【技术实现步骤摘要】
本技术涉及镀膜，更具体地，涉及一种真空镀膜设备的坩埚旋转机构。
技术介绍
1、真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。
2、在真空蒸镀的加工工艺中，在真空条件下采用坩埚气化镀膜材料，坩埚包括：蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源(source)，加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化，以扇形的结构向上蒸发，坩埚上方具有用来承载被镀膜工件的伞状结构的镀锅，镀锅上固定有被镀膜工件，因此使得蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成镀膜。
3、现有技术参考专利公告号为cn112593192a，公开了一种磁流体一体式坩埚旋转机构，通过电机带动联轴器带动磁流体转动，磁流体带动第一齿轮转动，第一齿轮带动齿轮轴转动，齿轮轴带动第二齿轮转动从而带动坩埚转动，坩埚的反应腔的敞口上设有遮板，遮板上设有第一通孔，当坩埚转动到指定位置，坩埚的其中一个反应腔与第一通孔连通，随后，坩埚进行工作。
4、然而，其第一齿轮与第二齿轮为金属啮合，金属之间的连接，长时间的工作后容易造成磨损，从而导致齿轮轴带动第二齿轮转动从而带动坩埚转动的精度不准，第一齿轮与第二齿轮更换的成本较高，同时，第一齿轮与第二齿轮的啮合安装难度较大，容易造成反应腔旋转后与第一通孔对不准，不同心，产生偏差。
技术实现思路b>
1、本技术的目的在于，提供一种真空镀膜设备的坩埚旋转机构，包括：真空镀膜设备的内腔的底板，所述内腔的底板处设有蒸发源结构3，所述蒸发源结构3包括坩埚盖板41和坩埚本体42，坩埚驱动杆35与第一轴套36可拆卸连接，坩埚转动杆32与第二轴套33可拆卸连接，当第一轴套36、第二轴套33损坏时，只需要更换第一轴套36、第二轴套33，而不需要将整个坩埚驱动机构进行更换，节省了成本，第一轴套36与第二轴套33卡接，使得所述坩埚驱动杆35与坩埚转动杆32卡接时能够有偏差量，蒸发源结构3的安装和更换更操作更简单。
2、一种真空镀膜设备的坩埚旋转机构，包括：真空镀膜设备的内腔的底板，所述内腔的底板处设有蒸发源结构3，所述蒸发源结构3包括坩埚盖板41和坩埚本体42，所述坩埚盖板41设于坩埚本体42上方，所述坩埚盖板41上设有蒸发孔43，所述坩埚本体42上均匀设有多个穴位孔，其特征在于：所述坩埚本体42下部设有第一齿轮5盘44，所述内腔的底板靠近第一齿轮5盘44处设有坩埚转动杆32，所述第一齿轮5盘44与所述坩埚转动杆32的一端啮合，所述内腔的底板上连接有坩埚驱动机构，所述坩埚驱动机构包括坩埚驱动杆35以及其连接的驱动电机38，驱动电机38带动坩埚驱动杆35转动，坩埚驱动杆35靠近坩埚转动杆32端可拆卸的设有第一轴套36，坩埚转动杆32靠近坩埚驱动杆35端可拆卸的设有第二轴套33，所述第一轴套36与第二轴套33卡接，通过坩埚驱动机构带动坩埚转动，以此来使得第一齿轮5盘44转动，从而使得坩埚本体42上的一个穴位孔与蒸发孔43连通，穴位孔的蒸发材料通过蒸发孔43蒸发至真空镀膜设备的带镀膜材料上。
3、坩埚驱动杆35与第一轴套36可拆卸连接，坩埚转动杆32与第二轴套33可拆卸连接，当第一轴套36、第二轴套33损坏时，只需要更换第一轴套36、第二轴套33，而不需要将整个坩埚驱动机构进行更换，节省了成本。
4、进一步的，所述第一轴套36处设有若干个第一卡块37，所述若干个第一卡块37围绕第一轴套36的轴中心间隔设置，所述第二轴套33处设有若干个第二卡块34，所述若干个第而卡块围绕第而轴套的轴中心间隔设置，所述坩埚驱动杆35与坩埚转动杆32连接时，所述第一卡块37位于其对应的相邻的第二卡块34的之间间隙中，使得所述坩埚驱动杆35与坩埚转动杆32卡接，从而能够使得所述坩埚驱动杆35的转动带动坩埚转动杆32转动。
5、进一步的，坩埚驱动杆35与第一轴套36的连接处设有第一平切面39，坩埚转动杆32与第二轴套33的连接处设有第二平切面40，坩埚驱动杆35与第一轴套36在第一平切面39处通过螺丝锁接，坩埚转动杆32与第二轴套33在第二平切面40处通过螺丝锁接，第一平切面39、第二平切面40的设置使得螺丝的锁紧效果更好。
6、进一步的，所述第一卡块37的横截面积小于其对应的相邻的第二卡块34的之间间隙的横截面积，使得所述坩埚驱动杆35与坩埚转动杆32卡接时能够有偏差量，卡接更简单。
7、更进一步的，所述第一卡块37和第二卡块34均为3个，每个所述第一卡块37的横截面积占第一轴套36端面面积的1/12，每个所述第二卡块34的横截面积占第二轴套33端面面积的1/12。
8、进一步的，坩埚转动杆32远离第二轴套33的一端设有第一齿轮5，所述第一齿轮5与第一齿轮5盘44啮合。
9、在一些实施例中，所述内腔包括主腔体1和下沉腔体2，所述下沉腔体2位于主腔体1的底部中心处，所述主腔体1和下沉腔体2相互连通且所述下沉腔体2的体积小于所述主腔体1的体积，所述下沉腔体2的底部中心位置设有蒸发源结构3，所述主腔体1的顶部中心位置设有晶源载体结构4，所述下沉腔体2处开设有外开门6，用于更换或者维修下沉腔体2内的设备，所述蒸发源结构3的底部设有滑动机构，所述滑动机的一端连接外开门6，当外开门6被打开的时候，所述蒸发源结构3随滑动机构向外开门6方向滑动。
10、在一些实施例中，所述蒸发源结构3的底部设有滑动机构，所述滑动机构包括与下沉腔体2底部连接的滑轨机构9以及设置在滑轨机构9上部并与滑轨机构9配合滑动连接的滑块机构12，所述滑块机构12上部安装有蒸发源结构3，所述滑块机构12的一侧端与外开门6连接。
11、在一些实施例中，所述外开门6左右两端设有伸缩拉杆19，当外开门6被打开时，用于外开门6与下沉腔体2的连接。
12、在一些实施例中，主腔体1的晶源载体结构4的下部设有可升降的修正板结构30，可适用于多种工艺的镀膜。
13、在一些实施例中，修正板结构30的下部设有加热灯31，加热灯31设置在主腔体1的侧壁的中间位置，更好的给主腔体1加热。
14、本技术的有益效果：提供一种真空镀膜设备的坩埚旋转机构，包括：真空镀膜设备的内腔的底板，所述内腔的底板处设有蒸发源结构3，所述蒸发源结构3包括坩埚盖板41和坩埚本体42，坩埚驱动杆35与第一轴套36可拆卸连接，坩埚转动杆32与第二轴套33可拆卸连接，当第一轴套36、第二轴套33损坏时，只需要更换第一轴套36、第二轴套33，而不需要将整个坩埚驱动机构进行更换，节省了成本，第一轴套36与第二轴套33卡接，使得所述坩埚驱动杆35与坩埚转动杆32卡接时能够有偏差量，蒸发源结构3的安装和更换更操作更简单。
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1.一种真空镀膜设备的坩埚旋转机构，包括：真空镀膜设备的内腔的底板，所述内腔的底板处设有蒸发源结构(3)，所述蒸发源结构(3)包括坩埚盖板(41)和坩埚本体(42)，所述坩埚盖板(41)设于坩埚本体(42)上方，所述坩埚盖板(41)上设有蒸发孔(43)，所述坩埚本体(42)上均匀设有多个穴位孔，其特征在于：所述坩埚本体(42)下部设有第一齿轮盘(44)，所述内腔的底板靠近第一齿轮盘(44)处设有坩埚转动杆(32)，所述第一齿轮盘(44)与所述坩埚转动杆(32)的一端啮合，所述内腔的底板上连接有坩埚驱动机构，所述坩埚驱动机构包括坩埚驱动杆(35)以及其连接的驱动电机(38)，驱动电机(38)带动坩埚驱动杆(35)转动，坩埚驱动杆(35)靠近坩埚转动杆(32)端可拆卸的设有第一轴套(36)，坩埚转动杆(32)靠近坩埚驱动杆(35)端可拆卸的设有第二轴套(33)，所述第一轴套(36)与第二轴套(33)卡接，通过坩埚驱动机构带动坩埚转动，以此来使得第一齿轮盘(44)转动，从而使得坩埚本体(42)上的一个穴位孔与蒸发孔(43)连通。
2.如权利要求1所述的真空镀膜设备的坩埚旋转
3.如权利要求1所述的真空镀膜设备的坩埚旋转机构，其特征在于，坩埚驱动杆(35)与第一轴套(36)的连接处设有第一平切面(39)，坩埚转动杆(32)与第二轴套(33)的连接处设有第二平切面(40)，坩埚驱动杆(35)与第一轴套(36)在第一平切面(39)处通过螺丝锁接，坩埚转动杆(32)与第二轴套(33)在第二平切面(40)处通过螺丝锁接，第一平切面(39)、第二平切面(40)的设置使得螺丝的锁紧效果更好。
4.如权利要求2所述的真空镀膜设备的坩埚旋转机构，其特征在于，所述第一卡块(37)的横截面积小于其对应的相邻的第二卡块(34)的之间间隙的横截面积，使得所述坩埚驱动杆(35)与坩埚转动杆(32)卡接时能够有偏差量，卡接更简单。
5.如权利要求1所述的真空镀膜设备的坩埚旋转机构，其特征在于，坩埚转动杆(32)远离第二轴套(33)的一端设有第一齿轮(5)，所述第一齿轮(5)与第一齿轮盘(44)啮合。
6.如权利要求1所述的真空镀膜设备的坩埚旋转机构，其特征在于，所述内腔包括主腔体(1)和下沉腔体(2)，所述下沉腔体(2)位于主腔体(1)的底部中心处，所述主腔体(1)和下沉腔体(2)相互连通且所述下沉腔体(2)的体积小于所述主腔体(1)的体积，所述下沉腔体(2)的底部中心位置设有蒸发源结构(3)，所述主腔体(1)的顶部中心位置设有晶源载体结构(4)，所述下沉腔体(2)处开设有外开门(6)，用于更换或者维修下沉腔体(2)内的设备，所述蒸发源结构(3)的底部设有滑动机构，所述滑动机的一端连接外开门(6)，当外开门(6)被打开的时候，所述蒸发源结构(3)随滑动机构向外开门(6)方向滑动。
7.如权利要求1所述的真空镀膜设备的坩埚旋转机构，其特征在于，所述蒸发源结构(3)的底部设有滑动机构，所述滑动机构包括与下沉腔体(2)底部连接的滑轨机构(9)以及设置在滑轨机构(9)上部并与滑轨机构(9)配合滑动连接的滑块机构(12)，所述滑块机构(12)上部安装有蒸发源结构(3)，所述滑块机构(12)的一侧端与外开门(6)连接。
8.如权利要求6所述的真空镀膜设备的坩埚旋转机构，其特征在于，所述外开门(6)左右两端设有伸缩拉杆(19)，当外开门(6)被打开时，用于外开门(6)与下沉腔体(2)的连接。
9.如权利要求6所述的真空镀膜设备的坩埚旋转机构，其特征在于，主腔体(1)的晶源载体结构(4)的下部设有可升降的修正板结构(30)，可适用于多种工艺的镀膜。
10.如权利要求9所述的真空镀膜设备的坩埚旋转机构，其特征在于，修正板结构(30)的下部设有加热灯(31)，加热灯(31)设置在主腔体(1)的侧壁的中间位置，更好的给主腔体(1)加热。
...【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜设备的坩埚旋转机构，包括：真空镀膜设备的内腔的底板，所述内腔的底板处设有蒸发源结构(3)，所述蒸发源结构(3)包括坩埚盖板(41)和坩埚本体(42)，所述坩埚盖板(41)设于坩埚本体(42)上方，所述坩埚盖板(41)上设有蒸发孔(43)，所述坩埚本体(42)上均匀设有多个穴位孔，其特征在于：所述坩埚本体(42)下部设有第一齿轮盘(44)，所述内腔的底板靠近第一齿轮盘(44)处设有坩埚转动杆(32)，所述第一齿轮盘(44)与所述坩埚转动杆(32)的一端啮合，所述内腔的底板上连接有坩埚驱动机构，所述坩埚驱动机构包括坩埚驱动杆(35)以及其连接的驱动电机(38)，驱动电机(38)带动坩埚驱动杆(35)转动，坩埚驱动杆(35)靠近坩埚转动杆(32)端可拆卸的设有第一轴套(36)，坩埚转动杆(32)靠近坩埚驱动杆(35)端可拆卸的设有第二轴套(33)，所述第一轴套(36)与第二轴套(33)卡接，通过坩埚驱动机构带动坩埚转动，以此来使得第一齿轮盘(44)转动，从而使得坩埚本体(42)上的一个穴位孔与蒸发孔(43)连通。
2.如权利要求1所述的真空镀膜设备的坩埚旋转机构，其特征在于，所述第一轴套(36)处设有若干个第一卡块(37)，所述若干个第一卡块(37)围绕第一轴套(36)的轴中心间隔设置，所述第二轴套(33)处设有若干个第二卡块(34)，所述若干个第而卡块围绕第而轴套的轴中心间隔设置，所述坩埚驱动杆(35)与坩埚转动杆(32)连接时，所述第一卡块(37)位于其对应的相邻的第二卡块(34)的之间间隙中，使得所述坩埚驱动杆(35)与坩埚转动杆(32)卡接，从而能够使得所述坩埚驱动杆(35)的转动带动坩埚转动杆(32)转动。
3.如权利要求1所述的真空镀膜设备的坩埚旋转机构，其特征在于，坩埚驱动杆(35)与第一轴套(36)的连接处设有第一平切面(39)，坩埚转动杆(32)与第二轴套(33)的连接处设有第二平切面(40)，坩埚驱动杆(35)与第一轴套(36)在第一平切面(39)处通过螺丝锁接，坩埚转动杆(32)与第二轴套(33)在第二平切面(40)处通过螺丝锁接，第一平切面(39)、第二平切面(40)的设置使得螺丝的锁紧效果更好。
4.如权...
【专利技术属性】
技术研发人员：钱文朔，杜宝胜，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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