一种基片可翻面的镀锅结构制造技术

本申请提供一种基片可翻面的镀锅结构，镀锅结构的镀锅主体与贯穿主腔体上面板的回转轴固定；镀锅主体上具有通孔，通孔内设置有翻转件，翻转件用于固定基片并且能够相对于通孔旋转，触手与主腔体的面板固定，镀锅主体旋转时触手能够拨动翻转件翻面；通孔的左右侧边设置有限位凹槽、前后两边设置有沉头孔，其中一个沉头孔内设置有弹簧，翻转件的翻转主体的侧边设置有一个凸台、前后两边设置有连接轴，其中一个连接轴上设置有向斜上方延伸的翻转杆，触手能够拨动翻转杆使得翻转件旋转，限位凹槽用于支撑着凸台，使得翻转件稳定并且每次旋转180

【技术实现步骤摘要】
一种基片可翻面的镀锅结构


[0001]本技术涉及镀膜
，更具体地，涉及一种基片可翻面的镀锅结构。

技术介绍

[0002]真空蒸镀机等镀膜设备用于给物体/基片的表面进行物理气相沉积的镀膜，基片通过镀锅固定，在主腔体的内部设置一个或多个镀锅，镀锅会进行公转或者行星转的转动，增加镀膜的均匀性。一般的镀锅，如中国专利CN215404475，公开了一种真空镀膜机的通用型镀锅，其镀锅固定的基片，在镀膜的过程中是不能翻面的，如果基片需要双面镀膜，在一面完成镀膜之后，停机取下镀锅，将基片一个一个的翻面再固定，安装上镀锅再进行另一面的镀膜。
[0003]因此，现有技术设计了在镀膜的过程中，基片可以自动翻面的镀锅机构，例如，中国专利CN208980788U，公开了可翻转双面镀膜机构，旋转机构40(电机)带动伞架10公转旋转，挡块组件20与翻转夹具30接触时，能够拨动翻转夹具30旋转翻面，翻转夹具30上固定有多个基片。但是，由于镀锅高速旋转，翻转夹具容易翻转过度，其限位柱12的限位作用并不明显。而限位作用明显的设计，由于翻转夹具翻转的速度快，其限位结构与镀锅主体的惯性撞击力度大，基片产生振动、抖动甚至脱落，并且翻转夹具相对于镀锅主体的径向也会产生振动，影响镀膜效果。
[0004]有鉴于此，本技术提供一种基片可翻面的镀锅结构，翻转件翻面的过程平稳，翻转件的振动和抖动小，镀膜效果好。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于，提供一种基片可翻面的镀锅结构，翻转件翻面的过程平稳，翻转件的振动和抖动小，镀膜效果好。
[0006]本申请的基片可翻面的镀锅结构，在镀锅主体的通孔上设计了翻转件，翻转件与触手配合，实现翻转件的翻面旋转。其中，第一方面，通孔11的左右侧边设置有限位凹槽111，翻转主体21的侧边设置有一个凸台23，限位凹槽111用于支撑着凸台23，使得翻转件2稳定并且每次旋转180
°
。第二方面，弹簧22的一端在连接轴内、另一端在沉头孔内，实现可拆卸的固定，弹簧抵住沉头孔为翻转件提供径向固定的作用力，使得翻转件在转动的同时，没有径向的位移/抖动；并且，翻转件快速翻转的惯性撞击力大，弹簧的设计减缓了翻转件的快速下落，起到一定的缓冲作用。第三方面，翻转杆设计为V型、X型或十字型，触手拨动翻转杆使得翻转主体翻转的同时，在翻转主体从垂直状态惯性向下下落时，触手给另一个翻转杆的杆体支撑力，减缓了翻转件的下落速度，降低凸台与镀锅主体的惯性撞击和振动。本申请人在此基础上完成了本申请。
[0007]一种基片可翻面的镀锅结构，所述镀锅结构位于主腔体内的上部，镀锅结构的镀锅主体1与贯穿主腔体上面板的回转轴固定，回转轴用于动能传递带动镀锅主体1旋转；所述镀锅主体1上具有通孔11，通孔11内设置有翻转件2，翻转件2用于固定基片并且能够相对
于通孔11旋转，触手3与主腔体的面板固定，镀锅主体1旋转时触手3能够拨动翻转件2翻面；通孔11的左右侧边设置有限位凹槽111、前后两边设置有沉头孔112，其中一个沉头孔112内设置有弹簧22，翻转件2的翻转主体21的侧边设置有一个凸台23、前后两边设置有连接轴24，其中一个连接轴24上设置有向斜上方延伸的翻转杆25，触手3能够拨动翻转杆25使得翻转件2旋转，限位凹槽111用于支撑着凸台23，使得翻转件2稳定并且每次旋转180
°
，连接轴24的端部能够进入沉头孔112内，使得翻转件2可拆卸的固定。
[0008]在一些实施方式中，所述镀锅主体1为圆形板或者为伞面形状，通孔11和翻转件2有多个，一个通孔11内设置一个翻转件2，通孔11和翻转件2均匀设置在镀锅主体1上。
[0009]进一步的，所述通孔11和翻转件2沿着镀锅主体1的周缘均匀设置，通孔11与翻转件2的形状和尺寸相对应匹配，通孔11和翻转件2为圆形、矩形或椭圆形。
[0010]在一些实施方式中，所述限位凹槽111的长度和宽度大于凸台23，凸台23的下表面与限位凹槽111接触时，翻转件2为水平。
[0011]在一些实施方式中，第一个沉头孔112为向着靠近镀锅主体1的中心延伸的中空腔(凹孔)，该沉头孔112的直径小于镀锅主体1的厚度；第二个沉头孔112的前部为从上向下的凹槽、后部为向着远离镀锅主体1的中心延伸的中空腔，该后部内设置有弹簧22，该后部的长度小于弹簧22的长度。
[0012]进一步的，与第一个沉头孔112匹配的第一个连接轴24为台阶状，第一个连接轴24前部的直径小于后部的直径，第一个连接轴24的前部完全设置在第一个沉头孔112内，第一个连接轴24的后部抵住镀锅主体1；与第二个沉头孔112匹配的第二个连接轴24，具有从后端面向前延伸的中空腔，该中空腔内用于容纳弹簧22，第二个连接轴24设置在第二个沉头孔112的前部。
[0013]如果没有弹簧22的设计，为了保证翻转件2的旋转，翻转件2与镀锅主体1之间有间隙，由于翻转件2翻面的惯性撞击和振动，翻转件2存在径向的位移/抖动，影响镀膜效果。本申请在可拆卸固定的同时，弹簧22的一端在连接轴24内、另一端在沉头孔112内，弹簧22抵住沉头孔112为翻转件2提供径向固定的作用力，使得翻转件2在转动的同时，没有径向的位移/抖动。并且，翻转件2快速翻转的惯性撞击力大，弹簧22的设计减缓了翻转件2的快速下落，起到一定的缓冲作用。
[0014]进一步的，翻转主体21与第二个沉头孔112之间具有间隙，该间隙处设置有翻转杆25，翻转杆25与第二个连接轴24固定，翻转杆25为V型、X型或十字型。
[0015]进一步的，所述翻转杆25为圆柱体形或者条形，翻转主体21水平时，翻转杆25的一半杆体凸出于翻转主体21的上表面、另一半杆体凸出于翻转主体21的下表面。
[0016]翻转杆25设计为V型、X型或十字型，以V型为例，触手3拨动翻转杆25的其中一个杆体使得翻转主体21从水平状态到垂直状态，翻转主体21从垂直状态惯性向下下落时，触手3给另一个杆体一定的支撑力，减缓了翻转件的下落速度，从而降低翻转主体21的凸台23与镀锅主体1的惯性撞击和振动。
[0017]在一些实施方式中，所述翻转主体21的中部具有一个或多个台阶通孔26，台阶通孔26上能够放置基片，台阶通孔26与基片下表面的周缘接触，在基片的上表面放置压环27，压环27压住基片上表面的周缘，压环27的实体厚度与台阶通孔26凸出的台阶的宽度相同。
[0018]进一步的，翻转主体21的上表面用螺丝固定有多个压条28,压条28的首端压住压
环27，使得基片固定在翻转主体21内，拧松螺丝压条28能够旋转，使得能够取下基片。
[0019]在一些实施方式中，所述触手3贯穿主腔体的上面板或者侧面板，触手3能够上下移动、旋转或者沿着主腔体的径向运动，触手3的尾端能够与翻转杆25接触。
[0020]当需要将基片翻面时，移动或者转动触手3使得触手3的尾端能够与翻转杆25接触，由于镀锅主体1在旋转，触手3拨动翻转杆25使得翻转本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基片可翻面的镀锅结构，所述镀锅结构位于主腔体内的上部，镀锅结构的镀锅主体(1)与贯穿主腔体上面板的回转轴固定，回转轴用于动能传递带动镀锅主体(1)旋转；其特征在于，所述镀锅主体(1)上具有通孔(11)，通孔(11)内设置有翻转件(2)，翻转件(2)用于固定基片并且能够相对于通孔(11)旋转，触手(3)与主腔体的面板固定，镀锅主体(1)旋转时触手(3)能够拨动翻转件(2)翻面；通孔(11)的左右侧边设置有限位凹槽(111)、前后两边设置有沉头孔(112)，其中一个沉头孔(112)内设置有弹簧(22)，翻转件(2)的翻转主体(21)的侧边设置有一个凸台(23)、前后两边设置有连接轴(24)，其中一个连接轴(24)上设置有向斜上方延伸的翻转杆(25)，触手(3)能够拨动翻转杆(25)使得翻转件(2)旋转，限位凹槽(111)用于支撑着凸台(23)，使得翻转件(2)稳定并且每次旋转180
°
，连接轴(24)的端部能够进入沉头孔(112)内，使得翻转件(2)可拆卸的固定。2.如权利要求1所述的基片可翻面的镀锅结构，其特征在于，所述镀锅主体(1)为圆形板或者为伞面形状，通孔(11)和翻转件(2)有多个，一个通孔(11)内设置一个翻转件(2)，通孔(11)和翻转件(2)均匀设置在镀锅主体(1)上。3.如权利要求2所述的基片可翻面的镀锅结构，其特征在于，所述通孔(11)和翻转件(2)沿着镀锅主体(1)的周缘均匀设置，通孔(11)与翻转件(2)的形状和尺寸相对应匹配，通孔(11)和翻转件(2)为圆形、矩形或椭圆形。4.如权利要求1所述的基片可翻面的镀锅结构，其特征在于，所述限位凹槽(111)的长度和宽度大于凸台(23)，凸台(23)的下表面与限位凹槽(111)接触时，翻转件(2)为水平。5.如权利要求4所述的基片可翻面的镀锅结构，其特征在于，第一个沉头孔(112)为向着靠近镀锅主体(1)的中心延伸的...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛蒙晓，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：