【技术实现步骤摘要】
一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机构
本技术是一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机构，属于高真空镀膜机领域。
技术介绍
传统镀膜机以及进口镀膜设备，主腔体和主泵排气口之间的位置都是通过不锈钢百叶窗的形式进行隔热，这样做的问题是，由于镀膜机工作时大多数都是高温低压，高温最高时可达400度左右，内部压力为3.0E-4Pa的压强下连续工作，由于长时间腔体内部的热辐射产生，导致主泵（低温泵）的温度逐渐上升，这样一来一旦主泵的温度超过20k后，冷泵内部会由于自身温度的上升，进而自动保护，造成主泵的自主停止，长此以来，不仅大大缩短了主泵的利用率，同时也对生产造成了一定的影响。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术目的是提供一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机构，以解决现有技术不便对主泵进行隔热，使主泵长时间使用后温度过高的问题。为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机构，包括水冷板、水管和接头，所述水冷板底部与水管进行垂直焊接，所述水管前部通过垫圈与接头进行螺纹连接。进一步地，所述接头共设置有两个，并且两个接头的形状和大小均相等。进一步地，所述水冷板的长度为680mm，宽度为175mm。进一步地，所述水管的长度为562mm。进一步地，所述水冷板和水管使用的材料均为铜。本技术的一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机构，将本设安装在真空腔体和主阀腔体连接的过道中间，通过把水管焊接在铜制水冷板上面，利用了铜的极好的导热效果，当19度到25度左右的冷却水在铜制水管内部流动时，热量通过铜制水冷板的面积迅速扩散，从而形成了...
【技术保护点】
1.一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机构，其特征在于：包括水冷板（1）、水管（2）和接头（3），所述水冷板（1）底部与水管（2）进行垂直焊接，所述水管（2）前部通过垫圈与接头（3）进行螺纹连接。
【技术特征摘要】
1.一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机构，其特征在于：包括水冷板（1）、水管（2）和接头（3），所述水冷板（1）底部与水管（2）进行垂直焊接，所述水管（2）前部通过垫圈与接头（3）进行螺纹连接。2.根据权利要求1所述的一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机构，其特征在于：所述接头（3）共...
【专利技术属性】
技术研发人员：杜宝胜，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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