道场效应晶体管(90,92),形成在该第一区域(64,66)中。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:AM韦特S卢宁
申请(专利权)人:格罗方德半导体公司
类型:发明
国别省市:KY[]

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