一种真空镀膜机的单主阀结构制造技术

本申请提出一种真空镀膜机的单主阀结构，包括真空蒸镀机的主腔体，所述主腔体后端设有与主阀相通的单主阀腔体，在保证主阀的总容积相同的情况下，主阀的的外部占有空间减小，所述单主阀腔体下端设有两个冷泵机构，用于对单主阀腔体进行精抽真空，在其中一个抽真空泵损坏的情况下，另外一个抽真空泵在一个相对较大的容积空间内抽真空的时间将大大的节约，所述单主阀腔体与两个冷泵机构的连接处均设有闷板，用于对单主阀腔体与冷泵机构隔开，使得其相互独立，所述单主阀腔体的上端连接有罗茨泵机构，用于对单主阀腔体进行粗抽真空。用于对单主阀腔体进行粗抽真空。用于对单主阀腔体进行粗抽真空。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的单主阀结构


[0001]本技术涉及真空蒸镀机
，更具体地，涉及一种真空镀膜机的单主阀结构。

技术介绍

[0002]真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发膜料并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。在镀膜的过程中，需要先对真空蒸镀机的主腔体内抽真空，先进行初抽再进行精抽，主腔体与主阀连接，主阀内设置有抽真空泵用于精抽。
[0003]现有的中国专利CN217997299U公开了一种具有双主阀结构的真空蒸镀机，设计有两个主阀，一个主阀内分别设置有一个抽真空泵，每个主阀分别与一个冷泵连接，也分别与粗抽泵通过管道连接，由于两个主阀是相互独立的，当一个主阀连接的抽真空泵损坏的情况下，另一个主阀的抽真空泵抽真空，那么在一个狭小的容积空间内容纳的空气是一定的，故而，需要的抽真空时间将会大大的增加，同时，由于其申请的两个主阀为向外突出的两个主阀，因此，主阀的外部占有空间相对会比较大。
[0004]有鉴于此，本技术提供一种真空镀膜机的单主阀结构，在保证主阀的总容积相本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的单主阀结构，包括真空蒸镀机的主腔体(1)，其特征在于：所述主腔体(1)后端设有与主阀相通的单主阀腔体(2)，所述单主阀腔体(2)下端设有两个冷泵机构(3)，用于对单主阀腔体(2)进行精抽真空，所述单主阀腔体(2)与两个冷泵机构(3)的连接处均设有闷板(4)，用于对单主阀腔体(2)与冷泵机构(3)隔开，使得其相互独立，所述单主阀腔体(2)的上端连接有罗茨泵机构(5)，用于对单主阀腔体(2)进行粗抽真空。2.如权利要求1所述的真空镀膜机的单主阀结构，其特征在于，所述闷板(4)与升降气缸(6)连接，所述升降气缸(6)包括升降气缸(6)本体以及升降气缸(6)本体连接的气缸轴(62)，所述升降气缸(6)本体位于单主阀腔体(2)的顶部且与单主阀腔体(2)的顶部固定连接，所述气缸轴(62)穿过单主阀腔体(2)的顶部与所述闷板(4)连接。3.如权利要求2所述的真空镀膜机的单主阀结构，其特征在于，所述气缸轴(62)的下端设有卡槽(61)，所述卡槽(61)与卡接块(63)的中部卡接，所述卡接块(63)置于所述闷板(4)顶部且与闷板(4)可拆卸连接。4.如权利要求3所述的真空镀膜机的单主阀结构，其特征在于，所述卡接块(63)包括第一子卡接块(631)和第二子卡接块(632)，所述第一子卡接块(631)和第二子卡接块(632)相对设置，所述第一子卡接块(631)和第二子卡接块(632)靠近气缸轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：嵇海瑞，杜宝胜，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：