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本申请提出一种真空镀膜机的单主阀结构，包括真空蒸镀机的主腔体，所述主腔体后端设有与主阀相通的单主阀腔体，在保证主阀的总容积相同的情况下，主阀的的外部占有空间减小，所述单主阀腔体下端设有两个冷泵机构，用于对单主阀腔体进行精抽真空，在其中一个抽...
该专利属于苏州佑伦真空设备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州佑伦真空设备科技有限公司授权不得商用。

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