【技术实现步骤摘要】
一种用于高真空镀膜机专用的水冷探头座
本技术是一种用于高真空镀膜机专用的水冷探头座，属于高真空镀膜机用探头座领域。
技术介绍
国内传统的镀膜机镀膜时都是靠把高压电源的功率恒定在一定值后，通过秒表时间来计算镀膜的厚度，这种传统的膜厚测量办法很难检测到速率过冲的问题，一旦速率过冲时，不仅膜厚不准确，而且还会因为功率过大造成的材料飞溅，对镀膜产品的表面质量带来一定的伤害，功率过冲时会把大颗粒的材料直接蒸镀到产品的表面,目前都是靠购买美国inficon或者日本品牌的水冷探头座，水冷探头座的作用在于真空系统中膜厚传感器长时间工作后，由于热量的辐射导致了膜厚侦测的不安定性，故障率较带水冷的探头座要高很多。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术目的是提供一种用于高真空镀膜机专用的水冷探头座，以解决现有技术真空腔体内热辐射对膜厚侦测造成影响的问题。为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：一种用于高真空镀膜机专用的水冷探头座，包括接头、弯管和探头座，所述接头底部与弯管进行垂直焊接，所述弯管底部与探头座进行螺纹连接。进一步地，所述接头和弯管均设置有两个。进一步地，所述接头、弯管和探头座内部均为中空状。进一步地，所述接头、弯管和探头座使用的材料均为不锈钢。本技术的一种用于高真空镀膜机专用的水冷探头座，设计的探头为双探头，当第一探头出现故障时或者正常工作寿命结束时，可以在不用外界干预的情况下，自动切换到第二探头进行工作，从而连续性地完成全部镀膜过程；水冷探头座内部是中空的，用的是不锈钢件，加了水冷后（水温控制在19度到26度）通过冷却水的不断循环，有效地把镀膜时产生的...
【技术保护点】
1.一种用于高真空镀膜机专用的水冷探头座，其特征在于：包括接头（1）、弯管（2）和探头座（3），所述接头（1）底部与弯管（2）进行垂直焊接，所述弯管（2）底部与探头座（3）进行螺纹连接。
【技术特征摘要】
1.一种用于高真空镀膜机专用的水冷探头座，其特征在于：包括接头（1）、弯管（2）和探头座（3），所述接头（1）底部与弯管（2）进行垂直焊接，所述弯管（2）底部与探头座（3）进行螺纹连接。2.根据权利要求1所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员：杜宝胜，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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