本申请提供一种探头的通用性的遮挡结构，遮挡结构设置在顶部防着板的下方，遮挡结构由对称设置的第一遮挡件和第二遮挡件组成，第一遮挡件和第二遮挡件的第一卡条和第二卡条分别与顶部防着板的下表面固定，并且第一卡条和第二卡条分别支撑住第一遮挡件和第二遮挡件的第一抽板和第二抽板，第一抽板和第二抽板能够分别沿着第一卡条和第二卡条移动，第一抽板与第二抽板的内侧边分别设置有第一缺口和第二缺口，第一抽板与第二抽板合拢时，第一缺口与第二缺口合并且合并后的形状及尺寸与探头的底端盖帽相同，使得第一抽板和第二抽板遮挡住第一通孔大于所述底端盖帽的空间。住第一通孔大于所述底端盖帽的空间。住第一通孔大于所述底端盖帽的空间。
【技术实现步骤摘要】
一种探头的通用性的遮挡结构
[0001]本技术涉及真空蒸镀机
，更具体地，涉及一种探头的通用性的遮挡结构。
技术介绍
[0002]真空蒸镀机的探头用于镀膜时检测被镀膜工件的膜厚，具有多个晶振片的探头，一般垂直穿过主腔体的上面板，设置多个晶振片是用于利用马达或者电机自动更换晶振片，可以不用停机就能更换晶振片，多个晶振片全部用完之后再更换，也能提高工作效率。探头结构利用气缸带动连轴器、第一杆体和探头晶振片固定件同步旋转60
°
，底端的盖帽具有一个通孔，盖帽是固定的，探头晶振片固定件旋转之后更换一个新的晶振片与盖帽通孔的位置对应，即更换了新的晶振片开始工作。当所有晶振片都使用完之后，需要一次性的更换所有晶振片，拧开探头底端的盖帽，就能进行更换。我们知道，主腔体内壁上如果覆盖上膜料，膜料积累之后，会脱离形成颗粒释放到腔体中，污染被镀膜工件产品，因此主腔体的顶部、底部和四周都平行设置有防着板，来防止膜料污染主腔体，防着板使用一段时间后能够方便更换。
[0003]探头为了能够检测，探头正下方的防着板需要开通孔，为了手从下向上穿过该通孔拧开探头底端的盖帽，并进行更换所有晶振片的操作空间，防着板通孔的直径要大于探头底端盖帽的直径。那么防着板通孔大于探头底端盖帽的空间，膜料就会通过这个空间覆盖到主腔体的内壁上，主腔体又不好更换，会对被镀膜工件造成污染。为了解决该问题，针对第一种有的探头的下部设置在顶部防着板上方，第二种有的探头的下部垂直穿过顶部防着板通孔，针对这两种情形，分别设计了两种遮挡结构，其中，第一种对应的遮挡结构与防着板的下表面固定，不能应用于第二种的情形，第二种对应的遮挡结构向下凸出于防着板，用于第一种情形白白浪费了主腔体上部的空间，这些遮挡结构均不具有通用性。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于，提供一种探头的通用性的遮挡结构，该遮挡结构具有通用性，适用于探头的下部垂直穿过顶部防着板通孔以及探头的下部设置在顶部防着板上方的两种情形，镀膜时遮挡结构能够遮挡住防着板通孔大于探头盖帽的空间，更换晶振片时，遮挡结构的遮挡件能够移动，方便更换晶振片。
[0005]本申请的探头的通用性的遮挡结构，探头的下部垂直穿过顶部防着板通孔以及探头的下部设置在顶部防着板上方的两种情形都适用，具有通用性。具体的，遮挡结构由对称设置的两个遮挡件组成，两个遮挡件都由卡条和抽板组成，卡条与顶部防着板固定并且能支撑住抽板，抽板能够沿着卡条移动。两个抽板的内侧边都具有半圆形的缺口，两个抽板合拢时，两个缺口合并组成圆形通孔，该圆形通孔的直径与底端盖帽的直径相同或者卡住底端盖帽的侧周壁，遮挡住顶部防着板通孔大于所述底端盖帽的空间。需要更换晶振片时，推动分离两个抽板即可，完全露出防着板通孔，方便更换晶振片。本申请人在此基础上完成了
本申请。
[0006]一种探头的通用性的遮挡结构，所述探头1垂直穿过真空蒸镀机主腔体的上面板2，上面板2的下方设置有顶部防着板3，顶部防着板3具有第一通孔31，第一通孔31设置在探头1的正下方，第一通孔31的直径大于探头1的下部11的直径，所述下部11垂直穿过第一通孔31或者下部11设置在第一通孔31的上方；所述遮挡结构4设置在顶部防着板3的下方，遮挡结构4由对称设置的第一遮挡件41和第二遮挡件42组成，第一遮挡件41和第二遮挡件42的第一卡条411和第二卡条421分别与顶部防着板3的下表面固定，并且第一卡条411和第二卡条421分别支撑住第一遮挡件41和第二遮挡件42的第一抽板412和第二抽板422，第一抽板412和第二抽板422能够分别沿着第一卡条411和第二卡条421移动，第一抽板412与第二抽板422的内侧边分别设置有第一缺口413和第二缺口423，第一抽板412与第二抽板422合拢时，第一缺口413与第二缺口423合并且合并后的形状及尺寸与探头1的底端盖帽111相同，使得第一抽板412和第二抽板422遮挡住第一通孔31大于所述底端盖帽111的空间。
[0007]在一些实施方式中，所述第一遮挡件41与第二遮挡件42对称的水平设置、竖直设置或者倾斜设置。
[0008]在一些实施方式中，所述第一抽板412为矩形板，第一卡条411有两个，两个第一卡条411分别设置在第一抽板412对称的两个侧边并且支撑住第一抽板412，第一缺口413设置在垂直于第一卡条411的第一抽板412的内侧边，第一抽板412的内侧边为靠近探头1轴线的侧边。
[0009]在一些实施方式中，所述第二抽板422为矩形板，第二卡条421有两个，两个第二卡条421分别设置在第二抽板422对称的两个侧边并且支撑住第二抽板422，第二缺口423设置在垂直于第二卡条421的第二抽板422的内侧边，第二抽板422的内侧边为靠近探头1轴线的侧边。
[0010]在一些实施方式中，所述探头1的下部11为圆柱体，第一缺口413和第二缺口423均为半圆形的缺口，第一缺口413为向第一抽板412的外侧边延伸的半圆形缺口，第一抽板412的外侧边对称于第一抽板412的内侧边，第二缺口423为向第二抽板422的外侧边延伸的半圆形缺口，第二抽板422的外侧边对称于第二抽板422的内侧边。
[0011]进一步的，所述第一抽板412与第二抽板422合拢时为第一抽板412与第二抽板422的初始位置，在初始位置时，第一缺口413与第二缺口423合并为圆形通孔，当探头1的下部11垂直穿过顶部防着板3的第一通孔31时，第一缺口413与第二缺口423卡住探头1的底端盖帽111的侧周壁，当探头1的下部11设置在顶部防着板3的上方时，第一缺口413与第二缺口423合并其直径与底端盖帽111的直径相同。
[0012]第一抽板412与第二抽板422在初始位置时，第一缺口413与第二缺口423卡住底端盖帽111或者与底端盖帽111的直径相同，那么第一抽板412与第二抽板422遮挡住第一通孔31大于底端盖帽111的空间，防止膜料通过第一通孔31进入到主腔体的内部。需要更换晶振片时，分别沿着第一卡条411和第二卡条421向外(远离探头1轴线的方向)抽动分离开第一抽板412和第二抽板422，直到完全露出第一通孔31，人手从下向上穿过第一通孔31，拧开底端盖帽111，更换晶振片。镀膜时，分别沿着第一卡条411和第二卡条421向内(靠近探头1轴线的方向)推动合拢第一抽板412和第二抽板422回到初始位置。
[0013]在一些实施方式中，所述第一卡条411和第二卡条421从上至下由水平顶板、垂直
板和水平底板组成，水平底板与顶部防着板3的下表面固定，水平顶板分别向第一抽板412和第二抽板422延伸，使得水平顶板支撑住第一抽板412和第二抽板422、垂直板的空间容纳第一抽板412和第二抽板422的厚度。
[0014]进一步的，所述第一卡条411和第二卡条421的水平底板向远离第一抽板412和第二抽板422的方向延伸，第一抽板412和第二抽板422与顶部防着板3的下表面接触或者不接触。
[0015]在本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种探头的通用性的遮挡结构，所述探头(1)垂直穿过真空蒸镀机主腔体的上面板(2)，上面板(2)的下方设置有顶部防着板(3)，顶部防着板(3)具有第一通孔(31)，第一通孔(31)设置在探头(1)的正下方，第一通孔(31)的直径大于探头(1)的下部(11)的直径，所述下部(11)垂直穿过第一通孔(31)或者下部(11)设置在第一通孔(31)的上方；其特征在于，所述遮挡结构(4)设置在顶部防着板(3)的下方，遮挡结构(4)由对称设置的第一遮挡件(41)和第二遮挡件(42)组成，第一遮挡件(41)和第二遮挡件(42)的第一卡条(411)和第二卡条(421)分别与顶部防着板(3)的下表面固定，并且第一卡条(411)和第二卡条(421)分别支撑住第一遮挡件(41)和第二遮挡件(42)的第一抽板(412)和第二抽板(422)，第一抽板(412)和第二抽板(422)能够分别沿着第一卡条(411)和第二卡条(421)移动，第一抽板(412)与第二抽板(422)的内侧边分别设置有第一缺口(413)和第二缺口(423)，第一抽板(412)与第二抽板(422)合拢时，第一缺口(413)与第二缺口(423)合并且合并后的形状及尺寸与探头(1)的底端盖帽(111)相同，使得第一抽板(412)和第二抽板(422)遮挡住第一通孔(31)大于所述底端盖帽(111)的空间。2.如权利要求1所述的探头的通用性的遮挡结构，其特征在于，所述第一遮挡件(41)与第二遮挡件(42)对称的水平设置、竖直设置或者倾斜设置。3.如权利要求1所述的探头的通用性的遮挡结构，其特征在于，所述第一抽板(412)为矩形板，第一卡条(411)有两个，两个第一卡条(411)分别设置在第一抽板(412)对称的两个侧边并且支撑住第一抽板(412)，第一缺口(413)设置在垂直于第一卡条(411)的第一抽板(412)的内侧边，第一抽板(412)的内侧边为靠近探头(1)轴线的侧边。4.如权利要求1所述的探头的通用性的遮挡结构，其特征在于，所述第二抽板(422)为矩形板，第二卡条(421)有两个，两个第二卡条(421)分别设置在第二抽板(422)对称的两个侧边并且支撑住第二抽板(422)，第二缺口(423)设置在垂直于第二卡条(421)的第二抽板(422)的内侧边，第二抽板(422)的内侧边为靠近探头(1)轴线的侧边。5.如权利要求1所述的探头的通用性的遮挡结构，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：薛蒙晓，钱文朔，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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