一种试验型真空蒸镀机制造技术

本发明专利技术公开了一种试验型真空蒸镀机，属于真空蒸镀机技术领域，本发明专利技术包括机壳，所述机壳的左端安装有闸阀，且机壳的内部下端固定连接有坩埚，所述坩埚的上端安装有盖板，且盖板的上端固定连接有连接杆，所述连接杆远离盖板的一端转动连接在机壳的内部，且机壳的上端固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出轴上安装有传动齿轮；还包括：所述装载架的中部固定连接有中心杆

【技术实现步骤摘要】
一种试验型真空蒸镀机


[0001]本专利技术涉及真空蒸镀机
，具体为一种试验型真空蒸镀机
。

技术介绍

[0002]真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热
、
电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料（或称膜料）并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜，真空蒸镀具有成膜方法简单
、
薄膜纯度和致密性高
、
膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用，随着对
OLCD
需求的日渐增加，显现出来的不足越来越多，特别是实验数据的不足尤为明显，为了获得大量的实验数据，通常都会用到相应的试验型蒸镀机进行蒸镀试验
。
[0003]如公开号为
CN215163067U
的一种真空镀膜机的分体式镀锅，所述分体式镀锅位于真空镀膜机的腔室的顶部，所述分体式镀锅包括骨架
、
伞面件和固定件，所述骨架分别与伞面件和固定件连接，固定件与骨架固定并与驱动部件连接，骨架包括中心圆环部
、
边沿圆环部和伞骨，中心圆环部位于边沿圆环部的上方且中心处，伞骨的一端连接中心圆环部另一端连接边沿圆环部，伞骨有多个且均匀分布，中心圆环部和边沿圆环部之间被伞骨形成多个均匀的伞面室，伞骨
、
伞面件和伞面室的数量相同，中心圆环部的外边沿
、
伞骨的内边沿和伞骨的两个侧边沿均为梯形，伞面件的形状和大小与伞面室相对应，伞面件能够放置在伞面室上，伞面件包括通孔，通孔上能够放置被镀膜工件
。
[0004]其中上述现有技术中存在以下技术问题：现有的蒸镀机上的镀锅在对原料进行蒸镀时，在将镀锅基片上的一面镀膜完成之后，需要停机打开防护门取下镀锅，将基片一个一个的翻面再固定，安装上镀锅再进行另一面的镀膜，整体操作较为繁琐，同时在开门操作时，外界的空气等有害物质进入到腔体的内部后容易对基材造成污染；如公开号为
CN209522915U
的一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机专用，其结构包括水冷板
、
水管和接头，所述水冷板底部与水管进行垂直焊接，所述水管前部通过垫圈与接头进行螺纹连接，本技术的一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机专用，将本设安装在真空腔体和主阀腔体连接的过道中间，通过把水管焊接在铜制水冷板上面，利用了铜的极好的导热效果，当
19
度到
25
度左右的冷却水在铜制水管内部流动时，热量通过铜制水冷板的面积迅速扩散，从而形成了隔热保护层，抑制了主腔体内部的热辐射传递到主泵的速度和热辐射量，可以有效隔热，更好地保护了主泵，改善了主泵升温的问题，并且对腔体镀膜完成时的冷却效果起到了一定的作用
。
[0005]其中上述现有技术中存在以下技术问题：现有的水冷板在使用时通过向铜水管的内部注入冷水进行降温，然而水冷板与水管之间的接触面积较小，从而容易降低两者之间的换热效果，同时水管内部的水流流速恒定，不便于在换热的过程中降低水源流速，从而导致水管内部水源流速较快后，水源还未与水冷板充分换热就被向外排出
。
[0006]所以我们提出了一种试验型真空蒸镀机，以便于解决上述中提出的问题
。

技术实现思路

[0007]本专利技术的目的在于提供一种试验型真空蒸镀机，以解决上述
技术介绍
提出的目前市场上现有的蒸镀机上的镀锅在对原料进行蒸镀时，在将镀锅基片上的一面镀膜完成之后，需要停机打开防护门取下镀锅，将基片一个一个的翻面再固定，安装上镀锅再进行另一面的镀膜，整体操作较为繁琐，同时在开门操作时，外界的空气等有害物质进入到腔体的内部后容易对基材造成污染，水冷板与水管之间的接触面积较小，从而容易降低两者之间的换热效果，同时水管内部的水流流速恒定，不便于在换热的过程中降低水源流速，从而导致水管内部水源流速较快后，水源还未与水冷板充分换热就被向外排出的问题
。
[0008]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种试验型真空蒸镀机，包括机壳，所述机壳的左端安装有闸阀，且机壳的内部下端固定连接有坩埚，所述坩埚的上端安装有盖板，且盖板的上端固定连接有连接杆，所述连接杆远离盖板的一端转动连接在机壳的内部，且机壳的上端固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出轴上安装有传动齿轮，且传动齿轮的侧边啮合连接有联动齿轮，所述联动齿轮固定在联动杆的上端，且联动杆的下端固定连接有活动架，所述活动架的下端中部安装有装载架，且装载架的内部安装有晶圆，所述机壳的背面固定连接有主泵，且机壳的内部和主泵连接的过道之间安装有水冷板，所述水冷板的背面安装有铜水管，且铜水管的一端为进水口，另一端为出水口；还包括：所述装载架的中部固定连接有中心杆，且中心杆上固定连接有齿轮，并且中心杆与活动架为单向转动连接，所述齿轮的左侧安装有齿条，且推杆固定在电动伸缩杆的伸缩端上，所述电动伸缩杆固定在电动伸缩杆上，所述装载架的内部安装有压环，且压环上端设置有压片，所述压片通过螺栓固定在装载架上；所述铜水管分为左右两个管道，且左右两个管道中间断开的位置固定连接有连通块，所述水冷板上固定连接有套接块，铜水管穿过套接块，且水冷板的背面安装有缓速降温结构，通过缓速降温结构提高水冷板的降温速度
。
[0009]所述齿轮与中心杆为键连接，且齿轮与齿条构成啮合传动连接
。
[0010]通过采用上述技术方案，当齿条上下往复移动时，从而能够使得齿轮进行单向旋转，利用齿轮的转动使其中心杆带动装载架进行翻面旋转
。
[0011]优选的，所述压片在装载架上均匀分布，且压片靠近压环的一端与压环的上表面紧密贴合
。
[0012]通过采用上述技术方案，通过压片与压环的相互贴合，从而能够方便利用压片对晶圆进行压紧固定
。
[0013]优选的，所述套接块和水冷板为一体成型结构，且水冷板的内壁和铜水管的外壁相互贴合，并且铜水管中部的套接块设置为矩形结构
。
[0014]通过采用上述技术方案，通过套接块与水冷板的相互贴合，从而能够提高套接块与铜水管之间的接触面积
。
[0015]优选的，所述缓速降温结构由衔接架
、
驱动电机
、
散热风扇
、
卡接环
、
导杆
、
活动轮
、
磁块
、
活塞杆
、
蓄气管
、
辅助弹簧
、
输气管
、
立柱
、
流速板和复位弹簧组成，且衔接架固定在水冷板的背面，所述衔接架上安装有三个驱动电机，且每个驱动电机的输出端均安装有散热风扇，左右两个所述驱动电机上固定连接有卡接环，且卡接环上固定连接有导杆，左右两个
导杆之间设置有活动轮，所述活动轮固定在中间驱动电机的输出端上，且活动轮的端部和导杆远离靠近活动轮的一端均固定连接有磁块，所述卡接环朝向驱动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种试验型真空蒸镀机，包括机壳（1），所述机壳（1）的左端安装有闸阀（2），且机壳（1）的内部下端固定连接有坩埚（3），所述坩埚（3）的上端安装有盖板（4），且盖板（4）的上端固定连接有连接杆（5），所述连接杆（5）远离盖板（4）的一端转动连接在机壳（1）的内部，且机壳（1）的上端固定连接有伺服电机（6），所述伺服电机（6）的输出轴上安装有传动齿轮（7），且传动齿轮（7）的侧边啮合连接有联动齿轮（8），所述联动齿轮（8）固定在联动杆（9）的上端，且联动杆（9）的下端固定连接有活动架（
10
），所述活动架（
10
）的下端中部安装有装载架（
11
），且装载架（
11
）的内部安装有晶圆（
16
），所述机壳（1）的背面固定连接有主泵（
19
），且机壳（1）的内部和主泵（
19
）连接的过道之间安装有水冷板（
20
），所述水冷板（
20
）的背面安装有铜水管（
21
），且铜水管（
21
）的一端为进水口，另一端为出水口；其特征在于，还包括：所述装载架（
11
）的中部固定连接有中心杆（
12
），且中心杆（
12
）上固定连接有齿轮（
13
），并且中心杆（
12
）与活动架（
10
）为单向转动连接，所述齿轮（
13
）的左侧安装有齿条（
14
），且推杆（
14
）固定在电动伸缩杆（
15
）的伸缩端上，所述电动伸缩杆（
15
）固定在电动伸缩杆（
15
）上，所述装载架（
11
）的内部安装有压环（
17
），且压环（
17
）上端设置有压片（
18
），所述压片（
18
）通过螺栓固定在装载架（
11
）上；所述铜水管（
21
）分为左右两个管道，且左右两个管道中间断开的位置固定连接有连通块（
23
），所述水冷板（
20
）上固定连接有套接块（
22
），铜水管（
21
）穿过套接块（
22
），且水冷板（
20
）的背面安装有缓速降温结构（
24
），通过缓速降温结构（
24
）提高水冷板（
20
）的降温速度
。2.
根据权利要求1所述的一种试验型真空蒸镀机，其特征在于：所述齿轮（
13
）与中心杆（
12
）为键连接，且齿轮（
13
）与齿条（
13
）构成啮合传动连接
。3.
根据权利要求1所述的一种试验型真空蒸镀机，其特征在于：所述压片（
18
）在装载架（
11
）上均匀分布，且压片（
18
）靠近压环（
17
）的一端与压环（
17
）的上表面紧密贴合
。4.
根据权利要求1所述的一种试验型真空蒸镀机，其特征在于：所述套接块（
22
）和水冷板（
20
）为一体成型结构，且水冷板（
20
）的内壁和铜水管（
21
）的外壁相互贴合，并且铜水管（
21
）中部的套接块（
22
）设置为矩形结构
。5.
根据权利要求1所述的一种试验型真空蒸镀机，其特征在于：所述缓速降温结构（
24
）由衔接架（
241
）
、
驱动电机（
242
）
、
散热风扇（
243
）
、
卡接环（
244
）
、
导杆（
245
）
、
活动轮（
246
）
、
磁块（
247
）
、
活塞杆（
...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜宝胜，顾建强，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：