一种真空镀膜机的单主阀结构制造技术

本申请提出一种真空镀膜机的单主阀结构，包括真空蒸镀机的主腔体，所述主腔体后端设有与主阀相通的单主阀腔体，在保证主阀的总容积相同的情况下，主阀的的外部占有空间减小，所述单主阀腔体下端设有两个冷泵机构，用于对单主阀腔体进行精抽真空，在其中一个抽真空泵损坏的情况下，另外一个抽真空泵在一个相对较大的容积空间内抽真空的时间将大大的节约，所述单主阀腔体与两个冷泵机构的连接处均设有闷板，用于对单主阀腔体与冷泵机构隔开，使得其相互独立，所述单主阀腔体的上端连接有罗茨泵机构，用于对单主阀腔体进行粗抽真空。用于对单主阀腔体进行粗抽真空。用于对单主阀腔体进行粗抽真空。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的单主阀结构


[0001]本技术涉及真空蒸镀机
，更具体地，涉及一种真空镀膜机的单主阀结构。

技术介绍

[0002]真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发膜料并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。在镀膜的过程中，需要先对真空蒸镀机的主腔体内抽真空，先进行初抽再进行精抽，主腔体与主阀连接，主阀内设置有抽真空泵用于精抽。
[0003]现有的中国专利CN217997299U公开了一种具有双主阀结构的真空蒸镀机，设计有两个主阀，一个主阀内分别设置有一个抽真空泵，每个主阀分别与一个冷泵连接，也分别与粗抽泵通过管道连接，由于两个主阀是相互独立的，当一个主阀连接的抽真空泵损坏的情况下，另一个主阀的抽真空泵抽真空，那么在一个狭小的容积空间内容纳的空气是一定的，故而，需要的抽真空时间将会大大的增加，同时，由于其申请的两个主阀为向外突出的两个主阀，因此，主阀的外部占有空间相对会比较大。
[0004]有鉴于此，本技术提供一种真空镀膜机的单主阀结构，在保证主阀的总容积相同的情况下，主阀的的外部占有空间减小，同时，在其中一个抽真空泵损坏的情况下，另外一个抽真空泵在一个相对较大的容积空间内抽真空的时间将大大的节约。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于，提供一种真空镀膜机的单主阀结构，在保证主阀的总容积相同的情况下，主阀的的外部占有空间减小，同时，在其中一个抽真空泵损坏的情况下，另外一个抽真空泵在一个相对较大的容积空间内抽真空的时间将大大的节约。
[0006]本申请提出一种真空镀膜机的单主阀结构，包括真空蒸镀机的主腔体1，所述主腔体1后端设有与主阀相通的单主阀腔体2，在保证主阀的总容积相同的情况下，主阀的的外部占有空间减小，所述单主阀腔体2下端设有两个冷泵机构3，用于对单主阀腔体2进行精抽真空，在其中一个抽真空泵损坏的情况下，另外一个抽真空泵在一个相对较大的容积空间内抽真空的时间将大大的节约，所述单主阀腔体2与两个冷泵机构3的连接处均设有闷板4，用于对单主阀腔体2与冷泵机构3隔开，使得其相互独立，所述单主阀腔体2的上端连接有罗茨泵机构5，用于对单主阀腔体2进行粗抽真空。
[0007]一种真空镀膜机的单主阀结构，包括真空蒸镀机的主腔体1，其特征在于：所述主腔体1后端设有与主阀相通的单主阀腔体2，所述单主阀腔体2下端设有两个冷泵机构3，用于对单主阀腔体2进行精抽真空，所述单主阀腔体2与两个冷泵机构3的连接处均设有闷板4，用于对单主阀腔体2与冷泵机构3隔开，使得其相互独立，所述单主阀腔体2的上端连接有罗茨泵机构5，用于对单主阀腔体2进行粗抽真空。
[0008]首先，使用罗茨泵机构5对单主阀腔体2进行粗抽真空，直到单主阀腔体2的压力与
冷泵机构3处的压力相同，打开闷板4，使用冷泵机构3对单主阀腔体2进行精抽真空。
[0009]在一些实施方式中，所述闷板4与升降气缸6连接，所述升降气缸6包括升降气缸6本体以及升降气缸6本体连接的气缸轴62，所述升降气缸6本体位于单主阀腔体2的顶部且与单主阀腔体2的顶部固定连接，所述气缸轴62穿过单主阀腔体2的顶部与所述闷板4连接。
[0010]进一步的，所述气缸轴62的下端设有卡槽61，所述卡槽61与卡接块63的中部卡接，所述卡接块63置于所述闷板4顶部且与闷板4可拆卸连接。
[0011]进一步的，所述卡接块63包括第一子卡接块631和第二子卡接块632，所述第一子卡接块631和第二子卡接块632相对设置，所述第一子卡接块631和第二子卡接块632靠近气缸轴62处均设有向外凸的卡台633，所述卡台633为弧形结构，使得卡台633与卡槽61匹配连接。
[0012]进一步的，所述闷板4的顶部对称设置有把手634，便于维修时取出闷板4。
[0013]在一些实施方式中，所述冷泵机构3的上部均设有冷泵腔体31，当闷板4上升时，冷泵腔体31与单主阀腔体2相连通。
[0014]进一步的，所述冷泵腔体31的直径小于闷板4的外直径，使得在粗抽真空的时候，闷板4能够使得冷泵腔体31与单主阀腔体2是独立的腔室。
[0015]在一些实施方式中，所述单主阀腔体2和主腔体1的连接处设有连接斜板7，连接斜板7可以使得气缸轴62的行程缩短同时对于流入单主阀腔体2的空气起到导向作用。
[0016]进一步的，所述单主阀腔体2的底部设有支撑柱8，整个的单主阀腔体2相对于两个主阀腔体的单个主阀腔体来说，质量还是有所增加的，使用支撑柱8可以对单主阀腔体2起到支撑作用。
[0017]进一步的，所述单主阀腔体2的外侧壁设有若干个检修口9，方便对单主阀腔体2进行检修。
[0018]本技术的有益效果：本申请提出一种真空镀膜机的单主阀结构，包括真空蒸镀机的主腔体1，所述主腔体1后端设有与主阀相通的单主阀腔体2，在保证主阀的总容积相同的情况下，主阀的的外部占有空间减小，所述单主阀腔体2下端设有两个冷泵机构3，用于对单主阀腔体2进行精抽真空，在其中一个抽真空泵损坏的情况下，另外一个抽真空泵在一个相对较大的容积空间内抽真空的时间将大大的节约，所述单主阀腔体2与两个冷泵机构3的连接处均设有闷板4，用于对单主阀腔体2与冷泵机构3隔开，使得其相互独立，所述单主阀腔体2的上端连接有罗茨泵机构5，用于对单主阀腔体2进行粗抽真空。
附图说明
[0019]图1为本申请的真空镀膜机的单主阀结构的整体结构示意图。
[0020]图2为本申请的真空镀膜机的单主阀结构的局部结构示意图。
[0021]图3为本申请的真空镀膜机的单主阀结构的冷泵机构与升降气缸连接的结构示意图。
[0022]图4为本申请的真空镀膜机的单主阀结构的升降气缸和第一子卡接块的爆炸图。
[0023]主要元件符号说明：
[0024]主腔体1、单主阀腔体2、冷泵机构3、冷泵腔体31、闷板4、罗茨泵机构5、升降气缸6、卡槽61、气缸轴62、卡接块63、第一子卡接块631、第二子卡接块632、卡台633、把手634、连接
斜板7、支撑柱8、检修口9。
具体实施方式
[0025]描述以下实施例以辅助对本申请的理解，实施例不是也不应当以任何方式解释为限制本申请的保护范围。
[0026]在以下描述中，本领域的技术人员将认识到，在本论述的全文中，组件可描述为单独的功能单元(可包括子单元)，但是本领域的技术人员将认识到，各种组件或其部分可划分成单独组件，或者可整合在一起(包括整合在单个的系统或组件内)。同时，组件或系统之间的连接并不旨在限于直接连接。相反，在这些组件之间的数据可由中间组件修改、重格式化、或以其它方式改变。另外，可使用另外或更少的连接。还应注意，术语“联接”、“连接”、或“输入”“固定”应理解为包括直接连接、通过一个或多个中间媒介来进行的间接的连接或固定。
[0027]在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的单主阀结构，包括真空蒸镀机的主腔体(1)，其特征在于：所述主腔体(1)后端设有与主阀相通的单主阀腔体(2)，所述单主阀腔体(2)下端设有两个冷泵机构(3)，用于对单主阀腔体(2)进行精抽真空，所述单主阀腔体(2)与两个冷泵机构(3)的连接处均设有闷板(4)，用于对单主阀腔体(2)与冷泵机构(3)隔开，使得其相互独立，所述单主阀腔体(2)的上端连接有罗茨泵机构(5)，用于对单主阀腔体(2)进行粗抽真空。2.如权利要求1所述的真空镀膜机的单主阀结构，其特征在于，所述闷板(4)与升降气缸(6)连接，所述升降气缸(6)包括升降气缸(6)本体以及升降气缸(6)本体连接的气缸轴(62)，所述升降气缸(6)本体位于单主阀腔体(2)的顶部且与单主阀腔体(2)的顶部固定连接，所述气缸轴(62)穿过单主阀腔体(2)的顶部与所述闷板(4)连接。3.如权利要求2所述的真空镀膜机的单主阀结构，其特征在于，所述气缸轴(62)的下端设有卡槽(61)，所述卡槽(61)与卡接块(63)的中部卡接，所述卡接块(63)置于所述闷板(4)顶部且与闷板(4)可拆卸连接。4.如权利要求3所述的真空镀膜机的单主阀结构，其特征在于，所述卡接块(63)包括第一子卡接块(631)和第二子卡接块(632)，所述第一子卡接块(631)和第二子卡接块(632)相对设置，所述第一子卡接块(631)和第二子卡接块(632)靠近气缸轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：嵇海瑞，杜宝胜，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：