【技术实现步骤摘要】
本技术涉及镀膜，更具体地，涉及一种真空镀膜设备的下沉腔体抽拉设备。
技术介绍
1、在蒸发台设备中，蒸发源被加热蒸发，蒸发的气体呈球面状向外扩散。气体扩散到衬底表面时凝结，一段时间后凝结颗粒长大连接形成一层薄膜。衬底被装附在呈球面的载体上，一般来说，衬底载体与蒸发源之间距离越大，衬底上生成的膜厚均匀性越好，衬底载体与蒸发源之间距离越小，衬底上生成膜厚均匀性越差。而衬底载体与蒸发源之间距离越大要求蒸发环境设备的腔体体积越大，腔体体积越大，腔体制作成本越高。
2、因此，现有技术提供一种用于蒸发台设备的小型化腔体，真空腔体尺寸规格有效减小，设备制作成本大幅度降低，例如，中国专利cn213652623u，公开了小型化腔体及蒸发台设备，第一腔体与第二腔体相互配合，蒸发的气体依次经过第二腔体、第一腔体以接力的方式呈球面状向外扩散，来满足扩散尺寸的要求，使得所需真空腔体尺寸规格有效减小，设备内部容积大幅度降低，从而使得真空泵抽气能力要求有效降低，抽气所需时间及破真空所需时间大幅度减小，设备制作成本大幅度降低。
3、然而，由于第二腔体的体积小于第一腔体的体积且第二腔体又比较深，那么如果蒸发源等设置在第二腔体的设备需要更换或者添料时，由于空间的限制，操作难度会增大。
4、再者，如果根据上述情况设计抽拉的下沉腔体设备，蒸发源结构的接线和/或接管接在下沉腔体的底部，每次打开外开门的时候，接线和/或接管会与下沉腔体的底部发生位移而产生摩擦，从而导致短路。
5、有鉴于此，本技术提供一种真空镀膜设备的下沉腔体抽
技术实现思路
1、本技术的目的在于，提供一种真空镀膜设备的下沉腔体抽拉设备，包括主腔体1和下沉腔体2，主腔体1和下沉腔体2相互配合，蒸发的气体依次经过主腔体1和下沉腔体2，以接力的方式呈球面状向外扩散，来满足扩散尺寸的要求，使得所需真空腔体尺寸规格有效减小，设备内部容积大幅度降低，所述下沉腔体2处开设有外开门6，便于蒸发源等设置在第二腔体的设备的更换或者添料，所述蒸发源结构3的底部设有滑动机构，所述滑动机的一端连接外开门6，当外开门6被打开的时候，所述蒸发源结构3随滑动机构滑动，外开门6为一个开口朝下沉腔体2的凹型腔体结构26，所述外开门6的底部设有多个外接孔27，蒸发源结构3的接线和/或接管穿过外接孔27与外界的接线和/或接管连接，蒸发源结构3的接线和/或接管和坩埚能保持相对的静止，避免开拉门后对蒸发源结构3的接线和/或接管造成不良影响。
2、一种真空镀膜设备的下沉腔体抽拉设备，包括主腔体1和下沉腔体2，所述下沉腔体2位于主腔体1的底部中心处，所述主腔体1和下沉腔体2相互连通且所述下沉腔体2的体积小于所述主腔体1的体积，所述下沉腔体2的底部中心位置设有蒸发源结构3，所述主腔体1的顶部中心位置设有晶源载体结构4，其特征在于：所述下沉腔体2处开设有外开门6，用于更换或者维修下沉腔体2内的设备，所述蒸发源结构3的底部设有滑动机构，所述滑动机的一端连接外开门6，当外开门6被打开的时候，所述蒸发源结构3随滑动机构向外开门6方向滑动，外开门6为一个开口朝下沉腔体2的凹型腔体结构26，所述外开门6的底部设有多个外接孔27，蒸发源结构3的接线和/或接管穿过外接孔27与外界的接线和/或接管连接，避免了每次打开外开门6的时候，接线和/或接管会与下沉腔体2的底部发生位移而产生摩擦，从而导致短路，将外开门6设置成一个凹型腔体结构26，蒸发源结构3的接线和/或接管和坩埚能保持相对的静止，避免开拉门后对蒸发源结构3的接线和/或接管造成不良影响。
3、在一些实施例中，所述滑动机构包括与下沉腔体2底部连接的滑轨机构9以及设置在滑轨机构9上部并与滑轨机构9配合滑动连接的滑块机构12，所述滑块机构12上部安装有蒸发源结构3，所述滑块机构12的一侧端与外开门6连接。
4、在一些实施例中，所述外开门6左右两端设有伸缩拉杆19，当外开门6被打开时，用于外开门6与下沉腔体2的连接。
5、进一步的，所述伸缩拉杆19的一端转动连接下沉腔体2的上部，另一端转动连接外开门6的下部，从而对外开门6起到向上拉伸的作用，以此来承受外开门6处的重力。
6、进一步的，伸缩拉杆19包括第一拉杆20和第二拉杆21，所述第一拉杆20为双层拉杆且两个拉杆之间设有间隙，所述第二拉杆21置于第一拉杆20的间隙处，所述第二拉杆21的本体设有腰型孔22，所述第一拉杆20通过螺丝穿过所述腰型孔22与第二拉杆21连接，使得第二拉杆21能够在第一拉杆20的间隙中移动，以此起到伸缩的作用。
7、进一步的，外开门6的两侧均设有锁键机构23，用于外开门6与下沉腔体2的锁接。
8、进一步的，锁键机构23包括锁块24以及锁块24配合的肘夹25，所述肘夹25安装在下沉腔体2的外壁，所述锁块24安装在外开门6的侧面，通过肘夹25与锁块24配合连接使得外开门6与下沉腔体2的锁接。
9、进一步的，外开门6的一侧设有进水口，另一侧设有出水口，用于外接冷却水。
10、进一步的，外开门6上设有把手28，用于方便开或者关外开门6。
11、进一步的，外开门6上设有可视机构29，用于观察下沉腔体2内部的蒸发源结构3的工作情况。
12、本技术的有益效果：提供一种真空镀膜设备的下沉腔体抽拉设备，包括主腔体1和下沉腔体2，主腔体1和下沉腔体2相互配合，蒸发的气体依次经过主腔体1和下沉腔体2，以接力的方式呈球面状向外扩散，来满足扩散尺寸的要求，使得所需真空腔体尺寸规格有效减小，设备内部容积大幅度降低，所述下沉腔体2处开设有外开门6，当外开门6被打开的时候，所述蒸发源结构3随滑动机构向外开门6方向滑动，便于蒸发源等设置在第二腔体的设备的更换或者添料，外开门6为一个开口朝下沉腔体2的凹型腔体结构26，所述外开门6的底部设有多个外接孔27，蒸发源结构3的接线和/或接管穿过外接孔27与外界的接线和/或接管连接，蒸发源结构3的接线和/或接管和坩埚能保持相对的静止，避免开拉门后对蒸发源结构3的接线和/或接管造成不良影响。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种真空镀膜设备的下沉腔体抽拉设备，包括主腔体(1)和下沉腔体(2)，所述下沉腔体(2)位于主腔体(1)的底部中心处，所述主腔体(1)和下沉腔体(2)相互连通且所述下沉腔体(2)的体积小于所述主腔体(1)的体积，所述下沉腔体(2)的底部中心位置设有蒸发源结构(3)，所述主腔体(1)的顶部中心位置设有晶源载体结构(4)，其特征在于：所述下沉腔体(2)处开设有外开门(6)，用于更换或者维修下沉腔体(2)内的设备，所述蒸发源结构(3)的底部设有滑动机构，所述滑动机的一端连接外开门(6)，当外开门(6)被打开的时候，所述蒸发源结构(3)随滑动机构向外开门(6)方向滑动，外开门(6)为一个开口朝下沉腔体(2)的凹型腔体结构(26)，所述外开门(6)的底部设有多个外接孔(27)，蒸发源结构(3)的接线和/或接管穿过外接孔(27)与外界的接线和/或接管连接。
2.如权利要求1所述的真空镀膜设备的下沉腔体抽拉设备，其特征在于，所述滑动机构包括与下沉腔体(2)底部连接的滑轨机构(9)以及设置在滑轨机构(9)上部并与滑轨机构(9)配合滑动连接的滑块机构(12)，所述滑块机构(12)上
3.如权利要求1所述的真空镀膜设备的下沉腔体抽拉设备，其特征在于，所述外开门(6)左右两端设有伸缩拉杆(19)，当外开门(6)被打开时，用于外开门(6)与下沉腔体(2)的连接。
4.如权利要求3所述的真空镀膜设备的下沉腔体抽拉设备，其特征在于，所述伸缩拉杆(19)的一端转动连接下沉腔体(2)的上部，另一端转动连接外开门(6)的下部，从而对外开门(6)起到向上拉伸的作用，以此来承受外开门(6)处的重力。
5.如权利要求3所述的真空镀膜设备的下沉腔体抽拉设备，其特征在于，伸缩拉杆(19)包括第一拉杆(20)和第二拉杆(21)，所述第一拉杆(20)为双层拉杆且两个拉杆之间设有间隙，所述第二拉杆(21)置于第一拉杆(20)的间隙处，所述第二拉杆(21)的本体设有腰型孔(22)，所述第一拉杆(20)通过螺丝穿过所述腰型孔(22)与第二拉杆(21)连接，使得第二拉杆(21)能够在第一拉杆(20)的间隙中移动，以此起到伸缩的作用。
6.如权利要求1所述的真空镀膜设备的下沉腔体抽拉设备，其特征在于，外开门(6)的两侧均设有锁键机构(23)，用于外开门(6)与下沉腔体(2)的锁接。
7.如权利要求1所述的真空镀膜设备的下沉腔体抽拉设备，其特征在于，外开门(6)包括锁块(24)以及锁块(24)配合的肘夹(25)，所述肘夹(25)安装在下沉腔体(2)的外壁，所述锁块(24)安装在外开门(6)的侧面，通过肘夹(25)与锁块(24)配合连接使得外开门(6)与下沉腔体(2)的锁接。
8.如权利要求1所述的真空镀膜设备的下沉腔体抽拉设备，其特征在于，外开门(6)上设有把手(28)，用于方便开或者关外开门(6)。
9.如权利要求1所述的真空镀膜设备的下沉腔体抽拉设备，其特征在于，外开门(6)上设有可视机构(29)，用于观察下沉腔体(2)内部的蒸发源结构(3)的工作情况。
...【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜设备的下沉腔体抽拉设备，包括主腔体(1)和下沉腔体(2)，所述下沉腔体(2)位于主腔体(1)的底部中心处，所述主腔体(1)和下沉腔体(2)相互连通且所述下沉腔体(2)的体积小于所述主腔体(1)的体积，所述下沉腔体(2)的底部中心位置设有蒸发源结构(3)，所述主腔体(1)的顶部中心位置设有晶源载体结构(4)，其特征在于：所述下沉腔体(2)处开设有外开门(6)，用于更换或者维修下沉腔体(2)内的设备，所述蒸发源结构(3)的底部设有滑动机构，所述滑动机的一端连接外开门(6)，当外开门(6)被打开的时候，所述蒸发源结构(3)随滑动机构向外开门(6)方向滑动，外开门(6)为一个开口朝下沉腔体(2)的凹型腔体结构(26)，所述外开门(6)的底部设有多个外接孔(27)，蒸发源结构(3)的接线和/或接管穿过外接孔(27)与外界的接线和/或接管连接。
2.如权利要求1所述的真空镀膜设备的下沉腔体抽拉设备，其特征在于，所述滑动机构包括与下沉腔体(2)底部连接的滑轨机构(9)以及设置在滑轨机构(9)上部并与滑轨机构(9)配合滑动连接的滑块机构(12)，所述滑块机构(12)上部安装有蒸发源结构(3)，所述滑块机构(12)的一侧端与外开门(6)连接。
3.如权利要求1所述的真空镀膜设备的下沉腔体抽拉设备，其特征在于，所述外开门(6)左右两端设有伸缩拉杆(19)，当外开门(6)被打开时，用于外开门(6)与下沉腔体(2)的连接。
4.如权利要求3所述的真空镀膜设备的下沉腔体抽拉设备，其特征在于，所述伸缩拉杆(19)的...
【专利技术属性】
技术研发人员：钱文朔，杜宝胜，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。