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本实用新型公开了一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机构，其结构包括水冷板、水管和接头，所述水冷板底部与水管进行垂直焊接，所述水管前部通过垫圈与接头进行螺纹连接，本实用新型的一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机构，将本设安装在真空腔体和主...
该专利属于苏州佑伦真空设备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州佑伦真空设备科技有限公司授权不得商用。

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